Микроэлектроника Главный редактор : Красников Геннадий Яковлевич

ISSN (PRINT) : 0544-1269
Импакт-фактор (РИНЦ) : 0,614
Микроэлектроника
Подписной индекс : 70571
Периодичность : 6
Контакты редакции

117218, Москва, Нахимовский проспект, 36, корп. 1
Тел. : +7 (499) 129-54-46
Е-mail : ponomareval@mail.ru
Сайт редакции

Микроэлектроника Главный редактор : Красников Геннадий Яковлевич

ISSN (PRINT) : 0544-1269
Импакт-фактор (РИНЦ) : 0,614
  • О журнале

О журнале

Журнал посвящён технологическим, физическим и схемотехническим аспектам микро- и наноэлектроники. Особое внимание уделяется новым тенденциям в литографии (оптической, рентгеновской, электронной, ионной), травлении, легировании, осаждении и планаризации на субмикронном и нанометровом уровнях. Значительное место отводится пучковым и плазменным технологиям, в том числе молекулярно-пучковой эпитаксии и сухому травлению, а также методам исследования и контроля поверхностей и многослойных структур. Обсуждаются вопросы приборно-технологического моделирования и диагностики технологических процессов в реальном времени. Публикуются статьи о полупроводниковых приборах на базе новых физических принципов, таких как квантовые размерные эффекты и сверхпроводимость. Данное направление исследований охватывает гетероструктуры, нанотранзисторы и полупроводниковые реализации квантовых битов (кубитов).

Журнал предназначен для специалистов научно-исследовательских институтов, высших учебных заведений и производственно-контрольных лабораторий, а также для аспирантов.

Журнал основан в 1972 году .

Главный редактор

Красников Геннадий Яковлевич
(академик РАН, д.т.н., генеральный директор, Акционерное Общество «Научно-исследовательский институт молекулярной электроники»)

Заместители главного редактора

Лукичев Владимир Федорович
(член-корреспондент РАН, д.ф.-м.н., директор, Федеральное государственное бюджетное учреждение науки «Физико-технологический институт РАН им. К.А. Валиева»)

Неизвестный Игорь Георгиевич
(член-корреспондент РАН, д.ф.-м.н, советник РАН, Федеральное государственное бюджетное учреждение науки «Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН»)

Ответственный секретарь

Руденко Константин Васильевич
(д.ф.-м.н., зам. директора, Федеральное государственное бюджетное учреждение науки «Физико-технологический институт РАН им. К.А. Валиева»)

Редакционная коллегия

Абрамов Игорь Иванович
(д.ф.-м.н., профессор кафедры микро- и наноэлектроники, Белорусский Государственный Университет Информатики и Радиоэлектроники)

Бакланов Михаил Родионович
(д.х.н., профессор, Microelectronics Department, North China University of Technology)

Бухараев Анастас Ахметович
(член-корреспондент АН Республики Татарстан, д.ф.-м.н., зав. лаб. физики и химии поверхности, Федеральное государственное бюджетное учреждение науки «Казанский физико-технический институт им. Е.К. Завойского» )

Горбацевич Александр Алексеевич
(академик РАН, д.ф.-м.н., профессор, г.н.с., Федеральное государственное бюджетное учреждение науки «Физический институт им. П.Н. Лебедева РАН»)

Горнев Евгений Сергеевич
(член-корреспондент РАН, д.т.н., профессор, заместитель руководителя приоритетного технологического направления по электронным технологиям, Акционерное Общество «Научно-исследовательский институт молекулярной электроники» )

Комаров Фадей Фадеевич
(академик НАН Республики Беларусь, профессор, д.ф.-м.н., Институт прикладных физических проблем Белорусского Государственного Университета)

Мальцев Петр Павлович
(д.т.н., научный руководитель, Федеральное государственное бюджетное учреждение науки «Институт сверхвысокочастотной полупроводниковой электроники им. В.Г. Мокерова РАН»)

Попов Владимир Павлович
(д.ф.-м.н., профессор, зав. лабораторией Федеральное государственное бюджетное учреждение науки «Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН»)

Рощупкин Дмитрий Валентинович
(член-корреспондент РАН, д.ф.-м.н., директор, Федеральное государственное бюджетное учреждение науки «Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН»)

Сигов Александр Сергеевич
(академик РАН, д.ф.-м.н., профессор, президент, Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования «МИРЭА - Российский технологический университет»)

Стриханов Михаил Николаевич
(академик РАО, д.ф.-м.н., профессор, научный руководитель, Федеральное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»»)

Сурис Роберт Арнольдович
(академик РАН, д.ф.-м.н, профессор, зав. лабораторией, Федеральное государственное бюджетное учреждение науки «Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН»)

Чаплыгин Юрий Александрович
(академик РАН, д.т.н, профессор, президент, федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники»)

Шахнов Вадим Анатольевич
(член-корреспондент РАН, д.т.н., профессор, зав. кафедрой «Проектирование и технология производства электронной аппаратуры», Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э. Баумана)

Зав. редакцией

Е.В. Есина

Информация для подписчиков печатной версии

подписной индекс издания 70571
выпусков в год 6

Материалы для авторов

По вопросам, связанным c изданием журнала в 2024 году, следует обращаться в РАН.