1. На главную
  2. Электронные версии
  3. Приборы и техника эксперимента
  4. № 3, 2023

Приборы и техника эксперимента, 2023, № 3, стр. 80-90

ПРЕЦИЗИОННЫЙ ДАТЧИК ПОЛОЖЕНИЯ ДЛЯ ОПЕРАТИВНОГО КОНТРОЛЯ ЛАЗЕРНОГО СИНТЕЗА МИКРОСТРУКТУР НА ТРЕХМЕРНЫХ ПОВЕРХНОСТЯХ ОПТИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ

М. А. Завьялова a, *, А. В. Солдатенко a, С. А. Кокарев a

a Конструкторско-технологический институт научного приборостроения СО РАН
630058 Новосибирск, ул. Русская, 41, Россия

* E-mail: zavyalovama@gmail.ru

Поступила в редакцию 22.07.2022
После доработки 13.10.2022
Принята к публикации 19.10.2022

Аннотация

Представлены результаты компьютерного моделирования прецизионного датчика положения на основе ножа Фуко для автоматической фокусировки излучения в ходе высокоскоростных лазерных технологических процессов, приведены результаты его внедрения и испытания на промышленных предприятиях в составе круговых лазерных записывающих систем. Данный датчик встраивается в лазерные комплексы для микроструктурирования поверхности оптических материалов и позволяет определять их положение с высоким разрешением (погрешность не превышает 0.1 мкм).

Список литературы

  1. Skidanov R.V., Ganchevskaya S.V., Vasil’ev V.S., Blank V.A. // J. Opt. Technol. 2022. № 89. P. 132–136. https://doi.org/10.1364/JOT.89.000132

  2. Gerhard C. Optics Manufacturing: Components and Systems. CRC Press. 2017. P. 325. ISBN: 9781351228367. https://doi.org/10.1201/9781351228367

  3. Полещук А.Г., Корольков В.П., Вейко В.П., Заколдаев Р.А., Сергеев М.М. // Автометрия. 2018. № 2. С. 3. https://doi.org/10.15372/AUT20180201

  4. Завьялова М.А. Дис. … канд. техн. наук, Новосибирск: Новосиб. гос. техн. ун-т, 2021.

  5. Radtke D., Zeitner Uwe D. // Optics Express. 2007. V. 15. № 3. P. 1167. https://doi.org/10.1364/OE.15.001167

  6. Taisheng Wang, Weixing Yu, Dengying Zhang, Chunrong Li, Hongxin Zhang, Wenbin Xu, Zhijun Xu, Hua Liu, Qiang Sun, Zhenwu Lu // Optics Express. 2010. V. 18. № 24. P. 25102. https://doi.org/10.1364/OE.18.025102

  7. Luo J., Liang Y., Yang G. // Optical Engineering. 2011. V. 50 (7). P. 073601. https://doi.org/10.1117/1.3597327

  8. Верхогляд А.Г., Завьялова М.А., Качкин А.Е., Кокарев С.А., Корольков В.П. // Датчики и системы. 2015. № 9–10. С. 45.

  9. Handbook of Optics. MacGraw-Hill Companies. Inc. 1995. V. I. P. 31.14.

  10. Chugui Yu.V., Verkhoglyad A.G., Zavyalov P.S., Sysoev E., Kulikov R.V., Vykhristyuk I.A., Zavyalova M.A., Poleshchuk A.G., Korolkov V.P. // Int. J. of Automation Technology. 2015. V. 9. № 5. P. 515.

Дополнительные материалы отсутствуют.

Инструменты

следующая статья выпуска предыдущая статья выпуска содержание выпуска

Приборы и техника эксперимента

Архивы выпусков Информация о журнале Отправить рукопись в журнал