Приборы и техника эксперимента, 2023, № 4, стр. 145-155

СПОСОБЫ ФОРМИРОВАНИЯ ГАЗОВЫХ, КЛАСТЕРНЫХ СПРЕЙНЫХ И ЖИДКОСТНЫХ МИШЕНЕЙ В ЛАЗЕРНО-ПЛАЗМЕННОМ ИСТОЧНИКЕ ИЗЛУЧЕНИЯ

В. Е. Гусева a, М. А. Корепанов b, М. Р. Королева b, А. Н. Нечай c*, А. А. Перекалов c, Н. Н. Салащенко c, Н. И. Чхало c

a Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского
603950 Нижний Новгород, просп. Гагарина, 23, Россия

b Удмуртский федеральный исследовательский центр УрО РАН
426065 Ижевск, ул. им. Татьяны Барамзиной, 34, Россия

c Институт физики микроструктур РАН
603087 Нижний Новгород, ГСП-105, Россия

* E-mail: nechay@ipm.sci-nnov.ru

Поступила в редакцию 02.11.2022
После доработки 28.11.2022
Принята к публикации 16.01.2023

Аннотация

Рассматриваются способы формирования жидкостных, микрокапельных, кластерных и газовых мишеней в вакууме для использования в лазерно-плазменных источниках излучения. Приведены характеристики используемых систем формирования мишени и систем напуска газа на их основе. Данные системы формируют импульсные и статичные струи с малым массовым расходом, порядка ~70 мл/ч жидкости или 1500 см3/ч газа, что позволяет проводить откачку вакуумного объема одним турбомолекулярным насосом с производительностью 1000 л/с.

Список литературы

  1. Абраменко Д.Б., Анциферов П.С., Астахов Д.И., Виноходов А.Ю., Вичев И.Ю., Гаязов Р.Р., Якушкин А.А. // Успехи физических наук. 2019. Т. 189. № 3. С. 323. https://doi.org/10.3367/UFNr.2018.06.038447

  2. Berglund M., Rymell L., Hertz H.M., Wilhein T. // Review of Scientific Instruments. 1998. V. 69. P. 2361. https://doi.org/10.1063/1.1148944

  3. Wieland M., Wilhein T., Faubel M., Ellert C., Schmidt M., Sublemontier O. // Applied Physics B. 2001. V. 72. P. 591. https://doi.org/10.1007/s003400100542

  4. De Groot J., Hemberg O., Holmberg A., Hertz H.M. // Journal of Applied Physics. 2003. V. 94. P. 3717. https://doi.org/10.1063/1.1602571

  5. Malmqvist L., Rymell L., Berglund M., Hertz H.M. // Review of Scientific Instruments. 1996. V. 12. P. 4150. https://doi.org/10.1063/1.1147561

  6. Düsterer S., Schwoerer H., Ziegler W., Ziener C., Sauerbrey R. // Applied Physics B. 2001. V. 73. P. 693. https://doi.org/10.1007/s003400100730

  7. Нечай А.Н., Перекалов А.А., Чхало Н.И., Сала-щенко Н.Н. // Письма в ЖТФ. 2019. Т. 45. № 19. С. 14. https://doi.org/10.21883/PJTF.2019.19.48310.17862

  8. Hansson B.A.M., Hertz H.M. // Journal of Physics D: Applied Physics. 2004. V. 37. № 23. P. 3233. https://doi.org/10.1088/0022-3727/37/23/004

  9. Hansson B.A., Hemberg O., Hertz H.M., Berglund M., Choi H.J., Jacobsson B., Wilner M. // Review of Scientific Instruments. 2004. V. 75. № 6. P. 2122. https://doi.org/10.1063/1.1755441

  10. Fogelqvist E., Kördel M., Selin M., Hertz H.M. // Journal of Applied Physics. 2015. V. 118. № 17. P. 174902. https://doi.org/10.1063/1.4935143

  11. Holburg J., Müller M., Mann K., Wieneke S. // Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films. 2019. V 37. № 3. P. 031303. https://doi.org/10.1116/1.5089201

  12. Fiedorowicz H., Bartnik A., Szczurek M., Daido H., Sakaya N., Kmetik V., Wilhein T. // Optics Communications. 1999. V. 163. № 1–3. P. 103. https://doi.org/10.1016/S0030-4018(99)00100-5

  13. Гарбарук А.В., Демидов Д.А., Калмыков С.Г., Сасин М.Э. // ЖТФ. 2011. Т. 81. № 6. С. 20.

  14. Нечай А.Н., Перекалов А.А., Чхало Н.И., Салащенко Н.Н., Забродин И.Г., Каськов И.А., Пестов А.Е. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2019. № 9. С. 83. https://doi.org/10.1134/S0207352819090099

  15. Koroleva M.R., Mitrukova E.A., Korepanov M.A. // Journal of Physics: Conference Series. VI All-Russian Conference “Thermophysics and Physical Hydrodynamicsˮ and the School for Young Scientists “Thermal Physics and Physical Hydrodynamics: Modern Challengesˮ. 2021. P. 012016. https://doi.org/10.1088/1742-6596/2057/1/012016

  16. Ramos A., Fernández J.M., Tejeda G., Montero S. // Phys. Rev. A. V. 72. № 5. P. 053204. https://doi.org/10.1103/PhysRevA.72.053204

  17. Hagena O.F. // Surface Science. 1981. V. 106. № 1. P. 101.

  18. Hagena O.F., Obert W. // The journal of Chemical physics. 1972. V. 56. № 5. P. 1793. https://doi.org/10.1063/1.1677455

Дополнительные материалы отсутствуют.