Тепловые методы
УДК 620.179.132
КОНТРОЛЬ КАЧЕСТВА НАНЕСЕНИЯ ТЕПЛОПРОВОДЯЩЕГО КОМПАУНДА
© 2020 г. А.А. Солдатов1,2,*, А.А. Дементьев3,**, А.И. Солдатов1,2,***, И.М. Васильев1,3
1Национальный исследовательский Томский политехнический университет, Россия 634050 Томск,
пр-т Ленина, 30
2Томский университет систем управления и радиоэлектроники, Россия 634050 Томск, пр-т Ленина, 40
3АО «НПЦ «Полюс», Россия 634050 Томск, пр-т Кирова, 56в
E-mail: *soldatov.88@bk.ru; **daa024@mail.ru; ***asoldatof@mail.ru
Поступила в редакцию 01.10.2019; после доработки 17.01.2020
Принята к публикации 03.02.2020
Предложена математическая модель для определения качества нанесения теплопроводящего компаунда и приведе-
ны результаты моделирования. Модель основана на теории теплопереноса в твердом теле. Верификация модели выпол-
нена с помощью экспериментальных данных, полученных измерением температуры в точках соприкосновения двух тел
с помощью термопар. Показано, что данные, полученные с помощью термопар, совпадают с данными, полученными с
помощью термоэдс.
Ключевые слова: термоэдс, эффект Зеебека, тепловое сопротивление, термоинтерфейс, теплопередача.
DOI: 10.31857/S0130308220030082
ВВЕДЕНИЕ
Перегрев полупроводниковых приборов может привести к негативным последствиям, напри-
мер, снижению производительности, надежности работы прибора или же его отказу. На сегодняш-
ний день большинство мощной полупроводниковой техники используется в паре с радиатором,
позволяющем отвести от полупроводникового прибора часть выделяемой мощности в виде тепла.
Наличие шероховатости поверхностей радиатора и корпуса мощного полупроводникового прибо-
ра является следствием появления воздушных полостей между соприкасаемыми поверхностями.
Поэтому корпус полупроводникового прибора крепится к радиатору через слой теплопроводящего
компаунда, так называемого термоинтерфейса, который обладает теплопроводящими свойствами
на порядок выше, чем воздух, и, вытесняя его из воздушных полостей двух соединенных поверх-
ностей, увеличивает теплопроводность от полупроводникового прибора к радиатору.
Вклад термоинтерфейса в суммарное значение теплового сопротивления «кристалл—радиа-
тор» Rthcs составляет от 20 до 65 % [1]. При малой толщине слоя воздушные полости не будут на
100 % заполнены термоинтерфейсом, поэтому тепловое сопротивление велико, что видно на рис. 1
(красный участок). По мере заполнения воздушных полостей термоинтерфейсом тепловое сопро-
тивление уменьшается. На границе красного и зеленого участков величина слоя терминтерфейса
такова, что воздушные полости полностью заполнены термоинтерфейсом, поэтому тепловое со-
противление минимально. По мере увеличения толщины слоя термоинтерфейса тепловое сопро-
тивление плавно увеличивается (см. рис. 1).
Rthcs
Минимум
Максимум
Толщина слоя
Рис. 1. Зависимость теплового сопротивления корпусрадиатор от толщины слоя термоинтерфейса.
66
А.А. Солдатов, А.А. Дементьев, А.И. Солдатов, И.М. Васильев
Отсутствие или неправильное нанесение термоинтерфейса приводит к неэффективной работе
системы охлаждения, перегреву прибора и в конечном итоге сокращению срока службы изделия
или выходу его из строя, часто в технических данных на выпускаемый полупроводниковый при-
бор, имеющий возможность крепления к радиатору, производитель дает рекомендации по выбору
радиатора и нанесению теплопроводящего компаунда. В настоящее время существуют следующие
методы обеспечения качества нанесения термоинтерфейса:
определение минимального количества термоинтерфейса путем его взвешивания на прецизи-
онных весах. Погрешность данного метода зависит от погрешности прецизионных весов. Масса
термоинтерфейса напрямую связана с толщиной слоя. Чем больше масса, тем больше объем,
тем толще слой при неизменной площади покрытия. Современные весы, позволяющие измерять
с точностью до 1 мг, имеют погрешность 0,01 %, что практически исключает погрешность из-
мерений [1]. Однако использование этого метода не гарантирует хорошее качество нанесения
термоинтерфейса, т. к. качество нанесения зависит не только от количества теплопроводящего
компаунда, но и от его распределения между радиатором и корпусом прибора;
нанесение термоинтерфейса через трафарет с отверстиями. Используя данный метод, количе-
ство термоинтерфейса определяется через отношение толщины слоя трафарета и суммарной пло-
щади отверстий в нем, через которые наносится термоинтерфейс на теплосток [3, 4]. Данный метод
имеет низкую погрешность и обеспечивает высокую повторяемость, т. к. параметры трафарета не
зависят от внешних факторов, что позволяет автоматизировать процесс нанесения термоинтерфей-
са подобным образом;
некоторые компании поставляют свои приборы потребителям с уже нанесенным термоинтер-
фейсом [5, 6], что увеличивает стоимость прибора по сравнению с аналогами. При этом компании
не дают информацию о методе нанесения термоинтерфейса. Кроме того, данная мера не исключает
возможности нарушения нанесенного слоя термоинтерфейса при транспортировке или монтаже
прибора на радиатор без дополнительного визуального осмотра перед установкой;
использование механических толщиномеров [6]. Устройство данного приспособления пред-
ставлено на рис. 2.
20
25
30 мкм
Слой
термопасты
Радиатор
Базовые
зубцы
Измерительные зубцы
Рис. 2. Механический толщиномер гребенчатого типа.
Принцип действия механического толщиномера заключается в том, что толщиномер устанавли-
вается на проверяемую поверхность с нанесенным термоинтерфейсом базовыми зубцами и пере-
мещается параллельно исследуемой поверхности, опираясь на базовые зубцы. Так как измеритель-
ные зубцы находятся на известном расстоянии от базовых зубцов, оставленный ими след на слое
термоинтерфейса будет говорить о том, что толщина термоинтерфейса превышает его. Зубец, не
оставляющий следа на термоинтерфейсе, характеризует толщину термоинтерфейса, которая может
быть и меньше. К недостатку данного способа можно отнести повреждение слоя в зоне контроля,
и обязательный визуальный контроль после каждого измерения, что увеличивает время проверки и
вносит влияние человеческого фактора на точность измерений [4].
Все вышеперечисленные методы определения качества нанесения термоинтерфейса имеют
один общий недостаток, а именно отсутствие возможности контроля качества после завершения
монтажа прибора к радиатору.
Дефектоскопия
№ 3
2020
Контроль качества нанесения теплопроводящего компаунда
67
Качество нанесения термоинтерфейса характеризуется тепловым сопротивлением RS между
корпусом и радиатором. При нагреве полупроводникового прибора появляется тепловой поток от
его корпуса к радиатору через термоинтерфейс. При наличии теплового сопротивления появится
разность температур на границе раздела радиатор-термоинтерфейс и термоинтерфейскорпус си-
лового прибора [7]. Таким образом, чем меньше тепловое сопротивление термоинтерфейса, тем
больше радиатор охлаждения отведет тепла от полупроводникового прибора. Информацию о те-
пловом сопротивлении нанесенного термоинтерфейса между соединенными полупроводниковым
прибором и радиатором охлаждения дает разница температур на границах слоя термоинтерфейса
при известных значениях площади соприкосновения полупроводникового прибора и радиатора
охлаждения, удельной теплопроводности термоинтерфейса и теплового потока. Тепловое сопро-
тивление между корпусом полупроводникового прибора и радиатором охлаждения определяется
по формуле [8]:
T
h
R
=
=
,
(1)
S
P
λ×S
где ΔT — разность температур; P — тепловой поток; h — толщина термоинтерфейса; λ — коэффи-
циент теплопроводности термоинтерфейса; S — площадь соприкасаемых поверхностей прибора и
радиатора.
Корпуса полупроводниковых приборов изготавливают из токопроводящего материала, состав
которого отличается от токопроводящего материала радиатора, поэтому в месте соединения по-
лупроводникового прибора и радиатора возникнет термоэдс, величина которого определяется по
формуле [9, 10]:
E = ∆T × α,
(2)
где ΔT — разность температур корпуса полупроводникового прибора и радиатора в месте сопри-
косновения; αкоэффициент Зеебека.
Выразив ΔT из формулы (2) и подставив в формулу (1), получим:
E
R
=
(3)
S
P×α
Как видно из формулы (3), величина теплового сопротивления прямо пропорциональна вели-
чине термоэдс между корпусом прибора и радиатором охлаждения. При известном потоке мощ-
ности через тело P, измерив термоэдс между корпусом прибора и радиатором охлаждения, можно
получить значение теплового сопротивления. Метод термоэлектрического контроля в настоящее
время активно развивается [11—15]. Однако для контроля теплового сопротивления он до сих пор
не применялся.
C
B
B1
E
B2
D
A
R
Рис. 3. Схематическое изображение модели.
Дефектоскопия
№ 3
2020
68
А.А. Солдатов, А.А. Дементьев, А.И. Солдатов, И.М. Васильев
Для исследования предложенного способа контроля теплового сопротивления с помощью
термоэдс была разработана математическая модель, которая включала два алюминиевых цилин-
дра радиусом R и высотой L1 и L2, соединенных между собой, как показано на рис. 3. Первый
цилиндр от точки А до точки D помещается в кипящую воду, второй цилиндр и верхняя часть
первого (от точки D до точки В) охлаждаются воздухом. В точке контакта цилиндров находится
теплопроводящий слой толщиной ls.
При разработке математической модели были приняты следующие допущения: контакт между
цилиндрами идеальный, коэффициенты теплопроводности веществ не зависят от температуры и
являются постоянными, температура кипящей воды постоянна и равна 100 °С и тепловое сопро-
тивление, возникающее в зоне контакта двух цилиндров, полностью описывается эффективным
сопротивлением контактного слоя.
С учетом сделанных предположений, математическая модель в размерной постановке может
быть записана в следующем виде [16]:
2
2α
T
T
T
T
H
O
(
1
H
O
)
2α
(
T
T
)
1
1
2
2
1
возд
(4)
cρ
возд
;
1
1
2
AxD
D<xC
t
x
R
R
2
T
T
2α
(
T
T
)
2
2
2
возд
c
ρ
возд
;
(5)
2
2
2
t
x
R
2
T
T
s
s
(6)
c
ρ
2
s s
s
t
x
С начальными условиями [17]:
T(x,0) = Tвозд .
(7)
Формула (7) означает, что температура всех объектов в любой точке на плоскости Х равна тем-
пературе воздуха.
С граничными условиями [18]:
T t)
1
1
H
O
(
1
T t)
T
H
O
)
;
(8)
2
2
x
T t)
1
T t)
T
(0,t)
;
(9)
2
возд
(
1
возд
)
x
T
(
B t)
T
(
B+ t)
1
1
−λ
1
= -λ
s
;
(10)
x
x
T
(
B t)
T
(
B+ t)
2
2
(11)
−λ
= -λ
s
2
x
x
В системе уравнений (4)—(10) приняты следующие обозначения: с — удельная теплоемкость;
ρ — плотность; λ — теплопроводность; R — радиус; T — температура; x — координата; t — время;
a — коэффициент температуропроводности;
B
,
B
— координаты верхней и нижней границы те-
1
2
плопроводящего слоя. Индексы: H2O — вода; возд воздух; 0 — начальное условие; 1 — первый
цилиндр; 2 — второй цилиндр; s — теплопроводящий слой.
Система уравнений (4)—(10) решается численно по неявной разностной схеме. Для опреде-
ления значений температуры на n+1 временном слое находим решение этой системы уравнений,
используя метод прогонки.
Для верификации модели были проведены экспериментальные исследования на установке, со-
держащей два алюминиевых цилиндра, с отверстиями в точках E и C (см. рис. 4), в которых запрес-
совали медные проводники и закрепили с помощью теплопроводящего клея платинородийпла-
тинородиевые термопары фирмы «Элемер». В ходе эксперимента на исследуемый образец воздей-
ствовали кипящей дистиллированной водой и наблюдали изменение температуры в точках E и C с
помощью термопар, одновременно фиксируя значение дифференциальной термоэдс, возникающей
между алюминиевыми образцами и медными проводниками в точках Е и С соответственно. Полу-
ченные данные о значениях температуры в точках Е и С приведены на рис. 5.
Дефектоскопия
№ 3
2020
Контроль качества нанесения теплопроводящего компаунда
69
Персональный
компьютер
Термоинтерфейс
Измеритель
Цилиндр 1
температуры 1
ДТ1
Измеритель
термоэдс
ДТ2
Измеритель
Цилиндр 2
температуры 2
Емкость для нагрева
Измерительные электроды
жидкости
Дистиллированная вода
Источник тепла
Рис. 4. Схема эксперимента.
а
б
100
100
80
80
60
60
40
40
20
20
0
0
150
300
150
300
Время, с
Время, с
Рис. 5. График зависимости температуры от времени (тонкие линии — область погрешностей, толстая линия —
расчетные значения): в точке С (а); в точке Е (б).
Как видно из рис. 5, отличия расчетной и экспериментальной диаграмм изменения температу-
ры составляют не более 7 %, что может быть объяснено неидеальными условиями измерений и до-
пущениями математической модели, а также сложностью точного определения исходных данных
для расчета. Разница температур в этих точках приведена на рис. 6.
Для получения измеренного значения теплового сопротивления по формуле (3) приведем те-
пловую модель к аналогу в виде электрической цепи методом электротепловой аналогии [20]
(рис. 7).
Дефектоскопия
№ 3
2020
70
А.А. Солдатов, А.А. Дементьев, А.И. Солдатов, И.М. Васильев
20
0
150
300
Время, с
Рис. 6. График зависимости разности температур в точках Е и С от времени (тонкие линии — область погрешностей,
толстая линия — расчетные значения).
R1
R2
RS
R3
D
E
B1
B2
C
S1
Q
C1
C2
C3
R5
Рис. 7. Электрический аналог тепловой схемы.
В электрическом аналоге тепловой модели приняты следующие обозначения: источник пита-
ния Q — источник тепла в виде кипящей воды; R1, R2, RS, R3, R5 — тепловые сопротивления ци-
линдра в координатах от точки D до точки Е, от точки Е до точки B, на границах теплопроводящего
слоя, от точки B до точки С и между гранью цилиндра в точке С и окружающей средой соответ-
ственно; С1, С2, С3 — теплоемкости цилиндра в координатах от точки D до точки Е, от точки Е до
точки B и от точки B до точки С соответственно; B1, B2 координаты верхней и нижней границы
теплопроводящего слоя.
Согласно электрическому аналогу цепи, приведенной на рис. 7, тепловой поток — это ток ре-
зистора RS, который будет определяться из выражения:
U1U
I
=
2,
(12)
R
S
R1
где U1, U2 — напряжение в точках D и E соответственно.
следовательно, зная тепловые сопротивления R2 и R3 можно найти тепловое сопротивление RS:
U2-U
3
R
S
=
-
I
R
×R2
I
R
×R3 .
(13)
S
S
I
R
S
где U3 — напряжение в точке С.
0,0030
0,0029
0,0028
0,0027
0,0026
0,0025
0,0024
240
250
260
270
280
290
300
Время, с
Рис. 8. Тепловое сопротивление RS, определенное по экспериментальным данным в установившемся режиме.
Дефектоскопия
№ 3
2020
Контроль качества нанесения теплопроводящего компаунда
71
Результаты расчета теплового сопротивления RS по формуле (13) приведены на рис. 8. Для
расчета использовались экспериментальные данные, полученные в установившемся режиме
(интервал времени от 240 до 300 с) (см. рис. 6). При этом использовалось усреднение из 50 из-
мерений методом линейной фильтрации. Доверительный интервал не превышает 5 %.
Анализ графика на рис. 8 показал, что разброс значений теплового сопротивления составляет
±7,5 %. Вариации теплового сопротивления характеризуются случайной погрешностью, вызван-
ной флуктуациями температуры в процессе эксперимента. Измеренное среднее значение теплового
сопротивления термоинтерфейса составляет (0,002721±0,0002) К/Вт, что очень близко совпадает с
расчетным значением 0,0025429 К/Вт.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
Предложенный способ контроля теплового сопротивления позволяет с погрешностью не более
±10 % проводить контроль качества нанесения термоинтерфейса. Использование термоэлектри-
ческого метода позволяет существенно упростить процедуру контроля, получая при этом объек-
тивную информацию. С помощью разработанной математической модели можно проводить ис-
следования теплового сопротивления не только термоинтерфейса, но и любых соприкасающихся
поверхностей. Следует отметить, что предложенный способ может быть применен для контроля
готовых изделий на стадии заключительных испытаний.
Работа выполнена в рамках Программы повышения конкурентоспособности ТПУ.
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
1. Hhh Drexhage P., Beckedahl P. Thermal Paste Application / Rev. 7. SEMIKRON INTERNATIONAL
GmbH 2018.
2. Dieter E. Thermal Paste Application / Rev. 7. SEMIKRON INTERNATIONAL GmbH 2010.
3. Schulz M. Thermal Interface — An Inconvenient Truth // Article Bodo’s Power Systems. 2010. № 6.
4. Смирнов М. Применение теплопроводящей пасты. Производство Электроники // Технологии,
оборудование, материалы. 2013. № 3. С. 119—123.
5. Колпаков А. Силовые модули SEMITOP как альтернатива дискретным корпусам ТО // Силовая
Электроника. 2004. № 2. С. 32—35.
6. Дитер Э., Штрубе M., Колпаков А. Теплопроводящая паста — это действительно важно // Компо-
ненты и технологии. 2010. № 6. С. 88—90э.
7. Кутателадзе С.С. Основы теории теплообмена. М.: Атомиздат, 1979. С. 120—123.
8. Коротких А.Г. Теплопроводность материалов. Томск: ТПУ, 2011. 97 с.
9. Лившиц Б.Г., Крапоткин В.С., Линецкий Я.Л. Физические свойства металлов и сплавов. М.:
Металлургия, 1980. 320 с.
10. Путилов К.А. Курс физики. Том II. Учение об электричестве / Учебное пособие. М.: Изд.
Физ-мат. лит., 1963. 583 с.
11. Soldatov A.I., Soldatov A.A., Sorokin P.V., Abouellail A.A., Kostina M.A. Thermoelectric method of
plastic deformation detection // Materials Science Forum. 2018. V. 938. P. 112—118.
12. Obach I.I., Abouellail A.A., Soldatov A.I., Sorokin P.V., Shinyakov Y.A., Sukhorukov M.P. Monitoring of
power supply / SIBCON 2019. P. 8729572.
13. Abouellail A., Obach I., Soldatov A., Soldatov A. Surface inspection problems in thermoelectric testing
// MATEC Web of Conferences, 2017. V. 102. P. 01001.
14. Soldatov A.I., Soldatov A.A., Sorokin P.V., Loginov E.L., Abouellail A.A., Kozhemyak O.A., Borta-
levich S.I. Control system for device «thermotest» / SIBCON 2016. P. 7491869.
15. Yavuz C., Yilma, S., Kaya M. The design of computer controlled cold and hot therapy device with
thermoelectric module // Journal of Medical Imaging and Health Informatics. 2013. V. 3. № 2. P. 221—226.
16. Крайнов А.Ю., Рыжих Ю.Н., Тимохин А.М. Численные методы в задачах теплопереноса / Учеб-
но-методическое пособие. Томск: ТГУ, 2009. 114 с.
17. Тихонов А.Н., Самарский А.А. Уравнения математической физики. М.: Наука, 1977. 736 с.
18. Рихтмайер Р., Мортон К. Разностные методы решения краевых задач. М.: Изд-во «Мир», 1972.
420 с.
19. Краус А.Д. Охлаждение электронного оборудования. М.: Энергия, 1979. 70 с.
20. Мальцев И.А. Экспресс-контроль теплового сопротивления полупроводниковых приборов в ре-
жиме докритических тепловых воздействий / Автореферат дис. Казань: КНИТУ—КАИ, 2016.
Дефектоскопия
№ 3
2020