Оптические методы
УДК 620.179.118
МЕТОДИКА АНАЛИЗА ОБЪЕМНЫХ ДЕФЕКТОВ ПО ЦИФРОВОЙ МОДЕЛИ
РЕЛЬЕФА ПОВЕРХНОСТИ
© 2021 г. А.А. Дедкова1,*, И.В. Флоринский2,**, Е.Э. Гусев1, Н.А. Дюжев1, М.Ю. Фомичев1,
М.Ю. Штерн1
1Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники», Россия
124498 Москва, Зеленоград, пл. Шокина, 1
2Институт математических проблем биологии РАН — филиал ФИЦ «Институт прикладной
математики им. М.В. Келдыша РАН»,
Россия 142290 Московская обл., г. Пущино, ул. проф. Виткевича, 1
E-mail: *dedkova@ckp-miet.ru; **iflor@mail.ru
Поступила в редакцию 11.07.2021; после доработки 10.09.2021
Принята к публикации 11.10.2021
Разработана методика выявления и анализа объемных поверхностных дефектов, в основе которой лежит геоморфо-
метрическое моделирование, в частности — анализ моделей и карт ряда морфометрических величин (минимальная
кривизна, максимальная кривизна, средняя кривизна, гауссова кривизна, несферичность и др.), рассчитываемых по
цифровым моделям рельефа поверхности. Методика позволяет выявлять области расположения отдельных объемных
дефектов (трещин, отслоений пленок, отклонений формы и др.), определять форму и размеры как самих дефектов, так
и видоизмененных областей рядом с ними, исследовать паттерны их распределения. Работоспособность методики про-
демонстрирована на примере дефектов на сборках пластин кремний—стекло и кремний—кремний, на растрескавшейся
пленке Ni—W. Методика может быть перспективной для контроля качества изготовления и диагностики повреждений
различных деталей, в частности изделий микроэлектроники.
Ключевые слова: поверхность, рельеф, топография, кривизна, деформация, кремниевая пластина, оптическая про-
филометрия, дефект, геоморфометрия, цифровая модель рельефа, ЦМР, трещина, растрескивание, шероховатость.
DOI: 10.31857/S0130308221110051
ВВЕДЕНИЕ
Обнаружение и анализ дефектов различных объектов является распространенной задачей во
многих отраслях: в металлургии [1—3], микроэлектронике [4—8], строительстве и архитектуре
[9], атомной энергетике [10, 11], сельском хозяйстве [12] и др.
Своевременное выявление и определение характеристик дефектов необходимо для межопера-
ционного контроля в процессе изготовления структур, для контроля работоспособности готовых
изделий в процессе их эксплуатации, для проведения подробного анализа напряженно-деформи-
рованного состояния близи сформированного дефекта. Детальная информация как о самом дефек-
те, так и об областях рядом с ним может быть востребована различными специалистами.
Для исследования и контроля дефектов широко используются оптические методы [3, 6, 10,
13—19]. В результате применения таких методов может быть сформирована цифровая модель
рельефа (ЦМР) поверхности исследуемого объекта. Как правило, приборы для формирования
ЦМР снабжены программным обеспечением, позволяющим визуализировать распределение
z(x, y). Однако подробный анализ дефектов непосредственно по ЦМР часто затруднен в связи
со сложной формой исследуемых объектов [19—23].
В статье рассмотрена методика, в которой для измерения и контроля используются не соб-
ственно ЦМР (матрица значений z(x, y)), а геоморфометрическое моделирование, в частности —
цифровые модели морфометрических величин, рассчитываемых по ЦМР как функции первых и
2
2
2
∂z
∂z
∂
z
∂
z
∂
z
вторых частных производных
p
=
,
q
=
,
r
=
, t
=
,
s
=
Геоморфометрия — науч-
2
2
∂x
∂y
∂x
∂y
∂ ∂
ная дисциплина, предметом которой является математическое моделирование и анализ рельефа, а
также взаимосвязей между ним и другими компонентами геосистем [24, 25]. Список наиболее
часто используемых морфометрических величин: крутизна склона (G), экспозиция склона (A),
горизонтальная кривизна (kh), вертикальная кривизна (kv), разностная кривизна (E), избыточная
горизонтальная кривизна (khe), избыточная вертикальная кривизна (kve), аккумуляционная кривиз-
на (Ka), кольцевая кривизна (Kr), минимальная кривизна (kmin), максимальная кривизна (kmax), сред-
няя кривизна (H), гауссова кривизна (K), несферичность (M) и др. Каждая из морфометрических
42
А.А. Дедкова, И.В. Флоринский, Е.Э. Гусев и др.
величин имеет свой физико-математический смысл. Их определения, формулы и интерпретации
описаны в [25, 26]. Морфометрические величины рассчитываются в каждой точке поверхности
(кроме особых точек) и, таким образом, характеризуют особенности геометрии окрестности каж-
дой точки поверхности.
Целью статьи является ознакомление читателей с возможностями геоморфометрии для анали-
за и визуализации особенностей рельефа поверхности вблизи дефектов.
ИССЛЕДУЕМЫЕ ОБРАЗЦЫ И ИСПОЛЬЗУЕМОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
Объектами исследования были два типа структур.
Первый: сборки двух пластин, соединенных при помощи адгезивного слоя (специального клея)
на установке временного бондинга [29]. Дефекты были вызваны паразитными затеканиями жид-
костей, повреждениями тонкой пленки слоя Si (ее отслоением), неравномерным совмещением
пластин и их изгибом. Исследовали:
▪ сборку из стекла толщиной 500 мкм и кремния толщиной 140 мкм, оба — диаметром 150 мм;
▪ сборку из двух кремниевых пластин различного диаметра: 100 мм и 150 мм.
Стоит отметить, что отслаивание пленок, проявляющееся в виде одиночных трещин или вспу-
чивания, является типичным дефектом для систем пленка—подложка [7, 30—36].
Второй тип исследуемых структур: пленка Ni—W на подложке теллурида висмута.
Анализировали область растрескивания пленки. Пленка Ni—W была сформирована методом галь-
ванического осаждения из щелочного электролита на базе NiSO4×7H2O, NaOH, KNaC4H4O6×4H2O,
NH4OH 25%, H2WO4, при температуре 50 °С и плотности тока 10 А/дм2.
Исследуемые структуры являлись специально подобранными бракованными изделиями.
Для построения ЦМР поверхности использовался оптический профилометр Veeco Wyko NT
9300, реализующий метод вертикальной сканирующей интерферометрии [19, 20, 27, 28].
Были получены и проанализированы шесть ЦМР: области с крестообразным дефектом на
сборке кремний—стекло размером 9,5×10,4 мм (разрешение ЦМР 0,0287 мм) и размером
3,3×123,1 мм (разрешение ЦМР 0,1148 мм) — рис.1; верхней и нижней пластин сборки крем-
ний—кремний различного диаметра (разрешение ЦМР 0,1148 мм) — рис. 2; области с протяжен-
ными дефектами на сборке кремний—стекло размером 3,4×4,6 мм (разрешение ЦМР 0,0072 мм)
— рис. 3; области растрескавшейся пленки Ni—W размером 3,4×4,6 мм (разрешение ЦМР
0,0072 мм) — рис. 4.
МЕТОДЫ РАСЧЕТА И АНАЛИЗА
Для геоморфометрического моделирования (анализа ЦМР) поверхности исследуемых образ-
цов был применен универсальный спектрально-аналитический метод моделирования рельефа на
основе ортогональных разложений высокого порядка с использованием полиномов Чебышева
I рода с последующим суммированием Фейера [37]. Метод предназначен для обработки регуляр-
ных ЦМР в рамках единой схемы, включающей глобальную аппроксимацию ЦМР, генерализацию,
сглаживание и подавление шума в ЦМР, а также расчет морфометрических величин на основе
аналитического вычисления частных производных различного порядка. Аппроксимация характе-
ризуется монотонной сходимостью и возможностью быстрого глубокого разложения функции
высоты. Также в ряде случаев использовался расчет кривизн напрямую через первые и вторые
частные производные [38] после сглаживания ЦМР с помощью универсального спектрально-ана-
литического метода [37].
В результате геоморофометрического моделирования были получены цифровые модели и
карты kmin, kmax, H, K, M поверхности исследуемых образцов (рис. 1б, в, е—з; рис. 2; рис. 3в, г;
рис. 4б—г).
При анализе рассчитанных моделей морфометрических величин учитывались известные из
дифференциальной геометрии и геоморфометрии закономерности [25, 26]:
▪ знак гауссовой кривизны K позволяет анализировать локальную форму поверхности: выде-
лять эллиптические (K > 0), седловые (K < 0) и параболические точки ( K = 0);
▪ знаки главных кривизн kmin и kmax позволяют выделять локальные выпуклые и вогнутые
элементы рельефа: kmax > 0 соответствуют протяженным выпуклым областями поверхности,
kmax < 0 — локальным вогнутым элементам рельефа («впадинам»), kmin > 0 соответствуют
локальным выпуклым участкам («бугоркам»), kmin < 0 — протяженным вогнутым участкам
поверхности;
Дефектоскопия
№ 11
2021
Методика анализа объемных дефектов по цифровой модели рельефа поверхности
43
▪ по знаку средней кривизны поверхности H можно анализировать локальную форму поверх-
ности. Для выпуклых локальных участков поверхности — H > 0, для вогнутых — H < 0, для
локальных участков уплощения — H = 0;
▪ несферичность M показывает, насколько форма элемента поверхности отклоняется от сфери-
ческой (для сферы M = 0).
Расположение и размеры паттернов рельефа, отображаемых на картах кривизн? — существен-
но различается в зависимости от используемой глубины разложения исходной ЦМР (т.е. от коли-
чества коэффициентов разложения (n), используемого при восстановлении аппроксимированной
ЦМР). Чем меньше значение n, тем сильнее степень генерализации (сглаживания) ЦМР. Карты
морфометрических величин, рассчитанные при существенно отличающихся (например, на поря-
док) значений n, позволяют выявлять паттерны рельефа, которые относятся к разным уровням
пространственной иерархии (масштаба).
РЕЗУЛЬТАТЫ И ИХ ОБСУЖДЕНИЕ
На рис. 1 приведены карты рельефа и рассчитанных моделей морфометрических величин для
поверхности сборки кремний—стекло вблизи расположения крестообразного дефекта. Для оценки
а
б
Логарифмический
в
Логарифмический
масштаб
масштаб
15
10
4
10
10
10
8
8
2
5
5
6
6
0
0
0
4
4
-5
-2
-5
2
2
-10
–4
-10
0
0
2
4
6
8
0
2
4
6
8
-15
0 0
2
4
6
8
10
мм
мм
мм
г
мм
мкм
38
2,0
-20
0,0
-76
0
20
40
60
80
100
120123
мм
д
мкм
мм
4
2,0
0,0
-2
0
20
40
60
80
100
120123
мм
е
6
Логарифмический масштаб
4
4
2
2
0
-2
0
-4
0
20
40
60
80
100
120
мм
ж
Логарифмический масштаб
4
4
2
2
0
0
-2
0
20
40
60
80
100
120
мм
з
Логарифмический масштаб
2
4
0
2
–2
0
0
20
40
60
80
100
120
мм
Рис. 1. Исходный (а, г) и модифицированный (д) рельефы поверхности области с дефектом сборки кремний—стекло;
рассчитанные по ЦМР морфометрические величины: гауссова кривизна K (б, е), средняя кривизна H (в, ж), минималь-
ная кривизна kmin (з). Размер области анализа порядка 10×10 мм (а—в), 4 × 120 мм (г—з).
Дефектоскопия
№ 11
2021
44
А.А. Дедкова, И.В. Флоринский, Е.Э. Гусев и др.
области размером 3,3×123,1 мм также приведена карта рельефа этого образца после удаления
трендовой составляющей формы (рис. 1д) — сферы. Преимущественно, область самого дефекта
(«трещин») во всех случаях отображается красным цветом (см. рис. 1б, в, е—з — высокие поло-
жительные значения), что соответствует локальной выпуклой форме поверхности. При этом при-
сутствуют области с K < 0 (см. рис. 1б), что означает наличие локальных седловых участков.
Непосредственно примыкающие к трещине области на расстоянии от центра дефекта до 1,7 мм
отображены синим цветом (см. рис. 1б, в, е—з — большие отрицательные значения), что соответ-
ствует вогнутой седловой форме поверхности. Дальше от центра трещины располагаются области
положительной кривизны (см. рис. 1б, в, е—з) протяженностью порядка 1,4 мм, соответствующие
выпуклой форме поверхности. А еще дальше от дефекта — наблюдаются области K < 0, протяжен-
ностью порядка 6,5 мм. Анализ позволил выявить, что размер затронутой деформацией области
существенно превышает видимый невооруженным глазом размер дефекта, определить ее каче-
ственные особенности. Вдоль меньшей стороны дефекта визуально длина составила порядка 2 мм,
реальная общая протяженность деформированной области (вспучивание пленки) — порядка
18—20 мм (что хорошо видно и на рис. 1д, и на рис. 1е—з). Анализ, проведенный с использовани-
ем геоморфометрического моделирования (см. рис. 1б, в, е—з), позволяет получать гораздо более
подробную информацию о пространственных характеристиках дефекта, чем непосредственно по
ЦМР (см. рис. 1а, г, д).
Использование методов геоморфометрии для анализа дефектов по площади поверхности сбор-
ки кремний—кремний показано на рис. 2. С помощью карт главных кривизн проанализирован
характер расположения дефектов соединения на верхней пластине и особенности изменения
формы нижней пластины. В частности, поверхность верхней пластины содержит множество
локальных вогнутых областей (отрицательные kmax, рис. 2а) и протяженную разветвленную вогну-
тую область (отрицательные kmin, рис. 2б). При проведении генерализации ЦМР с большим коэф-
фициентом разложения n определено расположение локальных вогнутых областей меньшего раз-
мера. На картах главных кривизн нижней пластины видна слегка вогнутая область в ее центре
(левее базового среза верхней пластины).
а
б
Логарифмический
Логарифмический
масштаб
масштаб
140
140
6
3
120
5
120
2
4
1
100
100
3
0
80
80
-1
2
1
-2
60
60
0
-3
40
40
-1
-4
-2
-5
20
20
-3
-6
0
0
150
100
50
0
–4
150
100
50
0
–7
Рис. 2. Рассчитанные по ЦМР морфометрические величины для двух соединенных кремниевых пластин диаметром
100 мм (сверху) и 150 мм (снизу): максимальная кривизна kmax (а), минимальная кривизна kmin (б). Черной окружностью
показана граница соединения двух ЦМР, проходящая по периметру верхней пластины диаметром 100 мм.
Анализ карт морфометрических величин показал, что потенциально полезная возможность
применения методов геоморфометрии — это выявление расположения протяженных дефектов,
которые слабо различимы на исходной карте рельефа поверхности, построенной непосредстенно
по ЦМР. Хотя при достаточно большом опыте проведения исследований и возможности использо-
вать 3D-отображение эти протяженные дефекты могут быть обнаружены (рис. 3а), это требует
мастерства оператора. Вместе с тем на картах морфометрических величин хорошо видны располо-
жение и направление протяженных областей (как выпуклой, так и вогнутой формы). Авторы пола-
Дефектоскопия
№ 11
2021
Методика анализа объемных дефектов по цифровой модели рельефа поверхности
45
а
б
мкм
3,5
4,000
3
мм×10-3
2,5
4
2
3
2
1,5
1
1,148
–4,000
1
0
мм
0,5
-1
2,295
-2
0
0
1
2
3
4
3,443
мм
г
в
Логарифмический
Логарифмический
3,5
3,5
масштаб
масштаб
20
20
3
3
15
15
2,5
2,5
10
10
2
2
5
5
1,5
0
1,5
0
-5
-5
1
1
–10
-10
0,5
0,5
-15
-15
0
0
-20
–20
0
1
2
3
4
0
1
2
3
4
мм
мм
Рис. 3. Рельеф поверхности области с трещинами сборки кремний—стекло в 3D (а) и 2D (б); рассчитанные по ЦМР
морфометрические величины: максимальная кривизна kmax (в), минимальная кривизна kmin (г).
гают, что использование методов геоморфометрии позволит не только более подробно анализиро-
вать такого типа дефекты, но и выявлять их на порядок раньше, чем это можно было бы сделать,
используя только ЦМР.
Использование геоморфометрического моделирования для выявления протяженных дефектов,
слабо различимых на ЦМР поверхности, показано на рис. 3 для сборки кремний—стекло.
На рис. 3в по наибольшим значениям kmax видны протяженные выпуклые области, а на рис. 3г по
наименьшим kmin — протяженные вогнутые, в комплексе составляющие протяженный дефект.
Анализ отслоившейся и растрескавшейся пленки Ni—W показан на рис. 4. Ближе к левой верх-
ней части изображений хорошо видны границы отдельных областей растрескивания
(рис. 4б—г). Такой подход к анализу и визуализации дефектов удобен для определения размеров
отдельных квазиполигональных структур или направления их ребер, что может быть важно для
отдельных приложений [39].
Описанные методы могут быть полезны при анализе изменения исследуемого объекта с тече-
нием времени, в зависимости от приложенных воздействий, например, мембран [16, 38, 40, 41].
Геоморфометрическое моделирование может использоваться для исследования паттернов рас-
пределения дефектов и последующего построения физических моделей деградации объектов.
Примененный нами математический аппарат, по всей видимости, может быть применен для
анализа цифровых моделей данных, полученных на основе других физических принципов
[42—45].
ВЫВОДЫ
В статье показаны:
▪ возможность исследования размеров, расположения и характерных особенностей отдельных
дефектов (неоднородностей рельефа) по ЦМР с использованием методов геоморфометрии (в том
числе на объектах сложной формы) по картам гауссовой, средней, максимальной и минимальной
кривизны и других морфометрических величин;
Дефектоскопия
№ 11
2021
46
А.А. Дедкова, И.В. Флоринский, Е.Э. Гусев и др.
Логарифмический
а
мкм
б
масштаб
3,5
3,5
а
14
3
3
80
2,5
2,5
12
60
2
2
10
40
1,5
1,5
8
20
1
1
6
0
0,5
0,5
4
0
-20
0
0
1
2
3
4
0
1
2
3
4
мм
мм
г
Логарифмический
Логарифмический
в
масштаб
масштаб
3,5
3,5
10
в
15
3
8
3
6
10
2,5
2,5
4
2
2
5
2
1,5
0
1,5
0
-2
1
1
-4
-5
0,5
-6
0,5
–8
-10
0
0
0
1
2
3
4
0
1
2
3
4
мм
мм
Рис. 4. Рельеф поверхности области растрескивания пленки Ni—W (а); рассчитанные по ЦМР морфометрические вели-
чины: несферичность M (б), средняя кривизна H (в), максимальная кривизна kmax (г).
▪ возможность использования методов геоморфометрии для анализа расположения протяжен-
ных дефектов (в том числе для раннего их выявления), мелких выпуклых и вогнутых областей
поверхности, областей растрескивания и др.;
▪ повышение наглядности и информативности представляемых данных при использовании
методов геоморфометрии.
Авторы полагают, что описанная методика может быть полезна для более точного межопера-
ционного контроля в процессе изготовления различных изделий, для визуализации дефектов на
ранних стадиях их развития, а также для их подробного анализа.
Работа выполнена с использованием оборудования ЦКП «МСТ и ЭКБ» НИУ МИЭТ в рамках
реализации программы ЛИЦ «Доверенные сенсорные системы» (Договор № 009/20 от 10.04.2020).
Работа соавторов А.А. Дедковой, Е.Э. Гусева и Н.А. Дюжева была проведена при финансовой
поддержке Минкомсвязи России и АО «РВК» (Идентификатор соглашения о предоставлении суб-
сидии — 0000000007119P190002).
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
1. Булычев О.А., Шлеенков С.А., Гусев О.А., Шлеенков А.С. Выявление поверхностных микротре-
щин в металлических изделиях с помощью возбуждения высокочастотными вихревыми токами и визу-
ализацией инфракрасной камерой // Дефектоскопия. 2016. № 8. С. 47—54.
2. Сташков А.Н., Сомова В.М., Корх Ю.В., Огнева М.С., Сташкова Л.А., Сажина Е.Ю. Магнитная
и акустическая методики определения изменения фазового состава и динамики разрушения пластиче-
ски деформированной бескобальтовой мартенситно-стареющей стали // Дефектоскопия. 2015. № 7.
С. 54—68.
3. Оборин В.А., Банников М.В., Баяндин Ю.В., Соковиков М.А., Билалов Д.А., Наймарк О.Б.
Фрактальный анализ поверхности разрушения сплава АМг6 при усталостном и динамическом
нагружении // Вестник ПНИПУ. Механика.
2015.
№ 2. С. 116—126. DOI: 10.15593/perm.
mech/2015.2.07
Дефектоскопия
№ 11
2021
Методика анализа объемных дефектов по цифровой модели рельефа поверхности
47
4. Золотов Д.А., Бузмаков А.В., Елфимов Д.А., Асадчиков В.Е., Чуховский Ф.Н. Возможность выяв-
ления пространственного расположения одиночных дислокаций методом топо-томографии на лабора-
торных установках // Кристаллография. 2017. Т. 62. № 1. С. 12—16. DOI: 10.7868/S0023476117010271
5. Клунникова Ю.В., Гусев Е.Ю. Исследование термоупругих напряжений в пленках поликристал-
лического кремния на подложке сапфира, полученных плазмохимическим осаждением // Известия
ЮФУ. Технические науки. 2018. № 2 (196). С. 16—25. DOI: 10.23683/2311-3103-2018-2-16-25
6. Сенько С.Ф., Зеленин В.А. Оценка размеров топографических дефектов полупроводниковых
кремниевых структур // Приборы и методы измерений. 2018. Т. 9. № 1. С. 74—84. DOI: 10.21122/2220-
9506-2018-9-1-74-84
7. Телятник Р.С., Осипов А.В., Кукушкин С.А. Релаксация деформаций несоответствия за счет пор и
отслоений и условия образования дислокаций, трещин и гофров в эпитаксиальной гетероструктуре
AlN(0001)/SiC/Si(111) // Физика твердого тела. 2015. Т. 57. № 1. С. 153—162.
8. Шугуров А.Р., Панин А.В. Механизмы периодической деформации системы «пленка-подложка»
под действием сжимающих напряжений // Физическая мезомеханика. 2009. Т. 12. № 3. С. 23—32.
9. Глушков С.П., Соловьев Л.Ю., Борисовская Н.Е. Выявление дефектов в усиленных композицион-
ными материалами конструкциях методом инфракрасной термографии // Вестник Сибирского государ-
ственного университета путей сообщения. 2015. № 4 (35). С. 36—42.
10. Будаев В.П., Мартыненко Ю.В., Химченко Л.Н., Житлухин А.М., Климов Н.С., Питтс Р.А.,
Линке И., Базылев Б., Белова Н.Е., Карпов А.В., Коваленко Д.В., Подковыров В.Л., Ярошевская А.Д.
Рекристаллизация и изменение рельефа поверхности стали под воздействием излучения в плазменных
разрядах большой мощности // Физика плазмы. 2013. Т. 39. № 11. С. 1017—1032. DOI: 10.7868/
S0367292113110036
11. Финогенов Л.В., Завьялов П.С., Карлин В.Э., Хакимов Д.Р. Высокопроизводительный оптико-
электронный контроль боковой поверхности топливных таблеток с определением глубины дефектов //
Датчики и системы. 2016. № 7 (205). С. 53—59.
12. Будаговская О.Н., Будаговский А.В. Лазерная дефектоскопия плодов // Дефектоскопия. 2015.
№ 4. С. 63—73.
13. Карева Н.Т., Чунгаков Д.Т., Заварцев Н.А. Исследование трещинообразования при изготовлении
выпускного клапана ДВС // Вестник Южно-Уральского государственного университета. Серия:
Металлургия. 2019. Т. 19. № 2. С. 44—52. DOI: 10.14529/met190205
14. Алферова Е.А., Лычагин Д.В. Деформационный рельеф в кристаллах как способ релаксации напря-
жений // Письма о материалах. 2017. Т. 7. № 2 (26). С. 155—159. DOI: 10.22226/2410-3535-2017-2-155-159
15. ГОСТ Р 58399—2019.
16. Баженов С.Л., Разумовская И.В., Ковалец Н.П., Бедин С.А. Образование отслоений в металли-
ческом покрытии трековой мембраны // Доклады Академии наук. 2019. Т. 488. № 1. С. 44—46.
DOI: 10.31857/S0869-5652488144-46
17. Ol't Yu., Maksarov V.V., Makhov V.E. Intelligence systems for quality assessment of threaded surfaces
and flaw monitoring based on digital light field recording // Russian Journal of Nondestructive Testing. 2020.
V. 56. No. 11. P. 915—926. DOI: 10.1134/S1061830920110054 [Ольт Ю., Максаров В.В., Махов В.Е.
Интеллектуальные системы оценки качества обработки резьбовых поверхностей и контроля дефектов
на основе цифровой регистрации светового поля // Дефектоскопия.
2020.
№ 11. С. 46—57.
DOI: 10.31857/S0130308220110056].
18. Малинский Т.В., Миколуцкий С.И., Рогалин В.Е., Хомич Ю.В., Ямщиков В.А., Каплунов И.А.,
Иванова А.И. Модификация поверхности кремния при воздействии излучения наносекундного ультра-
фиолетового лазера // Физико-химические аспекты изучения кластеров, наноструктур и наноматериа-
лов. 2020. № 12. С. 628—636. DOI: 10.26456/pcascnn/2020.12.628
19. Djuzhev N.A., Gusev E.E., Dedkova A.A., Makhiboroda M.A. Non-destructive method of surface
mapping to improve accuracy of mechanical stresses measurements // IOP Conference Series: Materials
Science and Engineering. 2018. V. 289, P. 012007. DOI: 10.1088/1757-899X/289/1/012007
20. Ardigo M.R., Ahmed M., Besnard A. Stoney formula: Investigation of curvature measurements by
optical profilometer // Advanced Materials Research. 2014. V. 996. P. 361—366. DOI: 10.4028/www.
scientific.net/AMR.996.361
21. Kim J.H., Chung K. Thermo-mechanical constitutive equations for glass and its numerical formulation
for warpage analysis of silicon-glassmultilayered structure // International Journal of Plasticity. 2015. V. 75.
P. 204—225. DOI: 10.1016/j.ijplas.2014.12.006
22. Грибко В.В., Маркелов А.С., Трушин В.Н., Чупрунов Е.В. Управление кривизной поверхности
дифракционных элементов // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследова-
ния. 2017. № 5. С. 28—32. DOI: 10.7868/S0207352817050079
23. Якимчук И.В., Бузмаков А.В., Андреев А.В., Асадчиков В.Е. Исследование качества вогнутых
сферических поверхностей скользящим пучком рентгеновского излучения // Кристаллография. 2012.
Т. 57. № 2. С. 341—344.
24. Hengl T., Reuter H.I. (Eds.) Geomorphometry: Concepts, Software, Applications. Amsterdam:
Elsevier, 2009. 796 p.
Дефектоскопия
№ 11
2021
48
А.А. Дедкова, И.В. Флоринский, Е.Э. Гусев и др.
25. Florinsky I.V. Digital Terrain Analysis in Soil Science and Geology / 2nd ed. Amsterdam: Elsevier /
Academic Press, 2016. 486 p.
26. Florinsky I.V. An illustrated introduction to general geomorphometry // Progress in Physical Geography.
2017. V. 41. No. 6. P. 723—752. DOI: 10.1177/0309133317733667
27. Jiang C., Kilcullen P., Liu X., Ozaki T., Liang J. Three-dimensional structured light profilometry using
a bandwidth-limited projector // Proceedings of SPIE. 2019. V. 10932. P. 109320K. DOI: 10.1117/12.2510145
28. Mao C.-L., Lu R.-S., Dong J.-T., Zhang Y.-Z. Overview of the 3D profilometry of phase shifting fringe
projection // Jiliang Xuebao/Acta Metrologica Sinica. 2018. V. 39 (5). P. 628—640. DOI: 10.3969/j.issn.1000-
1158.2018.05.07
29. Fomichev M.Y., Makhiboroda M.A., Djuzhev N.A., Dedkova A.A., Gusev E.E. Development of adhesive
wafer bonding technology / Proceedings of the 2021 IEEE Conference of Russian Young Researchers in
Electrical and Electronic Engineering, ElConRus
2021. P.
2558—2562. DOI:
10.1109/
ElConRus51938.2021.9396080
30. Ярцев В.И., Демьянов Б.Ф., Плотников В.А., Макаров С.В., Соломатин К.В. Релаксационная
структура и внутренние напряжения в тонких углеродных пленках // Фундаментальные проблемы
современного материаловедения. 2015. Т. 12. № 4. С. 477—481.
31. Абрамян А.К., Бессонов Н.М., Индейцев Д.А., Мочалова Ю.А., Семенов Б.Н. Влияние локализа-
ции колебаний на отслоение пленки от основания // Вестник Санкт-Петербургского университета.
Математика. Механика. Астрономия. 2011. № 1. С. 8—16.
32. Кургузов В.Д. Моделирование отслоения тонких пленок при сжатии // Вычислительная механи-
ка сплошных сред. 2014. Т. 7. № 1. С. 91—99. DOI: 10.7242/1999-6691/2014.7.10
33. Кургузов В.Д., Демешкин А.Г. Экспериментальное и теоретическое исследование потери устой-
чивости узких тонких пластин на упругом основании при сжатии // Прикладная механика и техниче-
ская физика. 2016. Т. 57. № 3 (337). С. 121—128. DOI: 10.15372/PMTF20160313
34. Waters P. Stress Analysis and Mechanical Characterization of Thin Films for Microelectronics and
MEMS Applications / Ph.D. Thesis. Department of Mechanical Engineering College of Engineering University
of South, Florida, 2008. 197 p.
35. Evans A.G., Hutchinson J.W. The thermomechanical integrity of thin films and multilayers // Acta
Metallurgica et Materialia. 1995. V. 43. No. 7. P. 2507—2530. DOI: 10.1016/0956-7151(94)00444-M.
36. Hutchinson J.W., Suo S. Mixed mode cracking in layered materials // Advances in applied mechanics.
1992. V. 29. P. 63—191. DOI: 10.1016/S0065-2156(08)70164-9
37. Florinsky I.V., Pankratov A.N. A universal spectral analytical method for digital terrain modeling //
International Journal of Geographical Information Science. 2016. V. 30. No. 12. P. 2506—2528.
DOI: 10.1080/13658816.2016.1188932
38. Machado G., Favier D., Chagnon G. Membrane curvatures and stress-strain full fields of axisymmetric
bulge tests from 3D-DIC measurements. Theory and validation on virtual and experimental results //
Experimental Mechanics. 2012. V. 52. P. 865—880. DOI: 10.1007/s11340-011-9571-3
39. Воронин А.С., Иванченко Ф.С., Хартов С.В. Создание оптически прозрачного проводящего
покрытия на основе самоорганизованного шаблона // Решетневские чтения. 2014. Т. 1. С. 459—461.
40. Dedkova A.A., Dyuzhev N.A., Gusev E.E., Shtern M.Y. Fast nondestructive technique for analyzing
deflection of membranes located on the substrate // Russian Journal of Nondestructive Testing. 2020. V. 56.
No. 5. P. 452—459. DOI: 10.1134/S1061830920050046 [Дедкова А.А., Дюжев Н.А., Гусев Е.Э.,
Штерн М.Ю. Оперативная неразрушающая методика анализа прогиба мембран, расположенных на
пластине // Дефектоскопия. 2020. № 5. С. 52—59. DOI: 10.31857/S0130308220050073].
41. Дедкова А.А., Глаголев П.Ю., Гусев Е.Э., Дюжев Н.А., Киреев В.Ю., Лычев С.А., Товарнов Д.А.
Особенности деформирования круглых тонкопленочных мембран и экспериментальное определение
их эффективных характеристик // Журн. технической физики. 2021. Т. 91. № 10. С. 1454—1465.
DOI: 10.21883/JTF.2021.10.51357.121-21
42. Головин Ю.И., Тюрин А.И., Головин Д.Ю., Самодуров А.А. Электротоковая тепловая дефектоско-
пия металлических пластин // Письма в Журн. технической физики. 2017. Т. 43. № 19. С. 64—70. DOI:
10.21883/PJTF.2017.19.45083.16769
43. Башевская О.С., Бушуев С.В., Подураев Ю.В., Мельниченко Е.А., Щербаков М.И., Гарсков Р.
Применение инфракрасной термографии для оценки линейных размеров подповерхностных дефектов
// Измерительная техника. 2017. № 5. С. 34—37.
44. Булычев О.А., Шлеенков С.А., Лисиенко В.Е., Шлеенков А.С. Исследование возможности обна-
ружения поверхностных дефектов в ферромагнитных изделиях пироэлектромагнитным методом //
Дефектоскопия. 2010. № 4. С. 50—57.
45. Ужегова Н.И., Свистков А.Л. Многоуровневый анализ рельефа поверхности образца, получен-
ного методами атомно-силовой микроскопии // Вычислительная механика сплошных сред. 2016. Т. 9.
№ 3. С. 366—374. DOI: 10.7242/1999-6691/2016.9.3.30
Дефектоскопия
№ 11
2021
