ЖЭТФ, 2021, том 160, вып. 5 (11), стр. 678-688
© 2021
МАГНИТООПТИЧЕСКИЙ ПАРАМЕТР Q ДЛЯ СТРУКТУР
С ОДНООСНОЙ ОПТИЧЕСКОЙ АНИЗОТРОПИЕЙ
О. А. Максимоваa,b*, С. А. Лященкоa, С. Н. Варнаковa, С. Г. Овчинниковa,b
a Институт физики им. Л. В. Киренского Сибирского отделения Российской академии наук —
обособленное подразделение Федерального исследовательского центра
«Красноярский научный центр Сибирского отделения РАН»
660036, Красноярск, Россия
b Сибирский федеральный университет
660041, Красноярск, Россия
Поступила в редакцию 29 июня 2021 г.,
после переработки 29 июня 2021 г.
Принята к публикации 1 июля 2021 г.
Работа посвящена развитию метода магнитооптической эллипсометрии на отражение. Решена обрат-
ная задача для структур с оптической одноосной анизотропией: найдены коэффициенты отражения для
границы раздела внешняя среда-образец, получено аналитическое выражение для магнитооптического
параметра, пропорционального намагниченности, позволяющее определить его исключительно по экс-
периментальным данным, измеряемым с помощью магнитооптической эллипсометрии. Представлен по-
дробный алгоритм для проведения эксперимента по нахождению тензора диэлектрической проницаемо-
сти при экваториальной геометрии.
DOI: 10.31857/S0044451021110079
ся фотонные кристаллы [3], полимерные пленки [4],
ориентированные массивы углеродных нанотрубок
[5,6]. В последние годы также активно исследуются
1. ВВЕДЕНИЕ. ПОСТАНОВКА ЗАДАЧИ
оптические свойства анизотропных двумерных сис-
тем MXnes [7, 8] и MAX-фаз [9-11] (ab initio-расче-
Магнитооптическая эллипсометрия (МЭ) одно-
ты). Если рассматривать магнитооптические свой-
временно обладает высокой чувствительностью к
ства такой структуры, то кроме уже имеющейся оп-
магнитному состоянию и оптическим свойствам от-
тической анизотропии необходимо учитывать и вы-
ражающей поверхности. Этот метод широко исполь-
нужденную анизотропию [12], обусловленную при-
зуется и является очень удобным для контроля оп-
ложением внешнего магнитного поля, что неизбеж-
тических, структурных, магнитных, магнитоопти-
но усложняет расчет и анализ полного тензора ди-
ческих (МО) свойств наноструктурированных мате-
электрической проницаемости. Поэтому в литерату-
риалов. По причине громоздкости математического
ре такому подходу пока уделяется мало внимания.
аппарата МЭ, большинство измерений проводятся с
Преимущественно это работы [13-15], основанные на
целью простого анализа магнитных характеристик
формализме матриц 4×4 [16], который хорошо про-
по полевым зависимостям эллипсометрических уг-
работан для МЭ, но не всегда применим, так как
лов, либо рассмотрением простых изотропных и од-
для определения всех матричных элементов необ-
нородных сред. Однако многие материалы, особен-
ходимо проводить измерения в разных геометриях,
но в пленочном и диспергированном состояниях, об-
следовательно, вращать образец.
ладают зависимостью структуры от направления и,
как следствие, имеют одноосную оптическую ани-
Мы разработали оригинальный метод определе-
зотропию. У таких материалов отличаются оптиче-
ния всех компонент тензора диэлектрической про-
ские свойства в плоскости пленки и перпендикуляр-
ницаемости тонких магнитных слоев по данным
но к ней [1, 2]. Примерами этих структур являют-
МЭ-характеризации оптически изотропных объем-
ных сред и многослойных структур [17-21], который
* E-mail: maximo.a@mail.ru
заключается в сочетании классических эллипсомет-
678
ЖЭТФ, том 160, вып. 5 (11), 2021
Магнитооптический параметр Q...
тооптическому эффекту Керра (рисунок). При эква-
ториальной конфигурации МО-эффекта Керра на-
магниченность лежит в плоскости образца. Выбе-
рем направление оси z традиционно [12,17-22,29,30]
параллельно направлению намагниченности. Таким
образом, плоскость yz — граничная плоскость по-
верхности отражения, xy — плоскость падения света
на образец.
В общем случае оптически анизотропных сред
тензор диэлектрической проницаемости представля-
Геометрия экваториального магнитооптического эффекта
ют [13, 14] следующим образом:
Керра
εx
-iQzMz
-iQyMy
εMO =iQzMz
εy
-iQxMx,
(2)
рических измерений эллипсометричеcких углов ψ0,
iQyMy iQxMx
εz
Δ0 без приложения внешнего магнитного поля и
где Q
= (Qx , Qy , Qz ) — магнитооптический па-
проведении эллипсометрических измерений при пе-
ремагничивании образца во внешнем магнитном по-
раметр, не зависящий от намагниченности, а
ле (измерение δψ, δΔ) в экваториальной конфигура-
M = (Mx,My,Mz) — намагниченность.
ции. Эти измерения можно проводить при различ-
C другой стороны, есть традиция не выделять в
ных углах падения света и при разных длинах волн
компонентах тензора диэлектрической проницаемо-
падающего излучения. Решение обратной задачи за-
сти отдельно намагниченность, а вместо этого счи-
ключается в нахождении физических величин, та-
тать Q пропорциональным намагниченности магни-
ких как компоненты тензора диэлектрической про-
тооптическим параметром, именуемым также векто-
ницаемости, по набору данных ψ0, Δ0, δψ, δΔ по-
ром Фохта [12,29-34]. В этом случае для изотропных
сред, когда все диагональные компоненты тензора
средством рассмотрения системы основных уравне-
ний эллипсометрии:
равны и имеют некое значение ε0, недиагональные
компоненты тензора диэлектрической проницаемо-
Rp0
сти представляют собой произведение диагональной
tg(ψ0) exp(iΔ0) =
,
Rs0
компоненты на компоненту вектора Фохта:
(1)
Rp0 + Rp1
tg(ψ0 + δψ) exp(i0 + δΔ)) =
,
εij = -iε0Qk,
(3)
Rs0 + Rs1
где i, j, k принимают значение x, y, z. Из геомет-
где нижний индекс «0» — это индекс для измере-
рии решаемой нами МЭ-задачи следует, что для оп-
ний, проводимых без приложения внешнего магнит-
тической одноосной анизотропной полубесконечной
ного поля, «1» — для измерений при приложении
ферромагнитной структуры коэффициенты прелом-
внешнего магнитного поля. Здесь индексы «s», «p»
ления в плоскости yz одинаковы:
соответствуют s- и p-поляризации света.
В настоящей работе мы предлагаем расширить
Nx = Ny = Nz,
(4)
этот подход на магнитные оптически анизотроп-
ные материалы, а именно, для начала решить об-
что означает, что диагональные компоненты тензо-
ратную задачу МЭ для полубесконечных струк-
ра диэлектрической проницаемости в плоскости об-
тур с оптической одноосной анизотропией. При-
разца также одинаковы:
мерами подобных материалов являются толстые
εxx = εyy = εzz.
(5)
атомно-слоистые MAX-пленки [22], столбчатые фер-
ромагнитные пленки [23-25] и различные низко-
Таким образом, принимая во внимание рабо-
симметричные магнитооптически-активные объем-
ты [12,14], для случая одноосной анизотропии тен-
ные кристаллы [26-28]. Новый подход позволяет
зор диэлектрической проницаемости можно пред-
получать информацию о МО-свойствах образца из
ставить в виде
МЭ-измерений без вращения образца и электромаг-
εxx
-iεzzQ
0
нита, создающего внешнее магнитное поле.
ε=
zzQ
εzz
0
,
(6)
Рассмотрим геометрию МЭ-измерений на отра-
жение, соответствующую экваториальному магни-
0
0
εzz
679
О. А. Максимова, С. А. Лященко, С. Н. Варнаков, С. Г. Овчинников
ЖЭТФ, том 160, вып. 5 (11), 2021
где Q=Q1-iQ2 — комплексный магнитооптический
N2x - N20 sin2(ϕ0)
параметр, пропорциональный намагниченности, ле-
cos(ϕtp) =
(13)
Nx
жащей в плоскости пленки, εxx = ε′xx - iε′′xx, εzz =
В работе [36] сразу учтен знак минус в соотноше-
= ε′zz -iε′′zz (вещественные части обозначены одним
нии N = n-ik, что традиционно для представления
штрихом, мнимые части — двумя). Квадратичные
по намагниченности эффекты в данном случае не
коэффициента преломления в эллипсометрии и МЭ.
В изотропном пределе Nx = Ny = N1 из уравнений
учитываются.
Для изотропных структур коэффициенты отра-
(10), (11) следуют стандартные коэффициенты Фре-
неля [35].
жения, учитывающие магнитооптический отклик,
хорошо известны [12, 29]:
Однако коэффициенты отражения (10), (11) в
[36] не учитывают влияния внешнего магнитного
N0 cos(ϕ0) - N1 cos(ϕ1)
поля, и их недостаточно для анализа магнитооп-
Rs =
,
(7)
N0 cos(ϕ0) + N1 cos(ϕ1)
тических свойств образца. Выражения, учитываю-
щие магнитооптический отклик, нам и необходимо
добавить к уже известным в литературе формулам
N1 cos(ϕ0) - N0 cos(ϕ1)
Rp =
-
для коэффициентов отражения анизотропных сред,
N1 cos(ϕ0) + N0 cos(ϕ1)
связать с измеряемыми методом магнитооптической
N20 sin(2ϕ0)
- iQ
,
(8)
эллипсометрии параметрами и определить выраже-
(N1 cos(ϕ0) + N0 cos(ϕ1))2
ния для получения информации о магнитооптиче-
где N0 — комплексный показатель преломления
ском параметре Q = Q1 - iQ2 и о полном тензоре
внешней среды, N1 — комплексный показатель пре-
диэлектрической проницаемости (6).
ломления ферромагнитного материала, ϕ0 — угол
падения света на образец. Эти выражения исполь-
2. РАСЧЕТ КОЭФФИЦИЕНТОВ
зуются в основанном на матрицах Джонса мето-
ОТРАЖЕНИЯ ДЛЯ ГРАНИЦЫ РАЗДЕЛА
де определения компонент тензора диэлектрической
ВНЕШНЯЯ СРЕДА — ОПТИЧЕСКИ
проницаемости изотропных образцов, разработан-
АНИЗОТРОПНЫЙ ОДНООСНЫЙ
ном в работах [17-20].
ОБЪЕМНЫЙ ОБРАЗЕЦ С УЧЕТОМ
Работать с анизотропными средами, продолжая
МАГНИТООПТИЧЕСКОГО ОТКЛИКА
использовать матрицы Джонса и коэффициенты
Френеля, можно, когда выполняется условие ра-
Для того чтобы учесть магнитооптический от-
венства нулю недиагональных элементов матрицы
клик в выражених (10), (11), обратимся к тому,
Джонса коэффициентов отражения [35, 36]
как он учитывался в работах Соколова и Кринчика
[12, 29], где рассматривался случай границы разде-
rps = rsp = 0.
(9)
ла двух изотропных сред. Для учета экваториаль-
ного МО-эффекта Керра (TMOKE) при рассмотре-
В нашей геометрии выражение (9) справедли-
нии отражения на границе внешней среды с оптиче-
во, поскольку в случае одноосной оптической анизо-
ски анизотропным объемным образцом необходимо
тропии объемного образца для его выполнения до-
пройти те же шаги, что и при его учете на границе
статочно того, что оптическая ось параллельна или
перпендикулярна плоскости падения света [35, 36].
с изотропным образцом. Все выкладки ниже спра-
ведливы для видимого спектрального диапазона и
Для анизотропных систем с выбранной нами гео-
метрией (рисунок) получение коэффициентов отра-
проведены в предположении, что μ ≈ μ0 1, а маг-
нитооптический параметр Q ≪ 1 [12, 30, 32, 37].
жения описано в работе [36]. Их можно представить
Используем тензор
(6) и решаем уравнения
в виде
N0 cos(ϕ0) - Nzcos(ϕts)
Максвелла со следующей связью между напряжен-
rss =
,
(10)
N0 cos(ϕ0) + Nz cos(ϕts)
ностью и индукцией:
Ny cos(ϕ0) - N0 cos(ϕtp)
rpp =
,
(11)
Dx = εxxEx - iεzzQEy,
Ny cos(ϕ0) + N0 cos(ϕtp)
Dy =zzQEx + εzzEy,
(14)
где углы ϕts и ϕtp — углы преломления, определя-
ющиеся выражениями
Dz = εzzEz.
Решение ищем в виде плоской неоднородной вол-
sin2(ϕ0)
N2z - N2
0
cos(ϕts) =
,
(12)
ны, распространяющейся в магнитной среде:
Nz
680
ЖЭТФ, том 160, вып. 5 (11), 2021
Магнитооптический параметр Q...
( (
))
αx + βy + γz
отражения для анизотропных сред в отсутствие
E = E0 exp iω t -
,
(15)
υ
внешнего магнитного поля (10):
где α, β, γ — направляющие косинусы, υ — ско-
N0 cos(ϕ0) - Nz cos(ϕts)
рость распространения волны в среде. Тогда полу-
rs T MOKE =
,
(22)
N0 cos(ϕ0) + Nz cos(ϕts)
чим систему уравнений
соответственно, для s-поляризации влияние магнит-
εxxEx - iεzzQEy =
ного поля на коэффициент отражения при реали-
= N2x[Ex - α(αEx + βEy + γEz)],
зации экваториальной конфигурации МО-эффекта
zzQEx + εzzEy =
Керра отсутствует не только для изотропных сис-
(16)
тем, но и анизотропных тоже:
= N2y[Ey - β(αEx + βEy + γEz)],
εzzEz =
Rs1 = 0.
(23)
= N2z[Ez - γ(αEx + βEy + γEz)].
Коэффициент отражения для p-поляризации
В результате ряда преобразований (см. Прило-
при TMOKE получаем из (20), (21), к которым до-
жение A) с учетом (4), (5) получим
бавлено выражение для условия связи между Ed1 и
Ed2
(см. Приложение A):
(εxxεzz cos(ϕtp) +xxεzzQ sin(ϕtp))Ex +
+ (εxxεzz sin(ϕtp) - iε2zzQ cos(ϕtp))Ey = 0.
(17)
E0rp
cos(ϕ0) - FN0
rppTMOKE =
=
,
(24)
E0ip
cos(ϕ0) + FN0
С учетом введенной нами системы координат
где
граничные условия для s-поляризации:
cos(ϕtp) + iQ sin(ϕtp)
E0is + E0rs = Ed3 = Ets,
(18)
F =
(25)
Nz(1 + i(1 - εzzxx)Q sin(ϕtp)cos(ϕtp))
N0 cos(ϕ0)(E0is - E0rs) = Nz cos(ϕts)Ets,
(19)
Поскольку во время эксперимента для учета
для p-поляризации:
МО-вклада измеряются изменения эллипсометриче-
ских параметров, т. е. наблюдается изменение коэф-
cos(ϕ0)(E0ip - E0rp) = Ed2,
(20)
фициента отражения по сравнению с выражением
(11), характеризующим поведение света в ситуации
N0(E0ip + E0rp) =
без приложения внешнего магнитного поля, то хоте-
лось бы увидеть в явном виде изменение коэффици-
= Ny(cos(ϕtp)Ed2 - sin(ϕtp)Ed1),
(21)
ента отражения Rp1. Поэтому представим выраже-
где нижний индекс i при E соответствует падающей
ние (24) для rppTMOKE в виде суммы rpp без учета
волне, r — отраженной, d — прошедшей в среду, Ed1,
внешнего магнитного поля, т. е. выражения (11), и
Ed2, Ed3 — это соответственно x-, y-, z-компонен-
слагаемого, отвечающего за вклад экваториально-
ты амплитуды напряженности электрического поля
го МО-эффекта Керра (см. Приложение A). Таким
прошедшей волны [12, 29].
образом, получаем коэффициент отражения для p-
Полученный
коэффициент
отражения
поляризации с учетом МО-отклика в геометрии эк-
rss T MOKE полностью совпадает с коэффициентом
ваториального МО-эффекта Керра:
(
(
)
)
Nz cos(ϕ0) - N0 cos(ϕtp)
2N0Nz sin(ϕtp)cos(ϕ0)
1-
1-N2
z
/N2x
cos2(ϕtp)
rpp T MOKE =
- iQ
(26)
Nz cos(ϕ0) + N0 cos(ϕtp)
(Nz cos(ϕ0) + N0 cos(ϕtp))2
Из (26) можно получить выражение для коэффи-
N1 cos(ϕ0) - N0 cos(ϕ1)
rp =
-
циента отражения для границы раздела с изотроп-
N1 cos(ϕ0) + N0 cos(ϕ1)
ным кристаллом при учете того, что Nx = Nz = N1
)
2N0N1 sin(ϕ1)cos(ϕ0
и ϕtp =ϕ1:
- iQ
(27)
(N1 cos(ϕ0) + N0 cos(ϕ1))2
681
О. А. Максимова, С. А. Лященко, С. Н. Варнаков, С. Г. Овчинников
ЖЭТФ, том 160, вып. 5 (11), 2021
Воспользуемся законом Снелла
при наличии внешнего магнитного поля (TMOKE).
Эти малые параметры связаны с измеряемыми эл-
N1 sin(ϕ1) = N0 sin(ϕ0)
(28)
липсометрическими (ψ0, Δ0) и магнитоэллипсомет-
рическими (δψ, δΔ) параметрами следующим обра-
и тогда получаем известное выражение (8) для ко-
зом [20]:
эффициента отражения для p-поляризации на гра-
нице раздела двух изотропных сред [12, 38].
δψ(1 + tg2(ψ0))
R′′p0
α≈
+
δΔ,
(31)
tg(ψ0)
R′p0
3. АНАЛИТИЧЕСКИЙ РАСЧЕТ
δψ(1 + tg2(ψ0))
R′p0
МАГНИТООПТИЧЕСКОГО ПАРАМЕТРА Q
β ≈
-
δΔ,
(32)
′′
tg(ψ0)
R
p0
Как было показано нами в предыдущих рабо-
т. е. коэффициент отражения для p-поляризации
тах по изучению МО-свойств изотропных структур
можно записать следующим образом:
[20, 39], в случае, когда вклад от магнитного поля
в коэффициенты отражения мал, можно использо-
Rp = Rp0 + Rp1 = R′p0 - iR′′p0 + R′p1 - iR′′p1,
(33)
вать в расчетах малые параметры как отношения
магнитной к немагнитной частей коэффициента от-
Rp0 = R′p0 - iR′′p0,
(34)
ражения для p-поляризации:
Rp1 = R′p1 - iR′′p1 = αR′p0 - iβR′′p0.
(35)
α = R′p1/R′p0,
(29)
Сопоставим выражения (34), (35) с полученным
выше выражением (26)
β = R′′p1/R′′p0,
(30)
где индекс «0» соответствует измерениям, проводи-
Nz cos(ϕ0) - N0 cos(ϕtp)
R′p0 - iR′′p0 =
,
(36)
мым в отсутствие внешнего магнитного поля, «1» —
Nz cos(ϕ0) + N0 cos(ϕtp)
(
(
)
)
2N0Nz sin(ϕtp)cos(ϕ0)
1-
1-N2
z
/N2x
cos2(ϕtp)
αR′p0 - iβR′′p0 = -iQ
(37)
(Nz cos(ϕ0) + N0 cos(ϕtp))2
Учтем (31), (32) и выразим отсюда Q (см. Приложение B):
(
)
N20 cos2(ϕtp) - N2z cos2(ϕ0)
δψ(1 + tg2(ψ0))
Q=
δΔ - i
(38)
2N0Nz sin(ϕtp)cos(ϕ0)(1 - (1 - N2z/N2x)cos2(ϕtp))
tg(ψ0)
Таким образом, для одноосного анизотропного
N20 cos2(ϕ1) - N21 cos2(ϕ0)
Q=
×
объемного кристалла можно аналитически рассчи-
N20 sin(2ϕ0)
(
)
тать магнитооптический параметр по результатам
δψ(1 + tg2(ψ0))
× δΔ - i
(40)
МЭ-измерений, проведенных в экваториальной кон-
tg(ψ0)
фигурации МО-эффекта Керра.
Если в (37) положить, что Nx = Nz = N1 и ϕtp =
= ϕ1, полученное выражение (37) переходит в вы-
4. ОБСУЖДЕНИЕ РЕЗУЛЬТАТОВ
ражение
Как следует из полученного выражения (37),
для расчета всех компонент тензора диэлектричес-
N20 cos2(ϕ1) - N21 cos2(ϕ0)
Q=
×
кой проницаемости (6) достаточно иметь информа-
2N0N1 sin(ϕ1)cos(ϕ0)
(
)
цию об
δψ(1 + tg2(ψ0))
× δΔ - i
(39)
— угле падения света ϕ0,
tg(ψ0)
— коэффициенте преломления внешней сре-
ды N0,
Воспользуемся законом Снелла (28) и получим
— коэффициентах преломления анизотропной
выражение, полностью совпадающее со значением
структуры в плоскости образца Ny = Nz и перпен-
МО-параметра для изотропного кристалла [20]:
дикулярно ей Nx,
682
ЖЭТФ, том 160, вып. 5 (11), 2021
Магнитооптический параметр Q...
— эллипсометрическом параметре ψ0, измеряе-
измерений, т. е. если образец ферромагнитен, то ве-
мом без приложения магнитного поля,
личину H целесообразно выбрать из условия фер-
— магнитоэллипсометрических параметрах
ромагнитного насыщения образца.
4) Для заданного угла ϕ0 измеряем спектраль-
δψ = ψ(+H)-ψ(-H), δΔ = Δ(+H)-Δ(-H),
ные зависимости ψ0, Δ0 размагниченного образца и
измеряемых в экваториальной конфигурации маг-
изменения δψ, δΔ при перемагничивании образца в
нитооптического эффекта Керра, где ±H — внешнее
полях ±H;
магнитное поле на образце.
5) Задаем второй выбранный угол падения ϕ0 и
Экспериментальные подходы и математические
измеряем спектральные зависимости ψ0, Δ0 размаг-
инструменты для измерения коэффициентов пре-
ниченного образца;
ломления анизотропной пленки произвольной тол-
6) Для размагниченного состояния образца чис-
щины (в том числе непрозрачной) методом эллипсо-
ленными методами получаем комплексные величи-
метрии уже давно разработаны и не требуют допол-
ны Nx и Nz = Ny, из которых по (37) вычисляет-
нительных пояснений [40-42]. Реализация конкрет-
ся Q.
ного подхода может зависеть от условий экспери-
Получив значения магнитооптического парамет-
мента и имеющейся приборной базы эксперимента-
ра Q и коэффициентов преломления Nx, Ny, Nz,
тора.
можно рассчитать все компоненты тензора диэлект-
Следует учитывать, что предлагаемый нами ме-
рической проницаемости (6).
тод расчета Q ограничен не только особенностями
модели однородной полубесконечной среды и гео-
5. ВЫВОДЫ
метрией экваториального МО-эффекта Керра, но
также и условием малости МО-вклада в коэффици-
Таким образом, получены выражения для коэф-
ент отражения Rp для условия малости параметров
фициентов отражения для p- и s-поляризации для
α, β [20]. Последнее условие может быть нарушено
границы раздела внешней среды и образца с опти-
при близости к углу Брюстера, особенно для сла-
ческой одноосной анизотропией, учитывающие маг-
бопоглощающих образцов. Поэтому, на наш взгляд,
нитооптический отклик при геометрии экватори-
наиболее надежен подход, представляющий много-
ального магнитооптического эффекта Керра. Ана-
угловые эллипсометрические измерения, из-за про-
литически рассчитан магнитооптический параметр
стоты оптической схемы и возможности избежать
Q для выбранной геометрии эксперимента. Пока-
угол Брюстера. Образец обязан иметь гладкую от-
зана схема проведения магнитоэллипсометрических
ражающую поверхность, непрозрачную в использу-
измерений для получения всех компонент тензора
емом спектральном диапазоне, и насколько возмож-
диэлектрической проницаемости одноосного анизо-
но тонкий неферромагнитный оксидный слой на по-
тропного материала, например, MAX-фаз.
верхности. В этом случае можно представить алго-
ритм проведения магнитоэллипсометрического экс-
Финансирование. Исследование выполнено
перимента в следующем виде.
при поддержке Российского научного фонда (грант
1) Измеряем спектральные зависимости ψ0, Δ0
№21-12-00226, http://rscf.ru/project/21-12-00226/).
без магнитного поля для произвольного угла ϕ0.
Вычисляем спектральную зависимость веществен-
ной компоненты угла Брюстера для образца в при-
ПРИЛОЖЕНИЕ A
ближении изотропной полубесконечной среды. Вы-
бираем не менее двух углов падения ϕ0, которые
Ниже представлен вывод коэффициентов отра-
доступны для установки на магнитоэллипсометре и
жения на границе раздела внешней среды и объем-
не попадают на значения угла Брюстера в нужном
ной среды с одноосной оптической анизотропией и
спектральном диапазоне.
тензором диэлектрической проницаемости:
2) На одном из выбранных углов ϕ0 измеря-
εxx
-iεzzQ
0
ем полевые зависимости ψ0, Δ0 при фиксированной
длине волны, соответствующей максимальной вели-
ε=
zzQ
εzz
0
.
(A.1)
чине сигнал/шум магнитоэллипсометра.
0
0
εzz
3) По полевой зависимости ψ0, Δ0 выбираем оп-
тимальные значения магнитного поля ±H для даль-
Все выкладки ниже справедливы для видимого
нейших спектральных магнитоэллипсометрических
спектрального диапазона и проведены в предполо-
683
О. А. Максимова, С. А. Лященко, С. Н. Варнаков, С. Г. Овчинников
ЖЭТФ, том 160, вып. 5 (11), 2021
жении, что μ ≈ μ0 1, а магнитооптический пара-
N0 cos(ϕ0)(E0is - E0rs) = Nz cos(ϕts)Ets, (A.8)
метр Q ≪ 1 [12].
Ищем решение уравнений Максвелла
для p-поляризации:
Dx = εxxEx - iεzzQEy,
cos(ϕ0)(E0ip - E0rp) = Ed2,
(A.9)
Dy =zzQEx + εzzEy,
(A.2)
Dz = εzzEz.
N0(E0ip + E0rp) =
в виде плоской неоднородной волны, распростра-
= Ny(cos(ϕtp)Ed2 - sin(ϕtp)Ed1), (A.10)
няющейся в магнитной среде:
( (
))
где нижний индекс i при E соответствует падаю-
αx + βy + γz
E = E0 exp iω t -
,
(A.3)
щей волне, r — отраженной, d — прошедшей в сре-
υ
ду, Ed1, Ed2, Ed3 — это соответственно x-, y- и z-ком-
где α, β, γ — направляющие косинусы, υ — ско-
поненты амплитуды напряженности электрического
рость распространения волны в среде. Тогда полу-
поля прошедшей волны [12, 29].
чим систему уравнений
Для s-поляризации коэффициент отражения при
реализации экваториальной конфигурации МО-эф-
εxxEx - iεzzQEy =
фекта Керра (TMOKE) имеет вид
= N2x[Ex - α(αEx + βEy + γEz)],
N0 cos(ϕ0) - Nz cos(ϕts)
zzQEx + εzzEy =
(A.4)
rss T MOKE =
,
(A.11)
N0 cos(ϕ0) + Nz cos(ϕts)
= N2y[Ey - β(αEx + βEy + γEz)],
εzzEz = N2z[Ez - γ(αEx + βEy + γEz)].
Коэффициент отражения для p-поляризации
при TMOKE получаем из (A.9), (A.10), к которым
Домножим строки системы (A.4) соответствен-
необходимо добавить еще условие связи между Ed1 и
но на N2yN2zα, N2zN2xβ, N2xN2yγ, просуммируем их
Ed2. Искомое соотношение можно получить из (A.6):
и учтем, что Ny = Nz, ε = N2, а направляющие
косинусы α = cos ϕtp, β = sin ϕtp, γ = 0. Тогда
(εxx cos(ϕtp) +xxQ sin(ϕtp))Ed1
Ed2 =
,
(A.12)
получим
zzQ cos(ϕtp) - εxx sin(ϕtp)
(εxxEx - iεzzQEy) cos(ϕtp)εzz +
Соответственно, решаем систему трех уравне-
+ (zzQEx + εzzEy) sin(ϕtp)εxx = 0, (A.5)
ний:
(εxx cos(ϕtp)+xxQ sin(ϕtp))Ed1
Ed2 =
,
(εxxεzz cos(ϕtp) +xxεzzQ sin(ϕtp))Ex +
zzQ cos(ϕtp)xx sin(ϕtp)
+ (εxxεzz sin(ϕtp) - iε2zzQ cos(ϕtp))Ey = 0. (A.6)
cos(ϕ0)(E0ip - E0rp) = Ed2,
(A.13)
N0(E0ip+E0rp) = Ny(cos(ϕtp)Ed2 -
С учетом выбранной системы координат (см. ри-
сунок) получаем граничные условия для s-поляри-
- sin(ϕtp)Ed1).
зации:
Выразим Ed1 из первого уравнения системы
E0is + E0rs = Ed3 = Ets,
(A.7)
(A.13) и подставим в третье:
(
)
)
zzQ cos(ϕtp)xx sin(ϕtp
N0E0ip + N0E0rp = NyEd2 cos(ϕtp)-sin(ϕtp)
(A.14)
εxx cos(ϕtp)+xxQ sin(ϕtp)
Отсюда получаем выражение для Ed2:
))
(N0E0ip + N0E0rp)(εxx cos(ϕtp) +xxQ sin(ϕtp
Ed2 =
(A.15)
Nyεxx + iNyQ sin(ϕtp)cos(ϕtp)(εxx - εzz)
684
ЖЭТФ, том 160, вып. 5 (11), 2021
Магнитооптический параметр Q...
Теперь приравняем полученное выражение (A.15) к левой части второго уравнения в системе (A.13):
))
(N0E0ip + N0E0rp)(εxx cos(ϕtp) +xxQ sin(ϕtp
cos(ϕ0)(E0ip - E0rp) =
(A.16)
Nyεxx + iNyQ sin(ϕtp)cos(ϕtp)(εxx - εzz)
Поскольку нам необходимо получить выражение
Выражение (A.16) примет вид
для коэффициента отражения rp = E0rp/E0ip, удоб-
но ввести обозначение
E0ip cos(ϕ0) - E0rp cos(ϕ0) =
= FN0E0ip + FN0E0rp, (A.19)
F =
εxx cos(ϕtp) +xxQ sin(ϕtp)
E0ip(cos(ϕ0)-FN0) = E0rp(cos(ϕ0)+FN0). (A.20)
=
(A.17)
Nyεxx+iNyQ sin(ϕtp)cos(ϕtp)(εxxzz)
Таким образом, коэффициент отражения для
p-поляризации равен
Учтем, что Ny = Nz, поделим числитель и зна-
менатель F на ϵxx:
E0rp
cos(ϕ0) - FN0
rppTMOKE =
=
(A.21)
E0ip
cos(ϕ0) + FN0
F =
Выделим в (A.21) два слагаемых, Rp0 и Rp1, где
cos(ϕtp) + iQ sin(ϕtp)
немагнитное слагаемое Rp0
определяется выражени-
=
(A.18)
Nz(1 + i(1 - εzzxx)Q sin(ϕtp)cos(ϕtp))
ем (11), а Rp1 отвечает за вклад TMOKE:
(
)∕
N0
cos(ϕtp) + iQ sin(ϕtp)
rpp T MOKE = cos(ϕ0) -
Nz 1 + i(1 - εzzxx)Q sin(ϕtp)cos(ϕtp)
(
)
N0
cos(ϕtp) + iQ sin(ϕtp)
cos(ϕ0) +
(A.22)
Nz 1 + i(1 - εzzxx)Q sin(ϕtp)cos(ϕtp)
[
( (
)
)
]∕
εzz
rpp T MOKE = Nz cos(ϕ0)
1+i
1-
Q sin(ϕtp)cos(ϕtp)
- N0 cos(ϕtp) - iN0Qsin(ϕtp)
εxx
( (
)
)
]
∕[
εzz
Nz cos(ϕ0)
1+i
1-
Q sin(ϕtp)cos(ϕtp)
+ N0 cos(ϕtp) + iN0Qsin(ϕtp) ,
(A.23)
εxx
[
(
)
]∕
εzz
rpp T MOKE = Nz cos(ϕ0)-N0 cos(ϕtp) +i
1-
Q sin(ϕtp) cos(ϕtp)Nz cos(ϕ0) - iN0Q sin(ϕtp)
εxx
]
∕[
Nz cos(ϕ0) + N0 cos(ϕtp) + i (1 - εzzxx) Q sin(ϕtp)cos(ϕtp)Nz cos(ϕ0) + iN0Q sin(ϕtp) ,
(A.24)
[
(
)
]∕
εzz
rpp T MOKE = (Nz cos(ϕ0) - N0 cos(ϕtp)) - iQ sin(ϕtp)(N0 -
1-
cos(ϕtp)Nz cos(ϕ0))
εxx
(
)]
∕[
(1 - εzzxx)cos(ϕtp)Nz cos(ϕ0) + N0
(Nz cos(ϕ0) + N0 cos(ϕtp))
1 + iQsin(ϕtp)
(A.25)
Nz cos(ϕ0) + N0 cos(ϕtp)
Домножим числитель и знаменатель выражения (A.25) на комплексно-сопряженное второму множителю
знаменателя, а именно на
(
)
(1 - εzzxx) cos(ϕtp)Nz cos(ϕ0) + N0
1 - iQsin(ϕtp)
,
Nz cos(ϕ0) + N0 cos(ϕtp)
685
О. А. Максимова, С. А. Лященко, С. Н. Варнаков, С. Г. Овчинников
ЖЭТФ, том 160, вып. 5 (11), 2021
после чего, поскольку магнитооптический параметр Q ≪ 1, пренебрежем слагаемыми, пропорциональными
Q2 и более высоким степеням Q в виду малости:
[
]
(Nz cos(ϕ0) - N0 cos(ϕtp))
iQ sin(ϕtp)(N0 - (1 - εzzxx)cos(ϕtp)Nz cos(ϕ0))
rpp T MOKE =
-
×
Nz cos(ϕ0) + N0 cos(ϕtp)
Nz cos(ϕ0) + N0 cos(ϕtp)
(
)
(1 - εzzxx) cos(ϕtp)Nz cos(ϕ0) + N0
×
1 - iQsin(ϕtp)
,
(A.26)
Nz cos(ϕ0) + N0 cos(ϕtp)
Nz cos(ϕ0) - N0 cos(ϕtp)
iQ sin(ϕtp)(N0 - (1 - εzzxx)cos(ϕtp)Nz cos(ϕ0))
rpp T MOKE =
-
-
Nz cos(ϕ0) + N0 cos(ϕtp)
Nz cos(ϕ0) + N0 cos(ϕtp)
iQ sin(ϕtp)(N0 + (1 - εzzxx)cos(ϕtp)Nz cos(ϕ0))
-
(Nz cos(ϕ0) - N0 cos(ϕtp)), (A.27)
(Nz cos(ϕ0) + N0 cos(ϕtp))2
Таким образом, мы выделили уже первое слагаемое, которое, как и ожидалось, равно выражению (11).
Преобразуем вид второго и третьего слагаемых:
Nz cos(ϕ0) - N0 cos(ϕtp)
iQ sin(ϕtp)
rp T MOKE =
-
×
Nz cos(ϕ0) + N0 cos(ϕtp)
(Nz cos(ϕ0) + N0 cos(ϕtp))2
((
(
)
)
εzz
× N0- 1-
cos(ϕtp)Nz cos(ϕ0) (Nz cos(ϕ0)+N0 cos(ϕtp))+ (Nz cos(ϕ0) - N0 cos(ϕtp)) ×
εxx
(
(
)
))
εzz
× N0 +
1-
cos(ϕtp)Nz cos(ϕ0)
(A.28)
ϵxx
Рассмотрим отдельно выражение в скобке второго слагаемого, обозначим его буквой A
A = (N0-(1zzxx)cos(ϕtp)Nz cos(ϕ0))(Nz cos(ϕ0)+N0 cos(ϕtp))+(Nz cos(ϕ0)-N0 cos(ϕtp))×
× (N0 + (1 - εzzxx) cos(ϕtp)Nz cos(ϕ0)). (A.29)
Раскроем скобки:
A = N0Nz cos(ϕ0)-N2z (1zzxx)cos(ϕtp)cos2(ϕ0)+N20 cos(ϕtp)-N0Nz (1zzxx)cos(ϕ0)cos2(ϕtp)+
+ N0Nz cos(ϕ0) + N2z (1 - εzzxx) cos(ϕtp)cos2(ϕ0)-
- N20 cos(ϕtp) - N0Nz (1 - εzzxx)cos(ϕ0)cos2(ϕtp), (A.30)
(
)
A = 2N0Nz cos(ϕ0)
1 - (1 - εzzxx)cos2(ϕtp)
(A.31)
В итоге выражение (A.28) принимает форму
(
)
Nz cos(ϕ0) - N0 cos(ϕtp)
2N0Nz sin(ϕtp)cos(ϕ0)
1 - (1 - εzzxx)cos2(ϕtp)
rppTMOKE =
- iQ
,
(A.32)
Nz cos(ϕ0) + N0 cos(ϕtp)
(Nz cos(ϕ0) + N0 cos(ϕtp))2
где первое слагаемое это Rp0, а второе — Rp1.
Таким образом, получаем коэффициент отражения для p-поляризации с учетом МО-отклика при гео-
метрии TMOKE:
(
(
)
)
Nz cos(ϕ0) - N0 cos(ϕtp)
2N0Nz sin(ϕtp)cos(ϕ0)
1-
1 - N2z/N2x
cos2(ϕtp)
rpp T MOKE =
- iQ
(A.33)
Nz cos(ϕ0) + N0 cos(ϕtp)
(Nz cos(ϕ0) + N0 cos(ϕtp))2
686
ЖЭТФ, том 160, вып. 5 (11), 2021
Магнитооптический параметр Q...
ПРИЛОЖЕНИЕ B
Ниже представлен вывод выражения для МО-параметра Q из системы уравнений (36). Из второго урав-
нения мы получаем
))2
(iαR′p0 + βR′′p0)(Nz cos(ϕ0) + N0 cos(ϕtp
Q=
(B.1)
2N0Nz sin(ϕtp)cos(ϕ0)(1 - (1 - N2z/N2x)cos2(ϕtp))
Распишем первый множитель в числителе (B.1) с учетом выражений для малых параметров α и β (31),
(32):
(
)
(
)
δψ(1 + tg2(ψ
0))
R′p0
δψ(1 + tg2(ψ0))
R′′
p0
βR′′p0 + iαR′p0 =
-
δΔ R′′p0 + i
+
δΔ R′p0.
(B.2)
tg(ψ0)
R′′p0
tg(ψ0)
R
p0
Раскроем скобки и приведем подобные:
δψ(1 + tg2(ψ0))
δψ(1 + tg2(ψ0))
βR′′p0 + iαR′p0 =
R′′p0 - R′p0δΔ + i
R′p0 + iR′′p0δΔ =
tg(ψ0)
tg(ψ0)
(
)
δψ(1 + tg2(ψ0))
δψ(1 + tg2(ψ0))
=
(R′′p0 + iR′p0) - δΔ(R′p0 + iR′′p0) = Rp0 i
- δΔ
(B.3)
tg(ψ0)
tg(ψ0)
Тогда магнитооптический параметр приобретает вид
(
)
δψ(1 + tg2(ψ0))
Q=Rp0
i
- δΔ (Nz cos(ϕ0) + N0 cos(ϕtp))2
tg(ψ0)
(
(
)
))
∕(
N2z
2N0Nz sin(ϕtp)cos(ϕ0)
1-
1-
cos2(ϕtp)
(B.4)
N2
x
Подставляем значение Rp0 из (36)
(
)
)
Nz cos(ϕ0) - N0 cos(ϕtp
δψ(1 + tg2(ψ0))
2
Q=
i
- δΔ (Nz cos(ϕ0) + N0 cos(ϕtp))
Nz cos(ϕ0) + N0 cos(ϕtp)
tg(ψ0)
(
(
)
))
∕(
N2z
2N0Nz sin(ϕtp)cos(ϕ0)
1-
1-
cos2(ϕtp)
=
N2
x
(
)
(Nz cos(ϕ0))2 - (N0 cos(ϕtp))2
δψ(1 + tg2(ψ
0))
=
i
- δΔ
(B.5)
2N0Nz sin(ϕtp)cos(ϕ0)(1 - (1 - N2z/N2x)cos2(ϕtp))
tg(ψ0)
Отсюда получаем выражение для расчета магнитооптического параметра для одноосного анизотропного
объемного кристалла:
(
)
N20 cos2(ϕtp) - N2z cos2(ϕ0)
δψ(1 + tg2(ψ0))
Q=
δΔ - i
(B.6)
2N0Nz sin(ϕtp)cos(ϕ0)(1 - (1 - N2z/N2x)cos2(ϕtp))
tg(ψ0)
ЛИТЕРАТУРА
4. M. Losurdo, G. Bruno, and E. A. Irene, J. Appl. Phys.
94, 4923 (2003).
1. H. Schopper, Z. Physik 132, 146 (1952).
5. K. Bubke, H. Gnewuch, M. Hempstead et al., Appl.
2. T. Yamaguchi, S. Yoshida, and A. Kinbara, J. Opt.
Phys. Lett. 71, 1906 (1997).
Soc. Amer. 62, 634 (1972).
3. J. Gomis-Bresco, D. Artigas, and L. Torner, Nat.
6. Y. Murakami, Sh. Chiashi, Y. Miyauchi et al., Chem.
Photon. 11, 232 (2017).
Phys. Lett. 385, 298 (2004).
687
О. А. Максимова, С. А. Лященко, С. Н. Варнаков, С. Г. Овчинников
ЖЭТФ, том 160, вып. 5 (11), 2021
7.
K. Chaudhuri, Z. Wang, M. Alhabeb et al., 2D Metal
27.
J. Bartolomé, A. Arauzo, N. V. Kazak et al., Phys.
Carbides and Nitrides (MXenes), ed. by B. Anasori
Rev. B 83, 144426 (2011).
and Y. Gogotsi, Springer, Cham. (2019), p. 327.
28.
И. И. Назаренко, Структура, магнитные свойст-
8.
K. Hantanasirisakul and Y. Gogotsi, Adv. Mater. 30,
ва оксиборатов переходных металлов со струк-
1804779 (2018).
турой котоита и людвигита, Дисс
канд.
физ.-матем. наук, ФИЦ КНЦ СО РАН, Красно-
9.
Y. Mo, P. Rulis, and W. Y. Ching, Phys. Rev. B 86,
ярск (2019).
165122 (2012).
29.
Г. С. Кринчик, Физика магнитных явлений,
10.
X.H. Li, H.L. Cui, and R.Z. Zhang, Front. Phys. 13,
Изд-во МГУ, Москва (1976).
136501 (2018).
30.
А. Н. Калиш, Магнитооптические эффекты в
11.
A. Chowdhury, M. A. Ali, M. M. Hossain, M. M. Ud-
периодических наноструктурированных средах,
din, S. H. Naqib, and A. K. M. A. Islam, Phys. Stat.
Дисс. канд. физ.-матем. наук, МГУ, Москва
Sol. B 255, 1700235 (2018).
(2013).
12.
А. В. Соколов, Оптические свойства металлов,
31.
T. Haider, Int. J. Electromagn. Appl. 7, 17 (2017).
ГИФМЛ, Москва (1961).
32.
V. I. Belotelov and A. K. Zvezdin, J. Opt. Soc. Amer.
13.
K. Mok, G. J. Kovács, J. McCord et al., Phys. Rev.
B 22, 286 (2005).
B 84, 094413 (2011).
33.
K. W. Wierman, J. N. Hilfiker, R. F. Sabiryanov et
14.
K. Mok, C. Scarlat, G. J. Kovács et al., J. Appl. Phys.
al., Phys. Rev. B 55, 3093 (1997).
110, 123110 (2011).
34.
R. Rauer, G. Neuber, J. Kunze et al., Rev. Sci. Instr.
15.
D. Schmidt, C. Briley, E. Schubert et al., Appl. Phys.
76, 023910 (2005).
Lett. 102, 123109 (2013).
35.
R. M. A. Azzam and N. M. Bashara, Ellipsometry and
16.
P. Yeh, Surface Science 96, 41 (1980).
Polarized Light, North-Holland Pub. Co., Amsterdam
17.
O. A. Maximova, N. N. Kosyrev, S. N. Varnakov et
(1977).
al., J. Magn. Magn. Mater. 440, 196 (2017).
36.
H. Fujiwara, Spectroscopic Ellipsometry Principles
18.
O. A. Maximova, N. N. Kosyrev, S. N. Varnakov
and Applications, John Wiley & Sons Ltd., Chiches-
et al., IOP Conference Series: Materials Science and
ter (2007).
Engineering 155, 012030 (2017).
37.
В. И. Белотелов, Плазмонные гетероструктуры и
19.
O. A. Maximova, S. A. Lyaschenko, S. N. Varnakov
фотонные кристаллы с перестраиваемыми опти-
et al., Defect and Diffusion Forum 386, 131 (2018).
ческими свойствами, Дисс
докт. физ.-матем.
наук, МГУ, Москва (2012).
20.
O. Maximova, S. Ovchinnikov, and S. Lyaschenko,
J. Phys. A: Math. Theor. 54, 295201 (2021).
38.
А. В. Малаховский, Избранные вопросы оптики
и магнитооптики соединений переходных элемен-
21.
О. А. Максимова, С. А. Лященко, М. А. Высотин
тов, Наука, Сибирское отделение, Новосибирск
и др., Письма в ЖЭТФ 110, 155 (2019).
(1992).
22.
S. Lyaschenko, O. Maximova, D. Shevtsov et al., J.
39.
О. А. Максимова, Оптические и магнитооптиче-
Magn. Magn. Mater. 528, 167803 (2021).
ские свойства магнитных наноструктур по дан-
23.
Sh. Zhu, X. Tang, R. Wei et al., J. Magn. Magn.
ным in situ спектральной магнитооптической эл-
Mater. 484, 95 (2019).
липсометрии, Дисс
канд. физ.-матем. наук,
ФИЦ КНЦ СО РАН, Красноярск (2020).
24.
S. Y. Wu, H. X. Liu, Lin Gu et al., Appl. Phys. Lett.
82, 3047 (2003).
40.
D. den Engelsen, J. Opt. Soc. Amer. 61, 1460 (1971).
25.
T. C. Chuang, C. F. Pai, and S. Y. Huang, Phys. Rev.
41.
R. M. A. Azzam and N. M. Bashara, J. Opt. Soc.
Appl. 11, 061005 (2019).
Amer. 64, 128 (1974).
26.
Н. Б. Иванова, Н. В. Казак, Ю. В. Князев и др.,
42.
T. Wagner, J. N. Hilfiker, T. E. Tiwald et al., Phys.
ЖЭТФ 140, 1160 (2011).
Stat. Sol. A 188, 1553 (2001).
688