1. На главную
  2. Электронные версии
  3. Известия РАН. Серия физическая
  4. T. 87, № 10, 2023

Известия РАН. Серия физическая, 2023, T. 87, № 10, стр. 1446-1451

Влияние продолжительного отжига на морфологию и оптические свойства пленок ZnO, полученных магнетронным напылением

В. В. Томаев 1, 4, *, В. А. Полищук 2, Н. Б. Леонов 3, Т. А. Вартанян 3

1 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования “Санкт-Петербургский государственный технологический институт (технический университет)”,
Санкт-Петербург, Россия

2 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования “Государственный университет морского и речного флота имени адмирала С.О. Макарова”
Санкт-Петербург, Россия

3 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования “Национальный исследовательский университет ИТМО”
Санкт-Петербург, Россия

4 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования “Санкт-Петербургский горный университет”
Санкт-Петербург, Россия

* E-mail: tvaza@mail.ru

Поступила в редакцию 20.04.2023
После доработки 22.05.2023
Принята к публикации 28.06.2023

Аннотация

Изучено влияние времени отжига на структурные и оптические свойства пленок ZnO, которые сформированы из пленок Zn, полученных методом магнетронного напыления с последующим окислением в атмосфере воздуха. Термическое окисление происходило в атмосфере воздуха в течение 7 и 24 ч соответственно, в программируемой муфельной печи при T = 750°C. Обнаружено изменение структуры поверхности пленок в зависимости от времени отжига пленки Zn и материала подложки, которое проявляется в оптических свойствах пленок.

Список литературы

  1. Özgür Ü., Alivov Ya. I., Liu C. et al. // J. Appl. Phys. 2005. V. 98. P. 041301.

  2. Morkoç H., Özgür Ü. Zinc oxide: fundamentals, materials and device technology. Weinheim: WILEY-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, 2009. 490 p.

  3. Singh A., Vishwakarma H.L. // IOSR-JAP. 2014. V. 6. No. 2. Ver. II. P. 28.

  4. Özgür Ü., Hofstetter D., Morkoç H. // Proc. IEEE. 2010. V. 98. No. 7. P. 1255.

  5. Rashmi R.K., Deepak .P, Saurabh K.P. // Res. Develop. Mater. Sci. V. 3. No. 3. P. 265.

  6. Ellmer K., Klein A., Rech B. Transparent conductive zinc oxide. Springer series in materials science 104. Berlin Heidelberg: Springer-Verlag, 2008. 32 p.

  7. Parihar V., Raja M., Paulose R. // Rev. Adv. Mater. Sci. 2018. V. 53. P. 119.

  8. Janotti A., Van de Walle C.G. // Rep. Prog. Phys. 2009. V. 72. P. 126501.

  9. Kulkarni S.S., Shirsat M.D. // IJARPS. 2015. V. 2. No. 1. P. 14.

  10. Nenavathu B.P., Sharma A., Dutta R.K. // J. Water Environ. Nanotechnol. 2018. V. 3(4). P. 289.

  11. Pranav Y.D., Kartik H.P., Kamlesh V.C. et al. // Proc. Technology. 2016. V. 23. P. 328.

  12. Damiani L.R., Mansano R.D. // J. Phys. Conf. Ser. 2012. V. 370. Art. No. 012019.

  13. Kuz'mina A.S., Kuz’mina M.Yu., Kuz’min M.P. // Mater. Sci. Forum Subm. 2019. V. 989. No. 10. P. 210.

  14. Balela M.D.L., Pelicano C.M.O., Ty J.D., Yanagi H. // Opt. Quant. Electron. 2017. V. 49. No. 3. 11 p.

  15. Hasnidawani J.N., Azlina H.N., Norita H. et al. // Proc. Chemistry. 2016. V. 19. P. 211.

  16. Abdullach K.A., Awad S., Zaraket J., Salame C. // Energy Proc. 2017. V. 119. P. 565.

  17. Fouad O.A., Ismail A.A., Zaki Z.I., Mohamed R.M. // Appl. Catalysis B. 2006. V. 62. P. 144.

  18. Hassan N.K., Hashim M.R. // Sains Malaysiana. 2013. V. 42. No. 2. P. 193.

  19. Dikovska A.Og., Atanasov P.A., Vasilev C. et al. // J. Optoelectron. Adv. Mater. 2005. V. 7. No. 3. P. 1329.

  20. Vincze A., Bruncko J., Michalka M., Figura D. // Central Europ. J. Phys. 2007. V. 5. No. 3. P. 385.

  21. John A., Ko H.-U., Kim D.-G., Kim J. // Cellulose. 2011. V. 18. P. 675.

  22. Habibi R., Daryan J.T., Rashidi A.M. // J. Exper. Nanosci. 2009. V. 4. No. 1. P. 35.

  23. Feng T.-H., Xia X.-C. // Opt. Mater. Express. 2016. V. 6. Art. No. 3735.

  24. Kelly P.J., Arnell R.D. // Vacuum. 2000. V. 56. P. 159.

  25. Rahman F. // Opt. Engin. 2019. V. 58(1). P. 010901.

  26. Guan N., Dai X., Babichev A.V. et al. // Chem. Sci. 2017. V. 8. P. 7904.

  27. Park G.C., Hwang S.M., Lee S.M. et al. // Sci. Reports. 2015. V. 5. P. 10410.

  28. Macaluso R., Lullo G., Crupi I. et al. // Electronics. 2020. V. 9. P. 991.

  29. Baratto C., Kumar R., Comini E. et al. // Opt. Express. 2015. V. 23. No. 15. P. 18937.

  30. Rauwel P., Salumaa M., Aasna A. et al. // J. Nanomaterials. 2016. V. 2016. Art. No. 5320625.

  31. Rodnyi P., Chernenko K., Klimova O. et al. // Radiat. Measurements. 2016. V. 90. P. 136.

  32. Rodnyi P.A., Chernenko K.A., Venevtsev I.D. // Opt. Spectrosc. 2018. V. 125. No. 3. P. 372.

  33. Janotti A., Van de Walle C.G. // Rep. Progr. Phys. 2009. V. 72. P. 126501.

  34. Zhang M., Averseng F., Krafft J.-M. et al. // J. Phys. Chem. C. 2020. V. 124. No. 23. P. 12696.

  35. Guo H.-L., Zhu Q., Wu X.-L. et al. // Nanoscale. 2015. V. 7. P. 7216.

  36. Chen L., Zhai B., Huang Y.M. // Catalysts. 2020. V. 10. P. 1163.

  37. Wang J., Xiang L., Komarneni S. // Ceram. Internat. 2018. V. 44. No. 7. P. 7357.

  38. Kröger F.A. The chemistry of imperfect crystals. Amsterdam: North-Holland Publ. Cj., 1964.

  39. Hauffe K., Reactionen in und an FestenStoffen, Berlin: Springer, 1955.

  40. Moore W.L., Williams E.L. // Discuss. Faraday Soc. 1959. V. 28. P. 86.

  41. Leonov N.B., Komissarov M.D., Parfenov P.S. et al. // Appl. Phys. A. 2022. V. 128. P. 665.

  42. Tomaev V.V., Polischuk V.A., Vartanyan T.A. et al. // Opt. Spectrosc. 2021. V. 129. No. 9. P. 1033.

Дополнительные материалы отсутствуют.

Инструменты

следующая статья выпуска предыдущая статья выпуска содержание выпуска

Известия РАН. Серия физическая

Архивы выпусков Информация о журнале Отправить рукопись в журнал