Журнал экспериментальной и теоретической физики, 2020, T. 158, № 6, стр. 1083-1088

Атомная и электронная структура пленок SiOx, полученных с помощью водородной плазмы электрон-циклотронного резонанса

Перевалов Т.В., Исхакзай Р.М.Х., Алиев В.Ш., Гриценко В.А., Просвирин И.П.

Полный текст (PDF) / Полный текст (HTML)