Журнал общей химии, 2019, T. 89, № 11, стр. 1786-1791

Получение высокопрозрачных пленок SiC_xN_yO_z:H плазмохимическим разложением газовой смеси 1,1,3,3,5,5-гексаметилциклотрисилазана, кислорода и азота

А.Г. Плеханов, Н И. Файнер, Е А. Максимовский, В Р. Шаяпов, И В. Юшина, М Н. Хомяков

Полный текст (PDF) / Полный текст (HTML)

Инструменты

Журнал общей химии