Журнал общей химии, 2022, T. 92, № 4, стр. 547-577

Эпитаксиальный карбид кремния на кремнии. Метод согласованного замещения атомов (обзор)

С.А. Кукушкин, А.В. Осипов

EDN: CSQDSQ
DOI: 10.31857/S0044460X22040023

Полный текст (PDF) / Полный текст (HTML)

Инструменты

следующая статья выпуска предыдущая статья выпуска содержание выпуска

Журнал общей химии

Архивы выпусков Информация о журнале Отправить рукопись в журнал