Журнал прикладной химии, 2021, T. 94, № 8, стр. 993-1001

Влияние температуры осаждения на строение тонких пленок дисульфида молибдена, формируемых химическим осаждением из газовой фазы

Хаттаб Ю., Александров С.E., Федоров В.В., Коваль O.Ю.

DOI: 10.31857/S0044461821080041

Полный текст (PDF) / Полный текст (HTML)

Инструменты

следующая статья выпуска предыдущая статья выпуска содержание выпуска

Журнал прикладной химии

Архивы выпусков Информация о журнале Отправить рукопись в журнал