Журнал прикладной химии, 2022, T. 95, № 4, стр. 483-489

Низкотемпературное плазмохимическое осаждение при атмосферном давлении пленок диоксида кремния из тетраэтоксисилана

Биль А.С., Александров С.Е.

EDN: DHHHOD
DOI: 10.31857/S0044461822040090

Полный текст (PDF) / Полный текст (HTML)

Инструменты

следующая статья выпуска предыдущая статья выпуска содержание выпуска

Журнал прикладной химии

Архивы выпусков Информация о журнале Отправить рукопись в журнал