Радиотехника и электроника, 2023, T. 68, № 12, стр. 1211-1218

Поглощающие экраны микрополосковых сборок

М. В. Алимов a, А. А. Жуков ab*, С. Д. Якухин a

a АО “Российские космические системы”
111250 Москва, ул. Авиамоторная, 53, Российская Федерация

b Московский авиационный институт (национальный исследовательский университет)
125993 Москва, Волоколамское шос., 4, Российская Федерация

* E-mail: zhukov.aa@spacecorp.ru

Поступила в редакцию 28.12.2022
После доработки 13.06.2023
Принята к публикации 26.06.2023

Аннотация

Предложен экран, поглощающий электромагнитное излучение, разработана микромашинная технология его изготовления на основе объемной микрообработки монокристаллического кремния, изготовлены экспериментальные образцы и исследованы их характеристики. Показано, что в диапазоне частот измерений 14.7…26.7 ГГц наблюдается плавный рост ослабления, вносимого поглощающим экраном, с ростом частоты до максимального значения 20…23 дБ на частоте около 20 ГГц, а затем плавный спад. Величина ослабления увеличивается по мере роста длины экрана и может достигать любых значений. Изготовленные образцы поглощающего экрана обеспечивают получение значительного ослабления в требуемом частотном диапазоне при малой толщине подложки и могут быть успешно применены в аппаратуре космического назначения с целью обеспечения электромагнитной совместимости.

Список литературы

  1. ТУ 6-00-5761783-322-891. “Пластины эластичные марок “ХВ”. М.: Госстандарт, 1989. https://ohranatruda.ru/upload/iblock/52b/4293841952.pdf.

  2. Рязанцев Р.О., Саломатов О.П., Поленга С.В. // Письма в ЖТФ. 2021. Т. 47. № 23. С. 19.

  3. Assal A., Breiss H., Benzergaet R. et al. // Micromachines. 2020. V. 11. № 10. Article No. 930.

  4. Якухин С.Д., Жуков А.А., Алимов М.В. Планарная СВЧ поглощающая структура и способ ее изготовления. Патент РФ № 2781764. Опубл. Офиц. бюл. “Изобретения. Полезные модели” № 29 от 17.10.2022.

  5. Буянкин А.В., Поймалин В.Э. Устройство экранирования многослойной СВЧ-платы от электромагнитного излучения. Патент РФ № 2713650. Опубл. Офиц. бюл. “Изобретения. Полезные модели” № 4 от 06.02.2020.

  6. Взятышев В.Ф. Диэлектрические волноводы. М.: Сов. радио, 1970.

  7. Егоров Ю.В. Частично заполненные прямоугольные волноводы. М.: Сов. радио, 1967.

  8. Вайнштейн Л.А. Электромагнитные волны. М.: Радио и связь, 1988.

  9. Уолтер К. Антенны бегущей волны. М.: Энергия, 1970.

  10. Марков Г.Т., Чаплин А.Ф. Возбуждение электромагнитных волн. 2-е изд. М.: Радио и связь, 1983.

  11. Бреховских Л.М. Волны в слоистых средах, М.: Изд-во АН СССР, 1957.

Дополнительные материалы отсутствуют.