Радиотехника и электроника, 2023, T. 68, № 9, стр. 921-923
Магнетронное осаждение пленок гексаферрита бария из мишени стехиометрического состава
В. А. Лузанов *
Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН
141190 Фрязино, Московской обл., пл. Введенского, 1, Российская Федерация
* E-mail: valery@luzanov.ru
Поступила в редакцию 25.02.2023
После доработки 25.02.2023
Принята к публикации 23.03.2023
- EDN: RGKOWT
- DOI: 10.31857/S0033849423090176
Полные тексты статей выпуска доступны в ознакомительном режиме только авторизованным пользователям.
Аннотация
Предложена методика получения пленок гексаферрита бария на сапфире с ориентацией (0001) методом высокочастотного магнетронного распыления стехиометрической мишени BaFe12O19 с последующим отжигом. Проведенные рентгеноструктурный анализ и рамановская спектрометрия показали возможность кристаллизации ориентированных пленок без использования коррекции состава мишени.
Полные тексты статей выпуска доступны в ознакомительном режиме только авторизованным пользователям.
Список литературы
Guillissen J., Van Rysselberghe, Pierre J. // J. Electrochem. Soc. 1931. V. 59. № 1. P. 95.
Cai Z., Chen Z., Goodrich T.L. et al. // J. Cryst. Growth. 2007. V. 307. P. 321.
Kostishin V.G., Mironovich A.Yu., Shakirzyanov R.I. et al. // J. Magn. Magn. Mat. 2021. V. 527. P. 167786.
Ohodnicki P.R., Goh K.Y., McHenry M.E. et al. // J. Appl. Phys. 2008. V. 103. № 7. P. 07E514.
Yoon S.D., Vittoria C. // J. Appl. Phys. 2004. V. 96. P. 2131.
Xiaozhi Zh., Zhenxing Y., Siqin M., Lixin Y. // J. Appl. Phys. 2014. V. 116. P. 243909.
Abuzir A.R., Salman S.A. // Results Phys. 2018. V. 8. P. 587.
Kreisel J., Pignard S., Vincent H., Sénateur J.P. // J. Appl. Phys. Lett. 1998. V. 73. № 9. P. 1194.
Дополнительные материалы отсутствуют.
Инструменты
Радиотехника и электроника
Пн.-пт.: 10.00-19.00