Кристаллография, 2023, T. 68, № 3, стр. 394-400

Рекуррентные соотношения в скользящей некомпланарной дифракции рентгеновского излучения в многослойных поверхностных кристаллических структурах

В. А. Бушуев 1, А. П. Орешко 1*

1 Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова
Москва, Россия

* E-mail: ap.oreshko@physics.msu.ru

Поступила в редакцию 10.01.2023
После доработки 10.01.2023
Принята к публикации 18.01.2023

Аннотация

Рассмотрено зеркальное отражение рентгеновских лучей от многослойных кристаллических структур на поверхности монокристалла в условиях скользящей некомпланарной дифракции. Получены рекуррентные соотношения нового типа. Показана высокая чувствительность угловой зависимости интенсивности зеркального отражения в области дифракции к толщинам и числу слоев, их деформации и степени аморфизации.

Список литературы

  1. Афанасьев А.М., Александров П.А., Имамов Р.М. Рентгенодифракционная диагностика субмикронных слоев. М.: Наука, 1989. 152 с.

  2. Afanas’ev A.M., Melkonyan M.K. // Acta Cryst. A. 1983. V. 39. № 2. P. 207. https://doi.org/10.1107/S0108767383000471

  3. Aleksandrov P.A., Afanasiev A.M., Stepanov S.A. // Phys. Status Solidi. A. 1984. V. 86. № 1. P. 143. https://doi.org/10.1002/pssa.2210860114

  4. Aleksandrov P.A., Afanasiev A.M., Melkonyan M.K., Stepanov S.A. // Phys. Status Solidi. A. 1984. V. 81. № 1. P. 47. https://doi.org/10.1002/pssa.2210810103

  5. Aleksandrov P.A., Afanas’ev A.M., Golovin A.L. et al. // J. Appl. Cryst. 1985. V. 18. № 1. P. 27. https://doi.org/10.1107/S0021889885009712

  6. Александров П.А., Степанов С.А. // Поверхность. 1986. № 6. С. 117.

  7. Александров П.А., Афанасьев А.М., Степанов С.А. // Поверхность. 1984. № 8. С. 9.

  8. Шипов И.А., Андреева М.А. // ЖТФ. 1989. Т. 59. № 9. С. 169.

  9. Меликян О.Г. // Кристаллография. 1991. Т. 36. Вып. 3. С. 549.

  10. Пунегов В.И., Ладанов А.В. // Поверхность. 1990. № 4. С. 45.

  11. Andreeva M.A., Rocete K., Khapachev Yu.P. // Phys. Status Solidi. A. 1985. V. 88. № 2. P. 455. https://doi.org/10.1002/pssa.2210880207

  12. Андреева М.А. // Вестн. МГУ. Сер. 3. 1986. Т. 27. № 6. С. 86.

  13. Степанов С.А. // Кристаллография. 1994. Т. 39. № 2. С. 221.

  14. Stepanov S., Kohler R. // J. Phys. D. 1994. V. 27. № 9. P. 1922. https://doi.org/10.1088/0022-3727/27/9/016

  15. Афанасьев А.М., Имамов Р.М. // Кристаллография. 1995. Т. 40. № 3. С. 446.

  16. Бушуев В.А., Орешко А.П. // ФТТ. 2001. Т. 43. № 5. С. 906.

  17. Бушуев В.А., Имамов Р.М., Мухамеджанов Э.Х., Орешко А.П. // Кристаллография. 2001. Т. 46. № 3. С. 501.

  18. Bushuev V.A., Imamov R.M., Mukhamedzhanov E.K., Oreshko A.P. // J. Phys. D. 2002. V. 35. P. 1422. https://doi.org/10.1088/0022-3727/35/12/320

  19. Бушуев В.А., Орешко А.П. // Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтр. исследования. 2002. № 1. С. 67.

  20. Ulyanenkov A.P., Stepanov S.A., Pietsch U., Köhler R. // J. Phys. D. 1995. V. 28. P. 2522. https://doi.org/10.1088/0022-3727/28/12/020

  21. Darwin C.G. // Philos. Mag. 1914. V. 27. № 3. P. 675.

  22. Колпаков А.В. Динамическая дифракция рентгеновских лучей. М.: МГУ, 1989. 158 с.

  23. Parratt L.G. // Phys. Rev. 1954. V. 95. № 2. P. 359. https://doi.org/10.1103/PhysRev.95.359

  24. Орешко А.П., Бушуев В.А. // Вестн. МГУ. Сер. 3: Физика, астрономия. 2003. № 5. С. 40.

Дополнительные материалы отсутствуют.