1. На главную
  2. Электронные версии
  3. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования
  4. № 12, 2023

Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 2023, № 12, стр. 3-6

Исследование отражательной способности и микроструктуры многослойных зеркал Mo/Be

Г. Д. Антышева a, b, *, Н. Кумар a, **, Р. С. Плешков a, П. А. Юнин a, b, В. Н. Полковников a, Н. И. Чхало a

a Институт физики микроструктур РАН
603087 Афонино, Нижний Новгород, Россия

b Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского
603950 Нижний Новгород, Россия

* E-mail: sikretnoo@mail.ru
** E-mail: kumar@ipmras.ru

Поступила в редакцию 20.01.2023
После доработки 27.03.2023
Принята к публикации 27.03.2023

Аннотация

Коэффициент отражения и микроструктура многослойных зеркал Mo/Be были исследованы в зависимости от величины Γ – отношения толщины слоя Mo к периоду dp. Толщина и период слоев были изучены с помощью рентгеновской дифракции (длина волны 0.154 нм). Четко выраженные пики брэгговского отражения высокой интенсивности указывают на хорошую воспроизводимость толщин слоев по глубине многослойной структуры и высокое качество границ раздела. Отражательная способность зеркала на длине волны 11.4 нм составляла максимум 62% при Γ = 0.42. Она резко снижалась при более высоком и более низком значении Γ. Оба слоя Mo и Be при Γ = 0.42 представляли собой поликристаллы, которые были исследованы с помощью рентгеновской дифракции и спектроскопии комбинационного рассеяния света соответственно. Также было установлено, что размеры кристаллитов почти совпадают с толщинами слоев Be и Mo в периоде.

Ключевые слова: микроструктура, многослойная пленка Mo/Be, коэффициент отражения, граница раздела.

Список литературы

  1. Medvedev R.V., Zameshin A.A., Sturm J.M., Yakshin A.E., Bijkerk F. // AIP Adv. 2020. V. 10. P. 45305. https://doi.org/10.1063/1.5143397

  2. Underwood J.H., Barbee T.W., Jr., Frieber C. // Appl. Opt. 1986. V. 25. P. 1730. https://doi.org/10.1364/AO.25.001730

  3. Yu B., Jin C., Yao S., Li C., Liu Y., Zhou F., Guo B., Wang H., Xie Y., Wang L. // Appl. Opt. 2017. V. 56. P. 7462. https://doi.org/10.1364/AO.56.007462

  4. Huang Q., Medvedev V., van de Kruijs R., Yakshin A., Louis E., Bijkerk F. // Appl. Phys. Rev. 2017. V. 4. P. 11104. https://doi.org/10.1063/1.4978290

  5. Akhsakhalyan A.D., Kluenkov E.B., Lopatin A.A., Luchin V.I., Nechay A.N., Pestov A.E., Polkovnikov V.N., Salashchenko N.N., Svechnikov M.V., Toropov M.N., Tsybin N.N., Chkhalo N.I., Shcherbakov A.V. // J. Surf. Invest.: X-ray, Synchrotron Neutron Tech. 2017. V. 11. P. 1. https://doi.org/10.7868/S0207352817010048

  6. Bajt S. // J. Vac. Sci. Technol. A. 2000. V. 18. P. 557.

  7. Svechnikov M.V., Chkhalo N.I., Gusev S.A., Nechay A.N., Pariev D.E., Pestov A.E., Polkovnikov V.N., Tatarskiy D.A., Salashchenko N.N., Schafers F., Sertsu M.G., Sokolov A., Vainer Y.A., Zorina M.V. // Optics Express. 2018. V. 26. P. 33718. https://doi.org/10.1364/OE.26.033718

  8. Полковников В.Н., Салащенко Н.Н., Свечников М.В., Чхало Н.И. // УФН. 2020. Т. 190. С. 92. https://doi.org/10.3367/UFNr.2019.05.038623

  9. Kumar N., Pleshkov R.S., Garakhin S.A., Nezhdanov A.V., Yunin P.A., Polkovnikov V.N., Chkhalo N.I. // Surf. Interfaces. 2022. V. 28. P. 101656. https://doi.org/10.1016/j.surfin.2021.101656

  10. Kozakov A.T., Kumar N., Garakhin S.A., Polkovnikov V.N., Chkhalo N.I., Nikolskii A.V., Scrjabin A.A., Nezhdanov A.V., Yunin P.A. // Appl. Surf. Sci. 2021. V. 566. P. 150616. https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2021.150616

  11. Kumar N., Pleshkov R.S., Nezhdanov A.V., Polkovnikov V.N., Yunin P.A., Chkhalo N.I., Mashin A.I. // J. Phys. Chem. 2021. V. 125. P. 2729. https://doi.org/10.1021/ACS.JPCC.0C10210

  12. Pardanaud C., Rusu M.I., Giacometti G., Martin C., Addab Y., Roubin P., Lungu C.P., Porosnicu C., Jepu I., Dinca P., Lungu M., Pompilian O.G., Mateus R., Alves E., Rubel M. // Phys. Scr. 2016. V. 167. P. 14027. https://doi.org/10.1088/0031-8949/T167/1/014027

  13. Feldman D.W., Parker J.H., Jr., Ashkin M. // Phys. Rev. Lett. 1968. V. 21. P. 607. https://doi.org/10.1103/PhysRevLett.21.607

  14. Roy A.P., Dasannacharya B.A., Thaper C.L., Iyengar P.K. // Phys. Rev. Lett. 1973. V. 30. P. 906. https://doi.org/10.1103/PhysRevLett.30.906

  15. Nedelcu I., van de R.W.E., Yakshin A.E., Bijkerk F. // Phys. Rev. B. 2007. V. 76. P. 245404. https://doi.org/10.1103/PhysRevB.76.245404

  16. Гарахин С.А., Забродин И.Г., Зуев С.Ю., Каськов И.А., Лопатин А.Я., Нечай А.Н., Полковников В.Н., Салащенко Н.Н., Цыбин Н.Н., Чхало Н.И. // Квантовая электроника. 2017. Т. 47. № 4. С. 385.

  17. Landau L.D., Lifshitz E.M. Electrodynamics of Continuous Media. Oxford: Pergamon Press, 1984. 475 p.

  18. Starkov I.A., Starkov A.S. // J. Phys.: Conf. Ser. 2016. V. 741. P. 12004. https://doi.org/10.1088/1742-6596/741/1/012004

  19. Chkhalo N.I., Fedorchenko M.V., Kovalenko N.V., Kruglyakov E.P., Volokhov A.I., Chernov V.A., Mytnichenko S.V. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. 1995. V 359. P. 121. https://doi.org/10.1016/0168-9002(94)01633-X

  20. Svechnikov M. // J. Appl. Crystallogr. 2020. V. 53. P. 244. https://doi.org/10.1107/S160057671901584X

  21. Kumar N., Pleshkov R.S., Nezhdanov A.V., Polkovnikov V.N., Yunin P.A., Chkhalo N.I., Mashin A.I. // J. Phys. Chem. C. 2021. V. 125. P. 2729. https://doi.org/10.1021/ACS.JPCC.0C10210

Дополнительные материалы отсутствуют.

Инструменты

следующая статья выпуска содержание выпуска

Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования

Архивы выпусков Информация о журнале Отправить рукопись в журнал