538

Лашков А. Ю. и др.

ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ИССЛЕДОВАНИЯ СИСТЕМ И ПРОЦЕССОВ

УДК 66-936.43:[546.284′16+546.41′112]:536.46

ВЛИЯНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ

SiF₄ И CaH₂ НА ХАРАКТЕР ФИЛЬТРАЦИОННОГО ГОРЕНИЯ

¹ Институт химии высокочистых веществ им. Г. Г. Девятых РАН, Нижний Новгород

² Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет

им. Н. И. Лобачевского

Е-mail: lashkov@ihps.nnov.ru

Поступила в Редакцию 12 ноября 2018 г.

После доработки 1 февраля 2019 г.

Принята к публикации 4 февраля 2019 г.

Работа посвящена изучению взаимодействия тетрафторида кремния и гидрида кальция в металли-

ческом вертикальном проточном реакторе, которое протекает в режиме фильтрационного горения.

Показано, что для стационарного протекания процесса требуется нагрев реактора до 100°С, а печи

зажигания — до 150°С. При нагреве реактора выше 110 и печи зажигания выше 170°С стационар-

ность процесса нарушается и наблюдается раздвоение фронта реакции, а при засыпке пористой

фазы различной дисперсности образуется стоячая волна горения.

Ключевые слова: фильтрационное горение; температура реактора; нагрев печи зажигания; раздво-

ение фронта реакции; стоячая волна

DOI: 10.1134/S0044461819040157

Для масштабирования аппаратуры для синтеза

температуре не выше 300°С [3]. В [1] данную ре-

моносилана и выбора оптимального рабочего ре-

акцию проводили в кварцевом вертикальном про-

жима необходимы сведения о производительности

точном реакторе при 180°С. Максимальный выход

установки и технологических параметрах, влияющих

силана составлял 91%, степень превращения гидрида

на эффективность процесса. Это начальные темпера-

кальция не более 9%, температура в ходе процесса

туры реактора и зоны инициирования реакции, мак-

поднималась выше 350°С. В патенте [4] взаимодей-

симальная температура во фронте горения, линейная

ствие реагентов проводили в замкнутой системе при

скорость распространения волны горения, дисперс-

температуре 180-200°С и давлении не менее 30 атм.

ность слоя твердого реагента. Реакция

Выход моносилана составил 95%, степень превраще-

ния CaH₂ — 20%, температура в ходе процесса под-

SiF₄ + 2CaH₂ → SiH₄ + 2CaF₂ + 108.1 ккал·моль^-1

нималась выше 300°С. В работе [5] получение силана

по данной реакции вели в горизонтальном проточ-

является основной в гидридной технологии полу-

ном реакторе с применением механической актива-

чения высокочистого моноизотопного кремния [1].

ции твердого реагента при температуре 180-200°С.

Известно несколько вариантов проведения этой

Выход целевого продукта составил 95%, степень

реакции [2-8]. Взаимодействие данных реагентов

превращения гидрида кальция — 30%. В работах [6,

в силу высокого теплового эффекта проводят при

7] применение нашел процесс, проводимый в верти-

538

Влияние технологических параметров взаимодействия SiF₄ и CaH₂ на характер фильтрационного горения

539

кальном проточном реакторе, нагретом до начальной

температуры ~100°С. Через слой мелкодисперсного

гидрида кальция под избыточным давлением про-

пускали поток смеси тетрафторида кремния с во-

дородом. Реакцию инициировали в локальной зоне

вверху реактора (~10 см), нагретой до 150°С. Было

показано, что в этих условиях взаимодействие идет

в режиме фильтрационного горения. Определены

основные технологические параметры процесса

[6]: скорость распространения волны горения (во

встречной волне — 1.7·10^-4 м·с^-1, в спутной волне —

6.7·10^-5 м·с^-1), максимальная температура во фронте

реакции (во встречной волне — 180-220°С, в спутной

волне — 250-280°С), степень превращения гидрида

кальция — 14%. Были определены [7] кинетические

характеристики реакции SiF₄ и CaH₂: порядок ре-

Рис. 1. Термограмма процесса взаимодействия

акции n = 1, константа скорости k = 0.38 ± 0.05 с^-1,

тетрафторида кремния и гидрида кальция.

энергия активации Е_а = 17 ± 2 кДж·моль^-1 — и уста-

1-6 — номера ТХК.

а — протекание реакции во встречной волне, б — в спут-

новлено, что процесс протекает в фильтрационном

ной волне [6].

режиме. Максимальный выход моносилана в работах

[6, 7] достигал 95-97%.

Фильтрационное горение (ФГ) представляет собой

составлял 95-97%. Термограмма процесса, показы-

автоволновой процесс химического превращения

вающая изменение температуры внутри реактора в

(горения) в режиме фильтрационного транспорта га-

ходе синтеза SiH₄, представлена на рис. 1 [6]. Более

зового реагента [9] и характеризуется наличием трех

широкие и высокие пики температур в спутной вол-

основных зон: зона прогрева (предпламенная зона),

не по сравнению со встречной волной объясняются

где резко повышается температура, но реакция еще не

более низкой линейной скоростью волны горения

идет; зона основного тепловыделения — зона реак-

в спутном потоке, чем во встречном. Во встречном

ции (передний край этой зоны называют фронтом ре-

потоке тетрафторид кремния взаимодействует со

акции), где происходит интенсивное взаимодействие

свежим гидридом кальция, а в спутной волне в ре-

реагентов, а температура практически не растет; зона

акции участвует частично прореагировавший СаН₂

догорания (в спутной волне) или зона остывания

(степень превращения во встречной волне — 5%).

твердых продуктов реакции. Если волна горения рас-

Образовавшийся после прохождения встречной вол-

пространяется навстречу потоку газа-реагента, то

ны твердый продукт препятствует проникновению

она называется встречной, если в направлении по-

газа к фронту реакции, поэтому линейная скорость

тока газа, то — спутной. При неполном потреблении

волны уменьшается и зона реакции становится шире.

газа-реагента в зоне реакции говорят, что процесс

Явление уменьшения линейной скорости волны горе-

протекает в кинетическом, при полном потребле-

ния при продуве газа-реагента через частично про-

нии — в фильтрационном режиме [10].

реагировавшее пористое вещество в теории горения

Этот вариант синтеза силана реализован при полу-

называется автоторможением реакции твердофазны-

чении высокочистого моноизотопного силана в значи-

ми продуктами [12]. Однако за фронтом горения ре-

тельном количестве в рамках международных метро-

акция не прекращается, и тепло, которое выделяется

логических проектов «Авогадро» и «Килограмм» [2,

в зоне догорания, питает фронт реакции, повышая

11]. К настоящему времени проведено более 500 экс-

его температуру. Поэтому максимумы температуры

периментов (3500-4000 ч) по фильтрационному го-

в спутной волне выше, чем во встречной. Степень

рению SiF₄ и CaH₂. В большинстве случаев горение

превращения СаН₂ в спутной волне — 9%.

протекало стационарно, с постоянным линейным

Цель данной работы — поиск и обоснование тем-

ускорением во встречной волне и с постоянной ли-

пературного режима конверсии максимально возмож-

нейной скоростью в спутной волне, устойчиво по

ного количества тетрафторида кремния в моносилан,

последовательному выходу на прогнозируемый мак-

оптимального по выходу целевого продукта и необхо-

симум температур на хромель-копелевых термопарах

димого для стационарного и устойчивого протекания

(ТХК). Выход целевого продукта воспроизводимо

процесса фильтрационного горения.

540

Лашков А. Ю. и др.

Экспериментальная часть

В работе исследовали протекание процесса филь-

трационного горения SiF₄ и CaH₂ в зависимости от

начальных температур нагрева реактора и печи ини-

циирования (зажигания). Температуру нагрева ре-

актора изменяли в интервале 90-120°С, нагрев печи

варьировали в интервале 150-175°С.

В некоторых экспериментах наблюдали неустой-

чивое распространение волны реакции. Во встречном

потоке это характеризовалось повышенными пиковы-

ми температурами по сравнению с обычным проте-

канием процесса (рис. 1), отсутствием максимумов

температуры и возникновением эффектов, известных

в теории фильтрационного горения как раздвоение

фронта реакции, т. е. наличие в реакторе одновремен-

но двух зон с максимальной температурой, и стоячая

волна, т. е. фронт горения неподвижен относительно

Рис. 2. Схема реактора для взаимодействия SiF₄ и CaH₂

продольной координаты реактора. В спутном потоке

в режиме фильтрационного горения.

фиксировали пики температуры, характерные для

1-6 — номера ТХК.

встречной волны (рис. 1), а также отсутствие макси-

мумов температуры и раздвоение фронта реакции.

Проанализировав эти опыты, выяснили, что вид тер-

фторида кремния за зону реакции. Установка печи

мограмм процессов отличается от изображенного

инициирования ниже по реактору приведет к сниже-

на рис. 1. В процессах, протекающих с раздвоением

нию производительности установки, а при установке

фронта реакции, наблюдается снижение выхода це-

печи в районе ТХК6 возможен проскок SiF₄ через

левого продукта и уменьшение производительности

зону реакции.

установки.

При нагреве реактора выше 110°С и печи зажига-

Опыты по взаимодействию тетрафторида кремния

ния выше 170°С в ходе процесса наблюдали раздво-

и гидрида кальция проводили по методике, подробно

ение фронта реакции, о чем судили по росту темпе-

описанной в работе [6]. Основной элемент установ-

ратуры и выходу ее на максимум одновременно на

ки — это расположенный вертикально цилиндриче-

двух соседних ТХК.

ский реактор из нержавеющей стали (рис. 2) высотой

В некоторых опытах температура на одной из

120 см и диаметром 5 см, заполненный порошком

ТХК, достигнув пика, длительное время (более

гидрида кальция (фракция 0.4-0.6 мм, насыпная плот-

30 мин) не снижалась, в то время как на соседней

ность 1.3 г·см^-3). Внутри реактора коаксиально рас-

ТХК уже наблюдали предпламенную зону горения.

положена трубка из нержавеющей стали диаметром

Таким образом, фиксировали образование стоячей

14 мм, внутри которой на одинаковом расстоянии

волны горения.

друг от друга (≈ 20 см) установлены шесть ТХК.

Показания ТХК отображались на мониторе ПК.

Перед началом процесса реактор и печь зажигания

Обработку результатов опытов проводили в програм-

длиной 10 см, необходимую для дополнительного

мах OriginPro-7 и LabView-8.5.

нагрева зоны инициирования реакции и установ-

ленную вверху реактора, в районе ТХК5 (рис. 2),

Обсуждение результатов

нагревали до заданных температур. Снизу реакто-

ра пускали поток смеси газов: SiF₄ — газ-реагент

Температура печи зажигания играет важную роль

и H₂ — газ-носитель. Расход газов на протяжении

перед пуском SiF₄. При ее нагреве от 170°С и выше

всего опыта поддерживался постоянным. Для SiF₄

может произойти следующее. Лежащий выше печи

он составлял 200 мл·мин^-1, для Н₂ — 120 мл·мин^-1.

CaH₂ будет иметь более высокую температуру при

Контроль расхода газов осуществлялся с помощью

инициировании реакции, и волна пойдет вверх по

прибора Bronkhorst High-Tech, тип Е7500-RAA.

реактору — в направлении потока SiF₄. В результате

Положение печи зажигания обеспечивает протекание

сократится время процесса, так как будет отсутство-

реакции последовательно во встречном и в спутном

вать встречная волна, а для зажигания реакции внизу

потоках газа-реагента и отсутствие проскока тетра-

реактора для взаимодействия реагентов в спутной

Влияние технологических параметров взаимодействия SiF₄ и CaH₂ на характер фильтрационного горения

541

Рис. 3. Термограмма процесса взаимодействия тетрафторида кремния и гидрида кальция (выделенный фрагмент —

зажигание между ТХК4 и ТХК3) (А) и отсутствие максимумов температуры на ТХК2 и ТХК3 в спутной волне (Б).

1-6 — номера ТХК.

а — протекание реакции во встречной волне, б — в спутной волне.

волне потребуется дополнительный нагрев нижней

часть реактора, ТХК1-ТХК3, в процессе участвовать

части реактора (ТХК1-ТХК4). За время нагрева ниж-

не будет.

ней части реактора до заданной температуры (150°С)

Следует отметить, что в случае рис. 3, Б наблюда-

значительное количество тетрафторида кремния

ли и встречную, и спутную волну, и максимум ТХК1

пройдет по реактору без взаимодействия с гидридом

во встречной волне оказался выше своего значения

кальция и попадет в целевой продукт, вследствие

в спутной волне, а пики ТХК2 и ТХК3 отсутствова-

чего снизится выход силана и производительность

ли, видимо, гидрид кальция достиг максимальной

установки.

степени превращения при прохождении встречной

В одном из экспериментов (рис. 3, А) перед пу-

волны на участке ТХК3-ТХК2 и в спутной волне с

ском газовой смеси температурные значения вну-

тетрафторидом кремния на этом участке не взаимо-

три реактора были несколько выше обычных: ТХК4,

действовал. Практический выход моносилана по те-

ТХК5 — 160, 170°С соответственно; ТХК1-ТХК3 —

трафториду кремния в этом процессе составил 55%.

110-120°С. В результате зажигание реакции произо-

В следующем опыте печь зажигания была уста-

шло не вблизи места установки печи (рис. 1), а ниже

новлена между ТХК4 и ТХК5 (рис. 4, А). Были за-

по реактору (выделенный фрагмент на рис. 3, А).

фиксированы повышенные температуры пиков

Температура на ТХК4 росла при неизменном зна-

ТХК4-ТХК2 во встречной волне, а в спутной волне

чении ее на ТХК5, а затем начался резкий рост и

наблюдали распространение аномально широкого для

выход на максимум температуры на ТХК3, что гово-

нашего процесса фронта реакции. Происходил одно-

рит о зажигании реакции в интервале ТХК4-ТХК3.

временный рост температуры на трех термопарах, что

Результатом эксперимента стало сокращение стадии

означает совместное протекание реакции на ТХК3-

встречной волны в 2 раза [со 160 (рис. 1) до 80 мин

ТХК5. На ТХК5 движение волны горения более ин-

(рис. 3, А)].

тенсивное, чем на ТХК3 и 4, так как во встречной

На рис. 3, Б представлена ситуация, когда печь

волне температура на ТХК5 была значительно ниже,

зажигания, установленную вблизи ТХК4, нагрели до

чем на ТХК4 и 3, и соответственно меньше прореа-

≈175°С. В результате наблюдали аномально высокие

гировало СаН₂. Реакция вблизи ТХК5 идет полнее и

для встречной волны максимальные температуры

забирает часть тепла с участков фронта на ТХК3 и 4,

на ТХК3-ТХК1 (рис. 1), что может вызвать начало

поэтому в этих местах пики недостаточно высокие.

распространения спутной волны вместо встречной,

К тому же максимумы температуры на ТХК4 и 5 вы-

т. е. фронт реакции будет двигаться не вниз, а вверх

ходят вместе. Итогом опыта стало снижение выхода

по реактору к ТХК5 и выше, в то время как нижняя

гидрида кремния до 92%.

542

Лашков А. Ю. и др.

Рис. 4. Одновременный выход температуры на максимум на ТХК4 и ТХК5 в спутной волне (А) и раздвоение фронта

реакции во встречной и спутной волне (Б).

1-6 — номера ТХК.

а — протекание реакции во встречной волне, б — в спутной волне.

Выделенные фрагменты с раздвоением фронта реакции: в — во встречной волне, г — в спутной волне.

Явление раздвоения фронтов описано в работе

реагента [15]. Возможно, плотность засыпки гидри-

[13] при двухсторонней фильтрации, т. е. при продуве

да кальция в нижней части реактора до ТХК3 была

газа с обоих торцов образца. Авторы [14] наблюдали

выше, в результате чего волна реакции замедлилась

данное явление в пористом образце при переходе вол-

перед более плотным слоем твердой фазы, зона реак-

ны горения через границу раздела сред с различными

ции стала шире, а при переходе через границу раздела

размерами частиц и пористостью при односторонней

более и менее плотной засыпки СаН₂ образовалось

фильтрации, т. е. при продуве газа с одного торца

два очага (фронта) реакции. Передний фронт про-

реактора.

должил движение вниз навстречу потоку SiF₄, а за-

В следующем эксперименте раздвоение фронтов

дний фронт, отметившись небольшим пиком, погас.

произошло как во встречной волне, так и в спутной.

В спутной волне передний фронт, находящийся в

На рис. 4, Б приведена термограмма взаимодействия

менее плотной среде, горел интенсивнее, закачивая

SiF₄ и CaH₂, на которой видно (фрагмент в), что по-

горячий газ как насос, в результате чего задний фронт

сле достижения максимума температуры на ТХК3

погас, не достигнув привычного максимума. Выход

во встречной волне рост температуры на ТХК2 за-

силана по итогам эксперимента составил 90%.

медлился и снова стала расти температура на ТХК3.

Для наблюдения стоячей волны горения в сле-

Затем ускорился рост температуры на ТХК2 и темпе-

дующем опыте в верхнюю часть реактора (~30 см,

ратура вышла на максимум — 220°С, тогда как вто-

область ТХК5-ТХК6) была засыпана более крупная

рой пик ТХК3 из-за частично прореагировавшего ги-

фракция СаН₂, диаметром 0.8-1 мм. Температура

дрида кальция достиг только 160°С вместо обычных

внутри реактора была ~100°С, локальную зону вбли-

180-220°С. При движении спутной волны реакции

зи ТХК5 нагрели до 150-160°С (рис. 5, а).

скорость фронтов на ТХК2 и ТХК3 поначалу была

Спустя ≈10 мин после пуска тетрафторида

одинаковой (фрагмент г), но затем передний фронт

кремния температура на ТХК5 вышла на макси-

стал двигаться быстрее, а задний — медленнее с од-

мум (≈230°С) и не снижалась около 40 мин. В то

новременным снижением температуры. В результате

же время началось самораспространение встречной

температура на ТХК2 в спутной волне выросла толь-

волны реакции. Заметно снижаться температура

ко до 200°С вместо 250-280°С в обычном режиме.

на ТХК5 стала только перед выходом пика ТХК3

Раздвоение фронта пламени возможно как из-за

(рис. 5, б).

проскока газа-реагента через фронт реакции [13],

Здесь снова имело место раздвоение фронта реак-

так и вследствие более плотной засыпки пористого ции, причем задний фронт остался неподвижным —

Влияние технологических параметров взаимодействия SiF₄ и CaH₂ на характер фильтрационного горения

543

Рис. 5. Стоячая волна горения на ТХК5 (а), затухание стоячей волны горения на ТХК5 (б) (время LabView-8.5,

интервал 25 с соответствует 4 мин реального времени).

1-6 — номера ТХК.

стоячая волна, возникшая при переходе через границу

в моносилан, достижения выхода целевого продукта

раздела твердых фаз с разным размером зерна [14,

97% и стационарного и устойчивого протекания про-

16]. Передний фронт распространялся со скоростью,

цесса фильтрационного горения SiF₄ и CaH₂ в вер-

характерной для данного процесса [6]. Фронт реак-

тикальном проточном реакторе. Показано, что пред-

ции, загоревшись и начав движение во встречном

варительный нагрев объектов выше оптимальных

потоке, дошел до границы раздела фаз. Зона реакции

температур пагубно сказывается на основных техно-

увеличилась. При переходе через границу раздела

логических параметрах процесса. В системе возника-

фаз произошел эффект раздвоения фронтов. Ближний

ет эффект раздвоения фронта реакции, из-за которого

к месту пуска SiF₄ фронт продолжил двигаться на-

горение становится неустойчивым, выход целевого

встречу потоку газовой смеси, а дальний фронт горел,

продукта реакции по тетрафториду кремния умень-

оставаясь без движения, до полного потребления

шается до 90-92%, иногда до 55%, производитель-

газа-реагента (рис. 5, б). Далее наблюдалось устойчи-

ность установки снижается на 1-2 г·ч^-1. Образование

вое, стационарное горение гетерогенной смеси реа-

стоячей волны горения происходит при засыпке по-

гентов. Выход моносилана по тетрафториду кремния

ристого реагента чередованием фаз различной дис-

составил 96%.

персности, при оптимальных начальных температу-

Определение примесного состава полученного

рах процесса, при переходе через границу раздела

моносилана проводили методами газовой хромато-

фаз из более крупной в более мелкую и не оказы-

графии, хроматомасс-спектрометрии и ИК-спектро-

вает заметного влияния на ход процесса горения.

скопии. Содержание углеводородов С₁-С₉ составило

4·10^-3 мол%, высших силанов — 2·10^-1 мол%, ди-

Благодарности

силоксана — 1·10^-2 мол%, алкилсиланов — 4·10^-3

мол%, летучих неорганических гидридов — < 1·10^-6

Авторы выражают благодарность научному ру-

мол%, фторсиланов — < 1·10^-2 мол%.

ководителю ФГБУН ИХВВ им. Г. Г. Девятых РАН

М. Ф. Чурбанову за полезную критику и детальное

обсуждение работы.

Выводы

Установлены оптимальные начальные температу-

Финансирование работы

ры нагрева реактора — 90-110°С и зоны инициирова-

ния реакции — 150-170°С, необходимые для макси-

Работа выполнена по Программе НИР Госзадания

мально возможной конверсии тетрафторида кремния

№ 0095-2019-0008.

544

Лашков А. Ю. и др.

Конфликт интересов

[5] Пат. РФ 2388692 (опубл. 2010). Способ получения

высокочистого силана (варианты).

Авторы заявляют об отсутствии конфликта инте-

[6] Буланов А. Д., Трошин О. Ю., Михеев В. С., Лаш-

ресов, требующего раскрытия в данной статье.

ков А. Ю. // ЖНХ. 2008. Т. 53. № 1. С. 11-15 [Bula-

nov A. D., Mikheev V. S., Troshin O. Yu. Lashkov A. Yu.

// Russ. J. Inorg. Chem. 2008. V. 53. N 1. P. 6-10].

Информация об авторах

[7] Лашков А. Ю., Буланов А. Д., Трошин О. Ю. //

Лашков Артем Юрьевич, к.х.н., ORCID: https://

Неорган. материалы. 2016. Т. 52. № 9. С. 981-984

[Lashkov A. Yu., Bulanov A. D., Troshin O. Yu. // Inorg.

orcid.org/0000-0002-9927-6263

Mater. 2016. V. 52. N 9. P. 915-918].

Буланов Андрей Дмитриевич, д.х.н., ORCID:

[8] Трошин О. Ю., Буланов А. Д., Михеев В. С., Лаш-

https://orcid.org/0000-0001-5717-0527

ков А. Ю. // ЖПХ. 2010. Т. 83. № 6. С. 933-937

Трошин Олег Юрьевич, к.х.н., ORCID: https://orcid.

[Troshin O. Yu., Bulanov A. D., Mikheev V. S., Lash-

org/0000-0001-6996-1561

kov A. Yu. // Russ. J. Appl. Chem. 2010. V. 83. N 6.

Р. 984-988].

[9] Кришеник П. М., Шкадинский К. Г. // Хим. физика.

Список литературы

2010. Т. 29. № 7. С. 22-26 [Krishenik P. M., Shkadin-

[1] Девятых Г. Г., Дианов Е. М., Буланов А. Д., Тро-

skii K. G. // Russ. J. Phys. Chem. B. 2010. V. 4. N 4.

шин О. Ю., Балабанов В. В., Пряхин Д. А. // Докл.

P. 588-592].

РАН. 2003. Т. 391. № 5. С. 638-639 [Devyatykh G. G.,

[10]

Алдушин А. П., Мержанов А. Г. // Распространение

Bulanov A. D., Troshin O. Yu., Balabanov V. V., Prya-

тепловых волн в гетерогенных средах / Под ред.

khin D. A., Dianov E.M. // Dokl. Chem. 2003. V. 391.

Ю. Ш. Матроса. Новосибирск: Наука, 1988. 286 c.

N 4-6. P. 204-205].

[11]

Fujii K., Bettin H., Becker P., Massa E., Rienitz O.,

[2] Девятых Г. Г., Буланов А. Д., Гусев А. В., Кова-

Pramann A., Nicolaus A., Kuramoto N., Busch I.,

лёв И. Д., Крылов В. А., Потапов А. М., Сенни-

Borys M. // Metrologia. 2016. V. 53. A19-A45.

ков П. Г., Адамчик С. А., Гавва В. А., Котков А. П.,

[12]

Мержанов А. Г. Процессы горения и синтез мате-

Чурбанов М. Ф., Дианов Е. М., Калитеевский А. К.,

риалов. Черноголовка: ИСМАН, 1998. 512 c.

Годисов О. Н., Поль Х.-Й., Беккер П., Риман Х.,

[13]

Мержанов А. Г., Боровинская И. П., Володин Ю. Е.

Абросимов Н. В. // Докл. РАН. 2008. Т. 421. № 1.

// ДАН СССР. 1972. Т. 206. № 4. С. 905-908.

С. 61-64 [Devyatykh G. G., Bulanov A. D., Gusev A. V.,

[14]

Какуткина Н. А., Мбарава М. // Физика горения и

Kovalev I. D., Krylov V. A., Potapov A. M., Senni-

взрыва. 2004. Т. 40. № 5. С. 62-73 [Kakutkina N. A.,

kov P. G., Adamchik S. A., Gavva V. A., Kotkov A. P.,

Mbarawa M. // Combustion, Explosion, and Shock

Churbanov M. F., Dianov E. M., Kaliteevskii A. K.,

Waves. 2004. V. 40. N 5. Р. 553-563].

Godisov O. N., Pohl H.-J., Becker P., Riemann H.,

[15]

Тарасов А. Г., Сеплярский Б. С., Кочетков Р. А.,

Abrosimov N. V. // Dokl. Chem. 2008. V. 421. N 1.

Баринов Ю. Н. // Хим. физика. 2016. Т. 35. № 3.

P. 157-160].

С. 77-83 [Tarasov A. G., Seplyarskii B. S., Kochet-

[3] De Pape R. // Ann. Chim. 1963. V. 8. N 3-4. P. 185-

kov R.A., Barinov Yu. N. // Russ. J. Phys. Chem. B.

196.

2016. V. 10. N 2. P. 284-290].

[4] Пат. РФ 2226501 (опубл. 2004). Способ получения

[16]

Какуткина Н. А., Бабкин В. С. // Физика горения и

высокочистого изотопно-обогащeнного силана.

взрыва. 1998. Т. 34. № 2. С. 9-19.