Известия РАН. Серия физическая, 2020, T. 84, № 1, стр. 52-55
Снижение контраста фоточувствительности неоднородных n+–p(n)–p+-структур кремния, измеряемого при сканировании светом p–n-перехода
О. Г. Кошелев *
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования
“Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова”, физический факультет
Москва, Россия
* E-mail: scon282@phys.msu.ru
Поступила в редакцию 29.07.2019
После доработки 30.08.2019
Принята к публикации 27.09.2019
Аннотация
Выполнена оценка снижения контраста фоточувствительности неоднородной n+–p(n)–p+-структуры кремния без контактов, измеряемого при ее сканировании светом. Измерения и расчеты проведены для модели, состоящей из двух поочередно освещаемых солнечных элементов (стандартного и облученного быстрыми электронами), соединенных резистором.
ВВЕДЕНИЕ
В связи со значительным ростом энергопотребления и уменьшением запасов традиционных ископаемых энергоресурсов в последние годы существенно возрос интерес к возобновляемым источникам энергии. В частности, возрос интерес к фотопреобразователям солнечной энергии на основе кремниевых солнечных элементов (СЭ), изготавливаемых из структур n+–p(n)–p+-типа. Основными задачами дальнейшего улучшения таких СЭ являются повышение кпд и снижение стоимости их производства. Недавно были получены кпд свыше 20% для CЭ из монокристаллического кремния [1] и свыше 23% для СЭ из кремния с гетероструктурой типа HIT [2].
Для получения максимального кпд фоточувствительность должна быть максимальна и практически одинакова по всей площади СЭ, т.е. ее контраст должен быть минимальным [3]. Кроме того, знание ее контраста по площади кремниевой n+–p(n)–p+-структуры позволяет предсказывать эффективность изготавливаемого из нее СЭ [4]. На готовых СЭ этот контраст легко определяется по измерениям тока короткого замыкания при сканировании поверхности p–n-перехода лучом света с энергией квантов (hν) больше ширины запрещенной зоны кремния (Eg).
Разброс значений фоточувствительности может возникнуть как в исходном слитке кремния, так и на различных этапах изготовления СЭ. Для такого контроля исходных пластин кремния успешно используются СВЧ-методы, основанные на сканировании их поверхности лучом света также при hν > Eg (Microwave Detected Photoconductivity – MDP-map). При этом измеряются изменения интенсивности СВЧ-волны, которая отражается от исследуемой структуры или проходит через нее [5]. В частности, при импульсной модуляции света измеряются времена спада СВЧ-фотопроводимости после окончания этих импульсов (microwave photoconductivity decay – μPCD). Для повышения разрешающей способности метода в работе [6] освещение осуществляли через световод (диаметр светового пятна не более 100 мкм), а СВЧ-зондирование производили через коаксиальный кабель диаметром 1 мм.
Для контроля контраста фоточувствительности кремниевых пластин в настоящее время успешно используются также методы, основанные на измерении люминесценции, возникающей при освещении (photoluminescence image – PLI). При этом пластина либо сканируется лучом лазера [7, 8], либо освещается целиком [9] также при hν > Eg. Для регистрации используются видеокамеры на основе приборов с зарядовой связью. В [10] измерения фотолюминесценции были использованы для раздельного определения времени жизни неравновесных носителей заряда (ННЗ) в объеме и скорости их рекомбинации на поверхности пластин кремния.
Значительно сложнее контроль контраста фоточувствительности пластины, когда на нее нанесены сильно легированные слои n+- и p+-типа, а контакты еще отсутствуют. На этом этапе изготовления СЭ контроль контраста часто не производится [11]. Попытка обнаружить контраст фотопроводимости CЭ из монокристаллического кремния была предпринята в [12]. Зондирование производилось с помощью СВЧ-микроскопа ближнего поля (near field microwave microscope – NFMM) на частоте около 4.1 ГГц с разрешающей способностью около 10 мкм. Хотя контраст СВЧ-проводимости в отсутствие света четко регистрировался, контраст СВЧ-фотопроводимости практически не наблюдался.
Проблема правильности определения контраста фоточувствительности n+–p(n)–p+-структур связана с тем, что ННЗ экстрагируют из базовой области освещаемого участка и по слоям n+- и p+-типа инжектируют в неосвещаемые участки СЭ. В результате и на неосвещаемых участках СЭ возникает напряжение, а на освещаемом оно снижается по сравнению с напряжением холостого хода, т.е. контраст фото-ЭДС искажается. При этом концентрация ННЗ и время релаксации фотопроводимости (τ) в базовой области освещаемого участка падают. Согласно расчетам [13], значение τ снижается примерно в 3 раза в СЭ толщиной 0.4 мм при времени жизни ННЗ в базе 100 мкс. С увеличением времени жизни ННЗ значения τ еще более снижаются.
Цель настоящей работы – более детально рассмотреть влияние на фото-ЭДС шунтирования n+- и p+-слоями освещаемой части кремниевой n+–p(n)–p+-структуры ее неосвещаемой частью.
РЕЗУЛЬТАТЫ И ИХ ОБСУЖДЕНИЕ.
Экспериментальные исследования проводились на модели неоднородной n+–p–p+-структуры, состоящей из двух одинаковой площади СЭ, соединенных резистором – эквивалентом шунтирующего сопротивления. Один из СЭ был предварительно облучен быстрыми электронами. Измеренные по спектрам токов короткого замыкания времена жизни ННЗ в их базовых областях составляли около 26 и 1 мкс. Измерения постоянных напряжений, возникающих на этих СЭ, проводились при освещении одного из них лампой накаливания мощностью 60 Вт с различных расстояний от 0.25 до 1 м.
Полученные экспериментальные данные о фоточувствительности этих СЭ сравнивались с результатами расчетов. Вычислялись зависимости напряжений на освещаемом (U1) и неосвещаемом (U2) СЭ в зависимости от величины сопротивления R соединяющего их резистора. При расчетах использовались следующие уравнения для токов через освещаемый (J1) и неосвещаемый (J2) СЭ
(1)
${{J}_{1}} = {{S}_{1}}\left[ {{{j}_{{s1}}}\left( {\exp \frac{{q{{U}_{1}}}}{{{{A}_{1}}kT}} - 1} \right) - {{j}_{{sc1}}}} \right],$Знак “–” в соотношении (4) связан с тем, что J1 есть ток экстракции ННЗ из освещаемого СЭ, а J2 есть ток их инжекции в неосвещаемый СЭ. Значения js1 и js2, а также коэффициентов А1 и А2 определялись предварительно на основании измерений вольт-амперных характеристик этих СЭ без освещения. Решения системы этих нелинейных уравнений проводилось численно на ЭВМ. Для этого значения U1 подбирались такими, чтобы выполнялось условие (4).
На рис. 1 показаны измеренные (точки) и вычисленные (кривые) зависимости напряжений (нU1, 2) на необлученном СЭ (на рис. они обозначены как нU1, нU2) и (оU1, 2) на облученном СЭ (оU1, оU2) от величины сопротивления R шунтирующего резистора. Зачерненные точки и сплошные кривые соответствуют освещенным СЭ (нU1 , оU1), а светлые точки и штриховые кривые – неосвещенным (нU2, оU2). (Индексы 1 соответствуют напряжениям при освещении, а индексы 2 – при его отсутствии). Все данные рис. 1 получены при фиксированном расстоянии до источника света (0.5 м). В пределах точности измерений экспериментальные зависимости согласуется с вычисленными зависимостями. При максимальных значениях R влияние шунтирования на напряжения освещаемых СЭ пренебрежимо мало – напряжения на них практически равны фото-ЭДС холостого хода. С уменьшением значений R напряжение на освещаемых СЭ несколько уменьшается (из-за экстракции ННЗ), тогда как на неосвещаемых СЭ оно существенно возрастает (из-за инжекции ННЗ). В частности, на необлученном СЭ (нU2) это возрастание происходит в 100 раз. При R = 1 кОм значение нU1 снижается на 10% (на 35 мВ). Согласно [13], такое снижение может привести к уменьшению измеряемого времени релаксации ННЗ в несколько раз.
На рис. 2 штриховыми кривыми с точками (1, 2, 3) показаны измеренные при освещении зависимости отношений напряжений (нU1/оU1) тех же СЭ от R. Соответствующие им интенсивности освещения относятся как 1 : 4 : 16. Сплошной кривой показана расчетная зависимость (2р) для того же случая, что и кривая 2. Расхождение между ними в пределах ошибок измерений. При максимальном значении R (86 кОм) в интервале использованных интенсивностей освещения отношения (нU1/оU1) исследованных СЭ практически равны отношениям их фото-ЭДС (напряжений холостого хода). В этом случае шунтирование практически отсутствует. При этом с ростом интенсивности освещения отношение (нU1/оU1) уменьшается в пределах примерно от 6.1 при минимальной освещенности до 1.7 при максимальной. Это означает, что с ростом интенсивности освещения снижается точность определения контраста их фоточувствительностей. Отношение напряжений снижается также с уменьшением значений R, в особенности при слабых интенсивностях освещения. Это означает, что точность определения контраста фоточувствительностей снижается также с ростом шунтирования.
На рис. 3 приведены вычисленные зависимости отношений напряжений (нU1/оU1) от доли освещаемой площади S1 для обоих СЭ относительно неосвещаемой площади S2. Расчеты проводились для двух значений R = 30 кОм (кривая 1) и 3 кОм (кривая 2) при тех же фотоэлектрических параметрах СЭ, что и раньше. Для кривой 1 отношение напряжений нU1/оU1 слабо зависит от S1/S2, т.е. контраст фоточувствительностей практически не снижается с уменьшением площадей освещаемых участков в рассмотренном диапазоне. Однако при R = 3 кОм это отношение заметно меньше и существенно снижается с уменьшением площадей освещаемых участков. При S = 0.03 шунтирование настолько велико, что контраст напряжений отсутствует. Это согласуется с тем, что авторам [12] не удалось обнаружить изменения величины сигнала по площади СЭ при весьма малой области зондирования.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
На модели, состоящей из двух различных соединенных резистором кремниевых солнечных элементов, проведены исследования измеряемого контраста фоточувствительности n+–p–p+-структуры при ее сканировании светом в различных условиях. Экспериментально и путем расчетов показано, что этот контраст снижается при уменьшении как величины сопротивления шунтирующего резистора, так и площади освещаемого участка.
Список литературы
Zheng P., Rougieux F.E. et al. // Appl. Phys. Lett. 2016. V. 108. № 12. Art. № 122103.
Mishima T., Taguchi M., Sakata H. et al. // Solar Energy Mat. & Solar Cells. 2011. V. 95. № 1. P. 18.
Wezep D.A., Velden M.H.L., Borsa D.M. et al. // 26th Europ. Photovolt. Solar Energy Conf. and Exhib. Progress in Photovolt.: Research and Appl. (Munich, 2016). P. 1423.
Metzger W.K. // Solar Energy Mat. Solar Cells. 2008. V. 92. P. 1123.
Gaubas E., Kaniava A. // Rev. Sci. Instr. 1996. V. 67. № 6. P. 2339.
Palais O., Gervais J., Clerc L. el al. // Mater. Sci. Engin. 2000. V. 71. P. 47.
Kasemann M., Kwapil W., Walter B. et al. // 23rd Europ. Photovolt. Solar Energy Conf. (Valencia, 2008). P. 965.
Wilson M., Lagowski J., Edelman P. et al. // Energy Proc. 2013. V. 38. P. 209.
Kiliani D., Micard G., Steuer B. et al. // J. Appl. Phys. 2011. V. 110. Art. № 054508.
Heinz F.D., Warta W., Schubert M.C. // Appl. Phys. Let. 2017. V. 110. Art. № 042105.
http://solar-front.livejournal.com/11644.html
Hovsepyan A., Babajanyan A., Sargsyan T. et al. // J. Appl. Phys. 2009. V. 106. Art. № 114901.
Кошелев О.Г. // Изв. РАН. Сер. физ. 2017. Т. 81. № 1. С. 41; Koshelev O.G. // Bull. Russ. Acad. Sci. Phys. 2017. V. 81. № 1. P. 34.
Дополнительные материалы отсутствуют.
Инструменты
Известия РАН. Серия физическая