Известия РАН. Серия физическая, 2021, T. 85, № 2, стр. 241-244

Инжекционный полупроводниковый лазер с циркулярно-поляризованным излучением

А. А. Максимов 1*, Е. В. Филатов 1, И. И. Тартаковский 1

1 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки “Институт физики твердого тела Российской академии наук”
Черноголовка, Россия

* E-mail: maksimov@issp.ac.ru

Поступила в редакцию 28.08.2020
После доработки 25.09.2020
Принята к публикации 28.10.2020

Полный текст (PDF)

Аннотация

Измерены спектры и степени циркулярной поляризации излучения одиночных квантовых точек InAs, внедренных в планарный GaAs волновод полупроводниковой наноструктуры, и полупроводникового лазера с электрической накачкой на основе AlAs/AlGaAs микрорезонатора с квантовыми ямами GaAs в активной области, верхний слой которых представлял собой квадратную решетку фотонного кристалла с хиральной симметрией.

ВВЕДЕНИЕ

Создание компактных устройств, с помощью которых можно управлять состоянием поляризации излучаемого света является одной из центральных проблем нанофотоники. Компактные источники циркулярно-поляризованного излучения открывают (подобно спину в спинтронике) возможности их дальнейшего практического приложения в таких интенсивно развивающихся областях как квантовые технологии для передачи и записи информации и оптоэлектроника.

Одним из возможных решений задачи создания компактных поляризационных устройств является использование для этой цели наноструктур на основе обычных ахиральных AIIIBV полупроводников, в которых с помощью частичного травления в верхнем слое формируется модулированная структура, обладающая хиральной симметрией. Таким образом, подобные наноструктуры, в которых неэквивалентность право‑ и лево-поляризованных электромагнитных мод возникает из-за общей хиральной симметрии системы, могут быть использованы для создания компактных источников циркулярно-поляризованного излучения без приложения внешнего магнитного поля.

В настоящей работе представлены результаты исследования спектрально-поляризационных особенностей излучения одиночных InAs квантовых точек, внедренных в планарный GaAs волновод, верхний слой которого с помощью травления выполнен в виде квадратной решетки фотонного кристалла с хиральной симметрией, а также данные по изучению в планарных GaAs/AlGaAs микрорезонаторах с квантовыми ямами в активной области и с хирально модулированным верхним брэгговским зеркалом циркулярно-поляризованного лазерного излучения, возникающего при токовой инжекции носителей заряда.

РЕЗУЛЬТАТЫ ЭКСПЕРИМЕНТОВ

Циркулярно-поляризованное излучение одиночных квантовых точек

В работах [13] было продемонстрировано, что в наноструктурах с планарным GaAs волноводом и в AlAs/AlGaAs микрорезонаторах с брэгговскими зеркалами, в которых верхний слой структур в результате частичного травления представлял собой квадратную решетку фотонного кристалла с хиральной симметрией, излучение внедренного слоя InAs квантовых точек (КТ) при оптической накачке обладало циркулярной поляризацией. Степень циркулярной поляризации ρC в зависимости от параметров наноструктуры могла достигать величины ρC ≈ 96% относительно слабого неполяризованного бесструктурного фона и ≈81% с учетом фона [3] и обладала сильной угловой зависимостью спектров излучения [4], а знак (σ+ или σ) циркулярной поляризации коррелировал с соответствующей хиральностью фотонного кристалла на поверхности наноструктуры в полном согласии с теоретическими расчетами [2, 5].

Экспериментальные результаты, приведенные в работах [14], относятся к исследованию излучения ансамбля квантовых InAs точек. Полуширины полос излучения при этом, измеренные с высоким угловым разрешением в лучшем случае составляли ~2.3 нм [4]. Одиночная квантовая точка, помещенная в наноструктуру с хирально-модулированным верхним слоем в виде квадратной решетки фотонного кристалла, является, по существу, однофотонным источником света с контролируемым знаком циркулярной поляризации излучения, который определяется хиральностью и периодом кристалла, а также длиной волны излучения [24]. Поэтому, несомненный интерес представляет изучение поляризационных особенностей излучения одиночных КТ в подобных наноструктурах.

В настоящей работе исследования проводились на образцах, которые представляли собой планарный GaAs волновод с внедренным слоем InAs квантовых точек. Верхний слой образца (рис. 1a) – мембрана из GaAs толщиной 691 нм, выращенная на буферном слое Al0.7Ga0.3As толщиной 1 мкм методом молекулярно-пучковой эпитаксии, которая состоит из планарного волновода толщиной 263 нм с внедренным слоем квантовых точек InAs (излучающих в диапазоне λ = 860–930 нм). На поверхности волновода в результате частичного травления мембраны GaAs на глубину 428 нм сформированы фотонные кристаллы в виде мез размером 100 × 100 мкм2. Верхний слой структуры с помощью травления выполнен в виде квадратной решетки фотонного кристалла с различным периодом (d = 750–1005 нм). Элементарная ячейка фотонного кристалла состояла из 4 вытянутых прямоугольных микростолбиков GaAs, повернутых на 90° относительно друг друга “влево” или “вправо”, и обладала хиральной симметрией, как показано внизу на рис. 1а.

Рис. 1.

Схема полупроводниковой наноструктуры с волноводным хиральным слоем GaAs, содержащим слой квантовых точек; внизу – вид сверху на элементарные ячейки фотонных кристаллов с различной хиральностью (а). Спектры излучения одиночных КТ в σ+ (сплошные кривые) и σ (пунктирные кривые) циркулярной поляризации из мез с различной хиральностью и периодом квадратной решетки фотонного кристалла d = 779 нм (б) и d = 773 нм (в).

Обычно при исследовании излучения одиночных КТ используют маску с субмикронными отверстиями, которую наносят на поверхность образца. В нашем случае при наличии фотонного кристалла в верхнем слое планарного волновода наноструктуры этот метод принципиально не может быть применен. Плотность квантовых точек в слое была достаточно высока и составляла 10–20 КТ/мкм2 в исследуемых образцах. Поэтому для исследования поляризационных зависимостей излучения одиночных КТ (а не ансамбля КТ) требуется сформировать пятно фотовозбуждения с минимальными поперечными размерами на поверхности образца ≤1 мкм и осуществлять регистрацию излучения с одного и того же фиксированного участка выбранной мезы образца, помещенного в гелиевый оптический криостат при Т = 1.8 К. Этого удалось достичь благодаря использованию объектива микроскопа с большим рабочим расстоянием (34 мм), с помощью которого одновременно осуществлялась как фокусировка излучения He-Ne лазера на поверхности образца, так и собиралось выходящее излучение из пятна возбуждения с пространственным разрешением ~1 мкм. Кроме того, специально обеспечивалась стабилизация пространственного положения (≤0.5 мкм) образца за время измерения. Спектр излучения регистрировался с помощью спектрометра МДР-23, оснащенного охлаждаемым Si-CCD-детектором.

Полученные результаты по изучению циркулярной поляризации излучения одиночных квантовых точек с планарным GaAs волноводом (без углового разрешения) представлены на рис. 1б и 1в. Легко видеть, что в целом знак циркулярной поляризации отдельных узких полос излучения одиночных КТ коррелирует с хиральностью фотонного кристалла на мембране из GaAs. Однако степень циркулярной поляризации излучения отличается для разных КТ. Природа такого отличия может быть связана как с геометрической формой самой КТ, так и с положением КТ относительно элементарной ячейки (в центре или на периферии [2, 3, 5]). Чтобы ответить на этот вопрос, требуются эксперименты на специально выращенных наноструктурах, обладающих хиральной симметрией.

Циркулярно-поляризованное излучение полупроводникого лазера с электрической накачкой

Возможность получения циркулярно-поляризованного лазерного излучения была продемонстрирована в работе [6] при возбуждении оптической накачкой AlAs/AlGaAs микрорезонаторов с GaAs квантовыми ямами (КЯ) в активной области и с вытравленным на верхнем брэгговском зеркале фотонным кристаллом с хиральной симметрией. Исследования высококачественных полупроводниковых микрорезонаторов с высоким коэффициентом добротности и с допированными брэгговскими зеркалами позволило впервые реализовать поляритонный лазер с электрической накачкой, обладающий существенно более низким порогом генерации, чем обычные инжекционные полупроводниковые лазеры [7]. Следующим шагом в этом направлении, имеющим также прикладное значение, является получение циркулярно-поляризованного лазерного излучения в микрорезонаторах с КЯ в активной области и с хирально модулированным верхним брэгговским зеркалом при электрической накачке [8].

В настоящей работе представлены результаты исследования поляризационных и спектральных характеристик излучения лазерных структур на основе λ-микрорезонатора Al0.40Ga0.60As с четырьмя GaAs квантовыми ямами толщиной 7 нм, разделенными 4 нм Al0.40Ga0.60As барьерами. Нижнее брэгговское зеркало состояло из 27 допированных кремнием пар слоев AlAs/Al0.20Ga0.80As, а верхнее – из 23.5 пар слоев, допированных углеродом. Отдельный лазер представлял собой микростолбик размером 60 × 60 мкм2. На верхнем зеркале внутри площадки, ограниченной золотым кольцевым контактом, в результате частичного травления был сформирован фотонный кристалл размером 36 × 36 мкм2, элементарная ячейка которого образована за счет вытравливания на глубину, равную толщине 4.75 пар слоев AlAs/Al0.20Ga0.80As четырьмя микростолбиками с основаниями в виде вытянутых прямоугольников, повернутых “влево” или “вправо” на 90° относительно друг друга. Период фотонного кристалла составлял d = 880 нм, а линейный размер хирального элемента изменялся в диапазоне 256–280 нм.

Для возбуждения излучения к каждому отдельному лазеру прикладывалось импульсное напряжение величиной до ~75 В. Импульсное возбуждение позволяло прикладывать более высокое напряжение, которое не приводило к повреждению (пробою) лазерной структуры. Длительность прямоугольных импульсов возбуждения составляла ~1 мкс при частоте следования 10 кГц.

На рис. 2 представлены спектры излучения одного из таких лазеров в различных циркулярных поляризациях при различных значениях текущего через образец импульсного тока J. При увеличении тока возникает несколько мод лазерной генерации и наблюдается резкий сверхлинейный рост интенсивности линий излучения, который сопровождался сужением их спектральной ширины до величин ≤40 мкэВ (аппаратное разрешение спектрометра с высоким разрешением) и углового пространственного распределения до 1.5°–2°. Степень циркулярной поляризации ρC лазерной генерации при этом в некоторых узких линиях могла достигать величины более 90%.

Рис. 2.

Спектры излучения хиральной полупроводниковой лазерной структуры в σ+ (сплошные кривые) и σ (пунктирные кривые) циркулярной поляризации при различных значениях импульсного тока J: 1.7 (кривые 1), 6.8 (кривые 2), 12.7 (кривые 3), 27 мА (кривые 4).

Типичная зависимость интенсивности лазерного излучения от текущего через образец импульсного тока J представлена на рис. 3а. Видно, что линейная зависимость интенсивности излучения I при малых токах, сменяется резким ее сверхлинейным ростом при достижении пороговых значений тока. Следует также отметить, что степень циркулярной поляризации излучения при низких токах (в спонтанном режиме) была относительно низкой ρC ≤ 10%, а начиная с пороговых значений импульсного тока при его увеличении наблюдается резкий рост степени циркулярной поляризации лазерного излучения (рис. 3б).

Рис. 3.

Зависимость интенсивности I (а) и степени циркулярной поляризации ρC (б) излучения полупроводникового лазера на основе хирального микрорезонатора от величины импульсного тока J.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Проведенные исследования спектров и поляризационных свойств излучения одиночных InAs квантовых точек, внедренных в планарный GaAs волновод полупроводниковой наноструктуры с хиральной симметрией, и излучения полупроводникового лазера с электрической накачкой на основе AlAs/AlGaAs микрорезонатора с GaAs квантовыми ямами в активной области, верхний слой которых представлял собой квадратную решетку фотонного кристалла с хиральной симметрией показали возможность получения в наноструктурах, обладающих хиральной симметрией, циркулярно-поляризованного излучения без приложения магнитного поля. Тем самым продемонстрирована возможность реализации компактных однофотонных источников света и лазерных источников света с контролируемым циркулярно-поляризованным излучением на основе хирально-модулированных полупроводниковых наноструктур.

Авторы выражают благодарность В.Д. Кулаковскому и С.Г. Тиходееву за многочисленные полезные обсуждения, а также С. Хёфлингу и Х. Шнайдеру за предоставленные образцы для исследований. Работа частично поддержана РФФИ (проекты № 19-02-00697 и № 20-02-00534).

Список литературы

  1. Konishi K., Nomura M., Kumagai N. et al. // Phys. Rev. Lett. 2011. V. 106. Art. No 057402.

  2. Maksimov A.A., Tartakovskii I.I., Filatov E.V. et al. // Phys. Rev. B. 2014. V. 89. Art. No 045316.

  3. Lobanov S.V., Tikhodeev S.G., Gippius N.A. et al. // Phys. Rev. B. 2015. V. 92. Art. No 205309.

  4. Максимов А.А., Пещеренко А.Б., Филатов Е.В. и др. // Письма в ЖЭТФ. 2017. Т. 106. № 10. С. 615; Maksimov A.A., Peshcherenko A.B., Filatov E.V. et al. // JETP Lett. 2017. V. 106. No 10. P. 643.

  5. Lobanov S.V., Weiss T., Gippius N.A. et al. // Opt. Lett. 2015. V. 40. No 7. P. 1528.

  6. Demenev A.A., Kulakovskii V.D., Schneider C. et al. // Appl. Phys. Lett. 2016. V. 109. Art. No 171106.

  7. Schneider C., Rahimi-Iman A., Kim N.Y. et al. // Nature. 2013. V. 497. No 7449. P. 348.

  8. Максимов А.А., Филатов Е.В., Тартаковский И.И. и др. // Тр. XXIV междунар. симп. (Нижний Новгород, 2020). Т. 2. С. 653.

Дополнительные материалы отсутствуют.