Российские нанотехнологии, 2021, T. 16, № 3, стр. 356-363
МОРФОЛОГИЯ ПОВЕРХНОСТИ И ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНАЯ ТУННЕЛЬНАЯ ПРОВОДИМОСТЬ В МНОГОКОМПОНЕНТНЫХ ТВЕРДЫХ РАСТВОРАХ (Bi, Sb, Sn, Ge)2(Te, Se)3
Л. Н. Лукьянова 1, *, И. В. Макаренко 1, О. А. Усов 1
1 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН
Санкт-Петербург, Россия
* E-mail: lidia.lukyanova@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию 25.11.2020
После доработки 11.12.2020
Принята к публикации 21.12.2020
Аннотация
Проведено исследование морфологии межслоевой поверхности и спектров дифференциальной туннельной проводимости в твердых растворах (Bi, Sb, Sn, Ge)2(Te, Se)3 методами сканирующей туннельной микроскопии и сканирующей туннельной спектроскопии. Систематизированы поверхностные дефекты, связанные с искажениями поверхностных электронных состояний в результате замещения атомов и с образованием собственных дефектов, формирующихся в процессе роста твердых растворов. Определено положение точки Дирака и ее флуктуации относительно среднего значения, обнаружены уровни примесных поверхностных дефектов и рассчитана их энергия в зависимости от состава твердого раствора, величины коэффициента Зеебека и параметра мощности. Рассчитана поверхностная концентрация фермионов Дирака и установлены составы, в которых возрастает вклад поверхностных состояний за счет роста концентрации фермионов и вследствие увеличения скорости Ферми и подвижности фермионов в поверхностном слое.
ВВЕДЕНИЕ
Твердые растворы (ТР) на основе теллурида висмута являются высокоэффективными термоэлектрическими материалами [1, 2], кроме того, эти термоэлектрики относятся к трехмерным топологическим изоляторам с аномальными свойствами топологических поверхностных состояний фермионов Дирака [3, 4]. Для рассматриваемых сильных топологических изоляторов характерны линейная дисперсия и сильная связь между спином и импульсом, препятствующие обратному рассеянию фермионов на немагнитных примесях и дефектах [5].
Перспективность топологических явлений для практического применения в термоэлектричестве была показана в [5–7], что стимулирует изучение аномальных свойств топологических поверхностных состояний фермионов Дирака в термоэлектриках. По оценкам в рамках теории теплового квантового поля в топологических материалах на основе Bi2Te3 в [8] было получено аномальное увеличение коэффициента Зеебека, связанное с локальным теплообменом вдоль градиента температуры при появлении электронно-дырочных пар Швингера на горячей стороне термоэлектрика. Расчетная величина термоэлектрической эффективности составляла ZT = 2.7, что коррелирует с экспериментальными результатами [9] для сверхрешеток p-типа Bi2Te3/Sb2Te3.
В [6, 7] рост коэффициента Зеебека и эффективности объясняли усилением энергетической зависимости спектрального распределения длин свободного пробега фононов и электронов, что связано с сильным спин-орбитальным взаимодействием и линейной дисперсией электронов в топологических изоляторах. Повышение эффективности за счет увеличения подвижности, обусловленное эффектом сверхтекучести топологического экситонного конденсата в топологических материалах на основе Bi2Te3, Sb2Te3 и Bi2Se3, было теоретически предсказано в [10] и экспериментально получено в [11] в (Bi, Sb)2Se3. Максимальное увеличение параметра мощности в 2.5–3 раза за счет роста подвижности в субмикронных слоях ТР на основе Bi2Te3 при высоких давлениях 3–4 ГПа наблюдалось в области изоструктурных топологических фазовых переходов [12].
Настоящая работа посвящена исследованию топологических поверхностных состояний фермионов Дирака методами сканирующей туннельной микроскопии (СТМ) и сканирующей туннельной спектроскопии (СТС) в анизотропных слоистых твердых растворах p-типа (Bi, Sb, Sn, Ge)2(Te, Se)3 при различных величинах коэффициента Зеебека S и параметра мощности S2σ, где σ – удельная электропроводность.
ОБРАЗЦЫ ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЙ МЕТОДАМИ СТМ/СТС
Слитки ТР (Bi, Sb)2(Te, Se)3 и (Bi, Sn, Ge)2Te3 выращены методом направленной кристаллизации, который применяется для получения многокомпонентных термоэлектриков однородного состава. Образцы для исследований были вырезаны из монокристаллических блоков объемных слитков вдоль межслоевых плоскостей Ван-дер-Ваальса (0001), ориентированных по оси роста, перпендикулярной кристаллографической оси c3 (табл. 1). Все образцы кристаллизуются в ромбоэдрической структуре с пр. гр. $R\bar {3}m (D_{{3d}}^{5})$. Кристаллическая структура теллурида висмута и рассматриваемых ТР представляет собой анизотропные слои, состоящие из пятислойных пакетов, или квинтетов, разделенных щелями Ван-дер-Ваальса. Атомные слои в квинтете Bi2Te3 чередуются в последовательности –Te(1)–Bi–Te(2)–Bi–Te(1)–. В твердых растворах Bi2 –xSbxTe3 –ySey атомы Sb замещают атомы Bi, атомы Se замещают атомы Te(2) или Te(1). В составах Bi2 –x–ySnxGeyTe3 атомы Sn и Ge замещают Bi. В отличие от непрерывной системы ТР Bi2-xSbxTe3–ySey с неограниченной растворимостью компонентов атомы Sn и Ge имеют ограниченную растворимость в Bi2Te3.
Таблица 1.
Образец | Состав | Коэффициент Зеебека S, мкВ К–1 | Параметр мощности S2σ × 10–6 Вт см–1 К–2 |
---|---|---|---|
1 | Bi2Te3 | 213 | 29 |
2 | Bi1.98Sn0.02Te3 | 254 | 24 |
3 | Bi1.96Sn0.02Ge0.02Te3 | 172 | 23 |
4 | Bi0.85Sb1.15Te2.94Se0.06 | 257 | 31 |
5 | Bi0.4Sb1.6Te2.94Se0.06 | 170 | 49 |
Образец 4 в табл. 1 с высоким коэффициентом Зеебека был легирован избыточным Te и оптимизирован для области температур ниже комнатной. Образец 5, легированный галогенидом металла CdCl2, имел оптимальные термоэлектрические свойства для температур выше комнатной. Другие образцы из табл. 1 легированы CdCl2 и CdBr2.
Монокристаллические образцы из табл. 1 исследовали методами СТМ/СТС с помощью сканирующего туннельного микроскопа GPI-300 (ИОФ РАН, Москва), укомплектованного высоковакуумным модулем (ФТИ им. А.Ф. Иоффе). Измерения морфологии поверхности и дифференциальной туннельной проводимости методами СТМ/СТС выполнены с помощью вольфрамовых зондов в высоковакуумной камере при давлении 2.4 × 10–7 Па и комнатной температуре. Измерения методом СТМ проводили в режиме постоянного тока с включенной обратной связью с разрешением 0.05 Å. Спектры дифференциальной туннельной проводимости dIt /dU в зависимости от напряжения U измеряли методом СТС в режиме постоянной высоты зонда над поверхностью образца с отключенной обратной связью при напряжении модуляции 5–10 мВ, частоте 7 кГц и разрешении 1.5 мВ.
МОРФОЛОГИЯ МЕЖСЛОЕВОЙ ПОВЕРХНОСТИ: АНАЛИЗ ИЗОБРАЖЕНИЙ И БЫСТРОЕ ПРЕОБРАЗОВАНИЕ ФУРЬЕ
Изображения морфологии межслоевой поверхности (0001) исследовали для Bi2Te3 и твердых растворов различного состава (табл. 1). Самое четкое изображение морфологии поверхности (0001) получено для Bi2Te3 (рис. 1а). Замещения атомов в подрешетках Bi и Te и легирование ТР приводят к искажению кристаллической решетки и размытию изображений (рис. 1). Несмотря на размытость изображений, морфология поверхности (0001) характеризуется ГПУ-структурой, что экспериментально подтверждается в составах на основе Bi2Te3 в [13].
В твердых растворах Bi0.85Sb1.15Te2.94Se0.06 и Bi1.96Sn0.02Ge0.02Te3 на изображениях поверхности (0001) наблюдаются темные и светлые пятна различной интенсивности (рис. 1б, 1в). Такой характер поверхности связан с искажениями поверхностных электронных состояний при неравномерном распределении кулоновского потенциала [14] как в результате замещения атомов в подрешетках Bi и Te, так и с образованием собственных дефектов, формирующихся в процессе роста ТР.
В качестве параметров, характеризующих искажения поверхностных электронных состояний, использовали средние значения по высоте HM и среднеквадратичные отклонения по высоте HS в распределении атомов на поверхности (0001), которые определяли из гистограмм рельефа поверхности; HM и HS, нм: Bi2Te3 – 0.078, 0.015 и 0.189, 0.003; Bi0.85Sb1.15Te2.94Se0.06 – 0.012 и 0.046, Bi1.96Sn0.02Ge0.02Te3 – 0.038, 0.012 и 0.077, 0.046; Bi0.4Sb1.6Te2.94Se0.06 – 0.06 и 0.017. Увеличение HM и HS на гистограммах для Bi2Te3 (a) и Bi1.96Sn0.02Ge0.02Te3 (в) соответствует профилям, полученным вдоль стрелок 1 на рис. 1.
В твердом растворе Bi0.4Sb1.6Te2.94Se0.06 (рис. 1г) с высоким параметром мощности и при большем количестве замещенных атомов в подрешетке Bi, чем в Bi0.85Sb1.15Te2.94Se0.06 (рис. 1б), пятна не были обнаружены. При этом параметры искажений поверхностных электронных состояний на гистограммах в Bi0.4Sb1.6Te2.94Se0.06 меньше по сравнению с в Bi0.85Sb1.15Te2.94Se0.06, что можно объяснить частичной компенсацией дефектов при сильном легировании галогенидом металла CdCl2.
На рис. 2 приведены профили поверхности (0001) с атомным разрешением, на которых в виде выступов и провалов более отчетливо видны искажения в распределении высот между соседними атомами вдоль выбранных направлений, вызванных влиянием примесных и собственных дефектов. Обычно качественная идентификация дефектов проводится путем прямого сравнения изображений дефектов, полученных СТМ на бинарных материалах при низких температурах, с расчетными изображениями этих дефектов [15]. В исследуемых термоэлектриках р-типа наиболее вероятно образование нейтральных примесных дефектов замещения Sb → Bi, собственных акцепторных антиструктурных дефектов висмута на местах теллура BiTe и вакансий теллура VTe.
Для твердых растворов Bi0.85Sb1.15Te2.94Se0.06 и Bi0.4Sb1.6Te2.94Se0.06 (рис. 2б, 2г) были обнаружены антиструктурные дефекты BiTe с выступами на профилях 0.04 нм и нейтральные примесные дефекты замещения Sb → Te и Se → Te с глубиной провалов 0.05–0.06 нм. Характер наблюдаемых дефектов согласуется с оценками величины провала в геометрической модели на основе атомных радиусов Bi, Sb и Te и глубиной провала на профилях, полученных для состава BiSbTeSe2 [16]. Однако, несмотря на одинаковый характер дефектов на профилях поверхности (0001), величины HM и HS (рис. 1) в составе Bi0.85Sb1.15Te2.94Se0.06 ниже, чем в Bi0.4Sb1.6Te2.94Se0.06 (рис. 1б, 1г).
Энергия образования вакансий в ТР выше, чем антиструктурных дефектов BiTe [17], тем не менее вакансии Te (VTe) были обнаружены в Bi2Te3 и Bi1.96Sn0.02Ge0.02Te3 с ограниченной растворимостью Sn и Ge в подрешетке Bi (рис. 2а, 2в). Кроме того, на профилях в этом составе обнаружены адатомы в виде выступов над поверхностью (0001) высотой около 0.1 нм. Такие адатомы могут быть образованы как атомами замещения, так и атомами легирующей примеси (рис. 2в). Вакансии и адатомы на профилях (рис. 2) в образцах Bi2Te3 (а) и Bi1.96Sn0.02Ge0.02Te3 (в) приводят к росту величин HM и HS практически в 2 раза.
В результате быстрого преобразования Фурье изображений морфологии поверхности (0001) ТР (табл. 1) были получены интерференционные картины с центром в точке Γ зоны Бриллюэна, связанные с возбуждением квазичастиц при рассеянии поверхностных электронов на дефектах. Показаны также два возможных направления ГМ и ГК, связанные с рассеянием поверхностных электронов на дефектах, которые используются для определения дисперсии E(k) и скорости дираковских фермионов [14, 18].
Фурье-образы морфологии поверхности (0001), зона Бриллюэна и основные направления рассеяния фермионов ГМ и ГК, построенные на рис. 3, имеют аналогичный вид для всех образцов из табл. 1. Кроме спектральных компонент первого порядка обнаружены компоненты второго и более высокого порядка для твердого раствора Bi1.96Sn0.02Ge0.02Te3 (рис. 3б) с ограниченной растворимостью атомов Sn и Ge в подрешетке Bi.
СПЕКТРЫ СТС
В материалах p-типа энергию точки Дирака ED определяли по пересечению касательной к линейной части dIt /dU и оси U в соответствии с [19]. Зависимости dIt /dU от U в различных точках поверхности (0001) образца показали наличие флуктуаций ΔED энергии точки Дирака ED по сравнению со средним значением 〈ED〉. Слабые флуктуации наблюдались в Bi2Te3 и ТР с малым количеством замещенных атомов Bi1.98Sn0.02Te3 (рис. 4, кривые 1, 2), в которых соотношения ΔED/〈ED〉 составляли 4 и 1.5% соответственно. С повышением количества замещенных атомов в ТР флуктуации точки Дирака возрастали до 5% в составе Bi0.85Sb1.15Te2.94Se0.06 и до 9% в Bi0.4Sb1.6Te2.94Se0.06 (рис. 4, кривые 4, 5). Флуктуации ΔED/〈ED〉 в составе Bi1.96Sn0.02Ge0.02Te3 с ограниченной растворимостью Sn и Ge достигали 10.5%, несмотря на меньшее количество замещенных атомов, чем в твердых растворах Bi2 –xSbxTe3 –ySey (рис. 4, кривые 3–5). Высокий уровень флуктуаций точки Дирака в твердых растворах Bi1.96Sn0.02Ge0.02Te3 и Bi0.4Sb1.6Te2.94Se0.06 согласуется с данными, полученными при исследовании профилей изображений морфологии поверхности и анализе дефектов. Именно в этих образцах с низким коэффициентом Зеебека (табл. 1) и, следовательно, высокой концентрацией носителей заряда возрастают величины провалов и выступов атомов на изображениях профилей, а также средние высоты HM и среднеквадратичные отклонения HS на гистограммах рельефа поверхности (0001), что связано с увеличением примесных дефектов замещения и собственных антиструктурных дефектов (рис. 1в, 1г).
Кроме флуктуаций энергии точки Дирака на нормированных зависимостях дифференциальной туннельной проводимости от напряжения были обнаружены пики pi, соответствующие поверхностным уровням, образованным дефектами. Энергия уровня дефекта EР(ED) определяется относительно энергии точки Дирака ED и равна EР(ED) =EР – ED, поскольку, как показано в [20], энергия поверхностных примесных уровней, измеренных относительно точки Дирака, не зависит от положения уровня Ферми.
На величину энергии и положение уровней оказывает влияние состав ТР. В Bi2Te3 и Bi1.98Sn0.02Te3 с малым количеством замещенных атомов только в подрешетке Bi (рис. 4, кривые 1, 2) энергии уровней EР находятся в интервалах 80–270 и 25–235 мэВ соответственно, а флуктуации точки Дирака слабые (рис. 4, кривые 1, 2). В многокомпонентном твердом растворе Bi0.85Sb1.15Te2.94Se0.06 с высоким коэффициентом Зеебека энергии уровней возрастали до 170–390 мэВ, а флуктуации ED составляли около 5% (рис. 4, кривые 4). При увеличении количества замещенных атомов в составе Bi0.4Sb1.6Te2.94Se0.06 с высоким параметром мощности энергия и интервал энергий уровней значительно уменьшались до 10–70 мэВ, при этом флуктуации точки Дирака возрастали до 9% (рис. 4, кривые 5).
Вклад поверхностных состояний в термоэлектрические свойства исследованных материалов определяли по величине поверхностной концентрации фермионов ns. В расчетах ns использовали величины и флуктуации энергии точки Дирака, приведенные на рис. 4. Скорость Ферми vF, необходимую для определения ns, оценивали по данным для Bi2Te3 и твердого раствора Bi2 –xSbxTe3 в соответствии с [21]. Поверхностная концентрация фермионов Дирака ns определена как ns = $k_{{\text{F}}}^{2}$/4π, где волновой вектор kF = |ED|/vF (табл. 2).
Таблица 2.
Образец | Состав | ED, мэВ | vF, 105 м/с | kF, нм–1 | ns, 1012 см–2 |
---|---|---|---|---|---|
1 | Bi2Te3 | –149 | 3.3 | 0.591 | 2.8 |
2 | Bi1.98Sn0.02Te3 | –97 | 3.3 | 0.387 | 1.2 |
3 | Bi1.96Sn0.02Ge0.02Te3 | –108 | 3.35 | 0.431 | 1.5 |
4 | Bi0.85Sb1.15Te2.94Se0.06 | –178 | 3.66 | 0.709 | 4.0 |
5 | Bi0.4Sb1.6Te2.94Se0.06 | –140 | 3.82 | 0.541 | 2.45 |
Скорость Ферми vF возрастает в ТР с ростом количества замещенных атомов по сравнению с Bi2Te3, что объясняется ростом подвижности фермионов в поверхностном слое, особенно в составе Bi0.4Sb1.6Te2.94Se0.06 с высоким параметром мощности, оптимизированном для температур выше комнатной [22]. Наибольшая поверхностная концентрация фермионов ns получена в твердом растворе Bi0.85Sb1.15Te2.94Se0.06 с оптимальными термоэлектрическими свойствами для температур ниже комнатной при высоком коэффициенте Зеебека [23]. Рост ns указывает на увеличение влияния поверхностных фермионов на термоэлектрические свойства в этом составе. Отметим, что в твердом растворе Bi0.85Sb1.15Te2.94Se0.06 энергия ED была максимальной, а флуктуации точки Дирака уменьшались по сравнению с Bi0.4Sb1.6Te2.94Se0.06 (рис. 4, кривые 4, 5).
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
Морфология межслоевой поверхности (0001) Ван-дер-Ваальса, измеренная с атомным разрешением, и дифференциальная туннельная проводимость dIt /dU исследованы методами сканирующей туннельной микроскопии и спектроскопии в многокомпонентных твердых растворах (Bi, Sb)2(Te, Se)3 и (Bi, Sn, Ge)2Te3 в зависимости от состава.
На изображениях морфологии поверхности (0001) обнаружены примесные дефекты замещения Sb → Bi, Se → Te и собственные антиструктурные дефекты BiTe, вакансии теллура VTe и поверхностные адатомы, которые связаны с искажениями поверхностных электронных состояний и формируются в процессе роста термоэлектриков.
Из анализа спектров дифференциальной туннельной проводимости dIt /dU в зависимости от напряжения U определено положение точки Дирака ED и установлены флуктуации энергии ED относительно среднего значения. На зависимостях dIt /dU от U обнаружены уровни примесных поверхностных дефектов, рассчитана их энергия для различных составов ТР p-типа.
Показано, что флуктуации энергии ED возрастают в ТР с увеличением количества замещенных атомов Sb → Bi. Однако, несмотря на малое замещение атомов, в составе Bi1.96Sn0.02Ge0.02Te3 наблюдался высокий уровень флуктуаций ED. Рост флуктуаций точки Дирака в этом составе сопровождался увеличением средней высоты HM и среднеквадратичных отклонений HS на гистограммах рельефа поверхности (0001), что указывает на рост дефектов в ТР с ограниченной растворимостью Sn и Ge.
Рассчитана поверхностная концентрация фермионов Дирака и установлены составы, в которых возрастает вклад поверхностных состояний за счет роста поверхностной концентрации фермионов в твердом растворе Bi0.85Sb1.15Te2.94Se0.06 с оптимальными свойствами для температур ниже комнатной. В составе Bi0.4Sb1.6Te2.94Se0.06, оптимизированном для температур выше комнатной с высоким параметром мощности, влияние поверхностных состояний фермионов Дирака на термоэлектрические свойства определяется увеличением скорости Ферми, что указывает на рост подвижности фермионов в поверхностном слое.
Работа выполнена при частичной финансовой поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (проект № 20-08-00464).
Список литературы
Nolas G.S., Sharp J., Goldsmid H.J. Thermoelectrics: Basic Principles and New Materials Developments. New York: Springer, 2001. 295 p.
Rowe D.M. // Modules, Systems, and Applications in Thermoelectrics / Ed. Rowe D.M. Boca Raton; FL: CRC Press, 2012. P. 23-1.
Hasan M.Z., Kane C.L. // Rev. Mod. Phys. 2010. V. 82. P. 3045. https://doi.org/10.1103/RevModPhys.82.3045
Веденеев С.И. // Успехи физ. наук. 2017. Т. 187. С. 411. https://doi.org/10.3367/UFNe.2017.01.038053
Xu N., Xu Y., Zhu J. // npj Quant. Mater. 2017. V. 2. P. 51. https://doi.org/10.1038/s41535-017-0054-3.
Heremans J., Cava R., Samarth N. // Nat. Rev. Mater. 2017. V. 2. P. 17049. https://doi.org/10.1038/natrevmats.2017.49
Liu T.-H., Zhou J., Li M. et al. // Proc. Natl. Acad. Sci. 2018. V. 115. P. 879. https://doi.org/10.1073/pnas.1715477115
Baldomir D., Failde D. // Sci. Rep. 2019. V. 9. P. 6324. https://doi.org/10.1038/s41598-019-42744-3
Venkatasubramanian R., Siivola E., Colpitts T., O’quinn B. // Nature. 2001. V. 413. P. 597. https://doi.org/10.1038/35098012
Seradjeh B., Moore J.E., Franz M. // Phys. Rev. Lett. 2009. V. 103. P. 066402. https://doi.org/10.1103/PhysRevLett.103.066402
Hou Y., Wang R., Xiao R. et al. // Nat. Commun. 2019. V. 10. P. 5723. https://doi.org/10.1038/s41467-019-13711-3
Коробейников И.В., Морозова Н.В., Лукьянова Л.Н. и др. // Физика и техника полупроводников. 2019. Т. 53. С. 741. https://doi.org/10.21883/FTP.2019.06.47719.28
Lau Y.C., Akiyama R., Hirose H.T. et al. // J. Phys. Mater. 2020. V. 3. P. 034001. https://doi.org/10.1088/2515-7639/ab7e0c
Beidenkopf H., Roushan P., Seo J. et al. // Nat. Phys. 2011. V. 7. P. 939. https://doi.org/10.1038/nphys2108
Dai J., West D., Wang X. et al. // Phys. Rev. Lett. 2016. V. 117. P. 106401. https://doi.org/10.1103/PhysRevLett.117.106401
Nam H., Xu Y., Miotkowski I. et al. // J. Phys. Chem. Solids. 2019. V. 128. P. 251. https://doi.org/10.1016/j.jpcs.2017.10.026
Scanlon D.O., King P.D.C., Singh R.P. et al. // Adv. Mater. 2012. V. 24. P. 2154. https://doi.org/10.1002/adma.201200187
He X., Li H., Chen L., Wu K. // Sci. Rep. 2015. V. 5. P. 8830. https://doi.org/10.1038/srep08830
Chen M., Peng J.-P., Zhang H.-M. et al. // Appl. Phys. Lett. 2012. V. 101. P. 081603. https://doi.org/10.1063/1.4747715
Edmonds M.T., Collins J.L., Hellerstedt J. et al. // Sci. Adv. 2017. V. 3. P. eaao6661. https://doi.org/10.1126/sciadv.aao6661.
Zhang J., Chang C.Z., Zhang Z. et al. // Nat. Commun. 2011. V. 2. P. 574. https://doi.org/10.1038/ncomms163910.1038/ncomms1639
Lukyanova L.N., Kutasov V.A., Konstantinov P.P., Popov V.V. // Modules, Systems, and Applications in Thermoelectrics / Ed. Rowe D.M. Boca Raton, FL: CRC Press, 2012. P. 7-1.
Kutasov V.A., Lukyanova L.N., Vedernikov M.V. // Thermoelectrics Handbook: Macro to Nano / Ed. Rowe D.M. Boca Raton; FL: CRC Press, 2006. P. 37-1.
Дополнительные материалы отсутствуют.
Инструменты
Российские нанотехнологии