Журнал общей химии, 2022, T. 92, № 8, стр. 1310-1324

Атомно-слоевое осаждение и термические превращения алюминий-ванадиевых оксидных тонких пленок

А.И. Абдулагатов, А.М. Максумова, Д.К. Палчаев, М.Х. Рабаданов, И.М. Абдулагатов

Полный текст (PDF) / Полный текст (HTML)