Журнал общей химии, 2022, T. 92, № 8, стр. 1310-1324
Атомно-слоевое осаждение и термические превращения алюминий-ванадиевых оксидных тонких пленок
А.И. Абдулагатов, А.М. Максумова, Д.К. Палчаев, М.Х. Рабаданов, И.М. Абдулагатов
- EDN: IQMDWS
- DOI: 10.31857/S0044460X22080182
Инструменты
Журнал общей химии