Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 2022, № 7, стр. 11-15
Магнитосопротивление пленок Co2FeAl на А-плоскости сапфира
Л. А. Фомин a, *, И. В. Маликов a, **, В. А. Березин a
a Институт проблем технологии микроэлектроники и особо чистых материалов РАН
142432 Черноголовка, Московская область, Россия
* E-mail: fomin@iptm.ru
** E-mail: malikov@iptm.ru
Поступила в редакцию 30.11.2020
После доработки 12.01.2022
Принята к публикации 12.01.2022
- EDN: QPRGCZ
- DOI: 10.31857/S1028096022070044
Аннотация
Методом импульсного лазерного испарения в сверхвысоком вакууме на A-плоскости сапфира с подслоем 10 нм эпитаксиально-выращенного при температуре 450°C вольфрама (110) получены пленки Co2FeAl (CFA) с одноосной магнитной анизотропией. Ориентация кристаллографических осей в выращенных пленках такая же, как и для роста пленок Fe (110) на той же подложке. Для некоторых пленок обнаружена инверсная зависимость анизотропного магнитосопротивления, что может свидетельствовать о реализации состояния половинного металла. Для других пленок из той же серии инверсная зависимость не наблюдается, так как случайные факторы, такие как искажения параметров решетки, напряжения в ней и различные структурные дефекты, могут приводить к потере свойств половинного металла.
ВВЕДЕНИЕ
Существование половинных металлов (ПМ), подразумевающих 100%-поляризацию спинов на поверхности Ферми было предсказано в начале 1980-х годов [1]. Их использование может потенциально повысить плотность спин-поляризованного тока в структурах с такими материалами, что должно привести к значительному увеличению магниторезистивных эффектов, используемых в прикладных задачах. Первые попытки реализовать ПМ на основе двойных соединений с предсказанными свойствами половинного металла (таких как Fe3O4, CrO2) оказались малоуспешными. Сплавы Гейслера рассматриваются в настоящее время как наиболее перспективные материалы для этого [2]. Основная идея таких исследований – увеличить спиновую поляризацию и реализовать электронную структуру ПМ. Для некоторых сплавов (в приборах на их основе) было достигнуто значительное увеличение магниторезистивных эффектов: для сплава Co2FeGa0.5Ge0.5 эффект гигантского магнитосопротивления (GMR) составил 285% при температуре 10 K и 82% при комнатной температуре [3], а для сплава Co2MnSi эффект туннельного магнитосопротивления (TMR) составил 1995% при 4.2 K и 354% при комнатной температуре [4].
Пленки различных сплавов Гейслера толщиной от монослойных до 100 нм выращивались при температурах 20–600°С на неориентированных подложках (например, окисленном кремнии) и на монокристаллических (кремний, GaAs (100) [5], MgO(100) и т.д.). Среди используемых подложек также имеется и А-плоскость монокристаллического сапфира Al2O3 (1 1 $\bar {2}$ 0). На ориентированных подложках достигаются свойства, близкие к свойствам объемных сплавов Гейслера.
Кобальтсодержащие сплавы Гейслера хорошо изучены, к ним относится, например, Co2FeAl (CFA). С его использованием продемонстрировано гигантское магнетосопротивление в магнитных туннельных переходах [6].
Рост пленок CFA как потенциального половинного металла и его транспортные свойства рассматривались в различных работах, в частности, его выращивали на подложках MgO, в том числе и с использованием различных подслоев, например, с подслоем хрома [7]. Пленки на ориентированных подложках, например, А-плоскости монокристаллического сапфира Al2O3 (1 1 $\bar {2}$ 0) [8], проявляют свойства близкие к свойствам объемных сплавов Гейслера.
Как было показано ранее [11], высокосовершенные пленки Fe(100) можно получить на А-плоскости сапфира с подслоем Mo или W. Монокристаллический сапфир в свою очередь является отличным материалом для использования в качестве подложки для получения пленок с большими, а иногда и рекордными для пленок длинами свободного пробега, свидетельствующими об их высоком совершенстве [12].
Для CFA характерна решетка L21. Также возможно существование и неупорядоченных фаз. Расчеты показывают, что данное вещество является половинным металлом с параметром решетки, а = 0.570 нм и температурами Кюри 1050, 840 и 890 К для структур с решетками L21, B2 и A2 соответственно [9].
Таким образом, целью настоящей работы было получение пленок CFA с одноосной магнитной анизотропией на А-плоскости сапфира с использованием зарекомендовавшей себя ранее методики роста на подслое тугоплавкого металла (W), а также исследование магнитосопротивления таких пленок для проверки достижения ими свойств половинного металла.
ЭКСПЕРИМЕНТ
Пленки сплава Гейслера CFA толщиной 100 нм были выращены методом импульсного лазерного испарения в сверхвысоком вакууме с базовым вакуумом 10–10 Торр на A-плоскости монокристаллического сапфира при Т = 270°С с подслоем эпитаксиально выращенного при 450°C вольфрама с ориентацией (011) и толщиной 10 нм. Был реализован подход, использованный ранее при получении эпитаксиальных пленок железа высокого качества [13], для которых подслой W (Mo) задает “правильную” ориентацию роста пленок. Указанный в работе [10] экспериментально найденный параметр решетки используемого сплава Гейслера а0 = 0.573 нм практически в точности равен удвоенному значению параметра решетки для Fe (а = 0.2866 нм). Такие значения параметров решеток должны также обеспечить и подобие эпитаксиального роста пленок в рассматриваемом случае.
Для магнитотранспортных измерений были изготовлены структуры в виде мостиков размером 200 × 900 мкм напылением через маску. Сопротивление мостиков измерялось по четырехточечной схеме как функция внешнего магнитного поля, разворачиваемого от –5000 до 5000 Э.
РЕЗУЛЬТАТЫ И ОБСУЖДЕНИЕ
Исследование сопротивления пленок в магнитном поле, лежащем в плоскости пленки и направленном параллельно (перпендикулярно или под углом) к продольной оси мостика CFA дает характерные для анизотропного магнитосопротивления магнитополевые зависимости сопротивлений для пленок CFA, выращенных на А-плоскости сапфира с подслоем W(110). Пример таких магнитополевых зависимостей (продольное и поперечное магнетосопротивление) приведен на рис. 1. При этом величина магнитного поля в максимуме или минимуме такой зависимости может быть отождествлена с величиной коэрцитивной силы Hc (в зависимости от величины угла между направлением протекающего тока и направлением магнитного поля), т.е. для заданного кристаллографического направления пленки. По результатам измерения кривых магнитосопротивления была построена угловая зависимость Hс.
Экспериментальное исследование магнитосопротивления пленок CFA, выращенных на А-плоскости сапфира, показали, что имеет место четко выраженная одноосная ростовая анизотропия (рис. 2). Ориентация осей полностью соответствует характерной ориентации для роста пленок железа на поверхности А-сапфира с подслоем Mo [14], т.е. направление [1 $\bar {1}$ 1] Co2FeAl направлено перпендикулярно [0001] сапфира. Кроме того для пленок Fe на А-плоскости сапфира с подслоем Мо характерна эпитаксия Fe(110) с направлением [100], лежащем в плоскости пленки и направленном под углом около 35° относительно направления [0001] сапфира [14]. Ранее мы уже отмечали, что CFA имеет удвоенный параметр решетки по сравнению с Fe.
Как видно из рис. 2, для Hc полученных пленок имеется только одно выделенное направление, т.е. имеет место одноосная магнитная анизотропия. Причем, согласно рисунку, это выделенное направление совпадает с направлением [1 $\bar {1}$ 0] для подслоя W, однозначно задающего параллельное ему направление роста для Fe [1 $\bar {1}$ 0], а с учетом подобия решеток CFA и Fe, и для пленки CFA должно быть то же самое однозначно определяемое кристаллографическое направление роста. т.е. направление [111] Co2FeAl перпендикулярно направлению [0001] сапфира. Таким образом, направление [100] находится в плоскости пленки под углом 35° относительно направления [0001] сапфира. Для CFA ось легкого намагничивания, что соответствует направлению [1 $\bar {1}$ 0] CFA, направлена под углом ~35° к направлению базового среза подложки. Ось трудного намагничивания направлена при этом по направлению [001] CFA. Как это было установлено ранее [10] для CFA ось легкого намагничивания соответствует именно направлению [110]. Такая однозначная магнитная анизотропия пленок CFA должна свидетельствовать и об их хорошем и однозначном кристаллографическом сопряжении с подслоем W и подложкой А-сапфира.
Обнаруженный характер магнитной анизотропии для пленок сплавов Гейслера, выращенных на А-плоскости сапфира, существенно отличается от результатов других исследований [15, 16]. Как было показано в этих и других работах, при выращивании пленок различных сплавов Гейслера (например, Co2FeSi) на чистой подложке А-сапфира без использования подслоя какого-либо металла наблюдается рост текстурированных пленок типа (110) с 6-осной анизотропией кристаллографических и магнитных свойств в плоскости пленки, чего в нашем случае не наблюдается.
Использовавшиеся ранее тонкие подслои из Au, Cr, V [15–17], как отмечалось неоднократно, улучшают текстуру пленок, но полностью не убирают многоосную анизотропию в плоскости пленок. В нашем случае многоосной анизотропии в плоскости пленки не наблюдается. Поэтому предположение об использовании подслоя тугоплавкого металла для улучшения однородности свойств в плоскости пленки сплава CFA(110) было верным.
Кроме того, для некоторых пленок CFA обнаружена инверсная зависимость поперечного и продольного магнитосопротивления (рис. 3), что, согласно работе [4], может свидетельствовать о реализации в таких пленках состояния половинного металла. Для другой части пленок инверсная зависимость магнитосопротивления не наблюдается.
Недавно была развита новая теоретическая модель, которая проанализировала эффект анизотропного магнитосопротивления (AMR) для различных ферромагнитных материалов [18, 19]. Величина AMR определяется как AMR = [(R(φ) – – R⊥)/R⊥] × 100%. В рамках новой модели s–d-рассеяние электронов, являющееся причиной AMR, происходит главным образом из состояния s↑ в состояние d↑ или из s↓ в d↓ в половинных металлах, что приводит к отрицательному знаку соотношений AMR, т. е. электрическое сопротивление в параллельном состоянии, где М и I намагниченность и электрический ток, соответственно, (M || I) меньше, чем в перпендикулярных условиях (М ⊥ I). В случае же положительного значения AMR преобладает s–d-рассеяние с переворотом спина. Угловая зависимость AMR-эффекта имеет вид:
(1)
${{\text{AM}}{{{\text{R}}}^{i}}\left( {{{\varphi }_{i}}} \right) = C_{0}^{i} + C_{2}^{i}{\kern 1pt} \cos \left( {2{{\varphi }_{i}}} \right) + C_{4}^{i}{\kern 1pt} \cos \left( {4{{\varphi }_{i}}} \right) \ldots ,}$Таким образом, согласно теоретическим представлениям, измерения AMR дают информацию о состоянии половинного металла в исследуемой пленке без каких-либо дополнительных исследований и манипуляций, связанных с микроструктурированием.
Для двух разных пленок были построены зависимости AMR от угла φ между направлением тока и магнитного поля H = 5000 Э. Как видно из рис. 3, для кривой 1 величина AMR отрицательна и составляет 0.13% при комнатной температуре, что вполне соответствует результатам других работ как для CFA [20], так и для иных кобальтсодержащих сплавов Гейслера [21, 22].
В соответствии с первопринципными расчетами электронной структуры для сплавов Гейслера на основе кобальта, общий спиновый момент таких соединений в основном подчиняется правилу Слетера–Полинга с полным числом валентных электронов Nv. В работе [20] были проанализированы знак и величина AMR-эффекта для эпитаксиальных пленок сплавов Co2MnZ и Co2FeZ в зависимости от Nv. Было найдено, что знак AMR-эффекта является отрицательным, когда Nv находится в интервале 28.2 и 30.3 и становится положительным в случае, когда Nv становится меньше 28.2 или больше 30.3. Для сплава Co2FeAl Nv = 29, что попадает в данный интервал. Для эпитаксиальных пленок CFA, выращенных на подложках MgO(001), был обнаружен отрицательный AMR-эффект величиной около 0.1% при температуре 300 К.
В нашем случае для пленок CFA также наблюдается отрицательная величина AMR, сравнимая с результатами других работ. Это может свидетельствовать о реализации в пленках состояния половинного металла. Для другой части выращенных нами CFA-пленок в аналогичных условиях AMR имеет положительное значение, что (на первый взгляд) является не очень понятным. Однако, в работе [23] были исследованы изменения AMR эпитаксиальных тонких пленок Cox(Mn0.44Ga0.56)100 – x в зависимости от направления тока к оси кристалла и от содержания Cox. Было найдено, что знак AMR менялся в соответствии с направлением тока. Для I || Co2MnGa[100] он был положительным, а для I || Co2MnGa[110] – отрицательным. Величины AMR для обоих случаев были максимальными при значении x = = 50 ат. %. Результаты расчетов, основанных на теории s–d-рассеяния, с информацией о плотности состояний, полученной из первопринципных расчетов, соответствовали экспериментальным данным. Таким образом, результаты работы показали, что изменения знака и амплитуды AMR пленок Co2MnGa можно объяснить s–d-рассеянием, зависящим от направления тока к кристаллографическим осям кристалла.
Кроме того, на реализацию совершенной структуры половинного металла могут оказывать влияние случайные факторы, такие как искажения параметров решетки, напряжения в ней и различные структурные дефекты, которые приводят к потере свойств половинного металла. Так, в работе [24] для четверных кобальтсодержащих сплавов теоретически было показано, что как искажения решетки, так и дефекты, такие как дефицит атомов Co, могут приводить к переходу от половинного металла к состоянию обычного металла. Известно, что при гетероэпитаксиальном росте пленок зачастую проявляются как тетрагональные искажения кристаллической решетки в растущей пленке, (что может приводить к значительным искажениям зонной структуры [25]), так и выявляемые косвенными методами неоднородности свойств пленок для кристаллографически равнозначных направлений, например, магнитных свойств [26].
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
Для пленок CFA, выращенных методом импульсного лазерного испарения на А-плоскости сапфира с подслоем W проявляется одноосная ростовая магнитная анизотропия. Ориентация осей полностью соответствует таковой, характерной для роста пленок железа на поверхности А-сапфира с подслоем Mo. Для ряда пленок обнаружена инверсная зависимость поперечного и продольного магнитосопротивления, что может свидетельствовать о реализации состояния половинного металла. Для другой части пленок такая инверсная зависимость не наблюдается, так как случайные факторы, такие как искажения параметров решетки, напряжения в ней и различные структурные дефекты, приводят к потере свойств половинного металла.
Список литературы
Groot R.A. de, Mueller F.M., Engen P.G. van, Buschow K.H.J. // Phys. Rev. Lett. 1983. V. 50. № 25. P. 2024. https://doi.org./10.1103/PhysRevLett.50.2024
Comtesse D. Dissertation: First-principles investigation of magnetic and electronic transport properties of transition metal alloys. Universitat Duisburg-Essen. 2014. P. 247.
Jung J.W., Sakuraba Y., Sasaki T.T., Miura Y., Hono K. // Appl. Phys. Lett. 2016. V. 108. № 10. P. 102408. https://doi.org./10.1063.1.4943640
Liu H.X., Honda Y., Taira T., Matsuda K.I., Arita M., Uemura T., Yamamoto M. // Appl. Phys. Lett. 2012. V. 101. № 13. P. 132418. https://doi.org./10.1063/1.4755773
Wanga W.H., Przybylski M., Kucha W., Chelarua L.I., Wanga J., Lua Y.F., Barthela J., Kirschner J. // J. Magn. Magn. Mater. 2005. V. 286. P. 336. https://doi.org./10.1016/j.jmmm.2004.09.089
Wang W., Liu E., Kodzuka M., Sukegawa H., Wojcik M., Jedryka E., Wu G.H., Inomata K., Mitani S., Hono K. // Phys. Rev. B. 2010. V. 81. № 14. P. 140402. https://doi.org./10.1103/Phys Rev B.81.140402
Okamura S., Miyazaki A., Sugimoto S., Tezuka N., Inomata K. // Appl. Phys. Lett. 2005. V. 86. № 23. P. 232503. https://doi.org./10.1063/1.1944893
Schneider H., Herbort Ch., Jakob G., Adrian H., Wurmehl S., Felser C. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2007. V. 40. № 6. P. 1548. https://doi.org./10.1088/0022-3727/40/6/S06
Siakeng L., Rai D.P., Mikhailov G.M. // J. Mat. Chem. C. 2018. V. 6. № 38. P. 10341. https://doi.org./10.1039/c8tc02530d
Gabor M.S., Petrisor T., Jr., Tiusan C., Hehn M., Petrisor T. // Phys. Rev. B. 2011. V. 84. № 13. P. 134413. https://doi.org./10.1103/PhysRevB.84.134413
Malikov I.V., Fomin L.A., Vinnichenko V.Yu., Mikhailov G.M. // Proc. SPIE. 2008. V. 7025. P. 70250U. https://doi.org./10.1117/12.802420
Mikhailov G.M., Malikov I.V., Chernykh A.V., Petrashov V.T. // Thin Solid Films. 1997. V. 293. № 1–2. P. 315. https://doi.org./10.1016/S0040-6090(96)08953-5
Mikhailov G.M., Fomin L.A., Vinnichenko V.Yu., Malikov I.V., Chernikh A.V. // Sol. St. Phenom. 2011. V. 168–169. P. 300. https://doi.org./10.4028/www.scientific.net/SSP.168-169.300
May U., Calarco R., Hauch J.O., Kittur H., Fonine M., Rudiger U., Guntherodt G. // Surf. Sci. 2001. V. 489. № 1–3. P. 144. https://doi.org./10.1016/S0039-6028(01) 01172-4
Gross K., Szary P., Petracic O., Brussing F., Westerholt K., Zabel H. // Phys. Rev. B. 2011. V. 84. № 5. P. 054456. https://doi.org/10.1103/PhysRevB.84.054456
Belmeguenai M., Zighem F., Roussigné Y., Chérif S-M., Moch P., Westerholt K., Woltersdorf G., Bayreuther G. // Phys. Rev. B. 2009. V. 79. № 2. P. 024419. https://doi.org./10.1103/PhysRevB.79.024419
Geiersbach U., Bergmann A., Westerholt K. // J. Magn. Magn. Mater. 2002. V. 240. P. 546. https://doi.org./10.1016/S0040-6090(02)01091-X
Kokado S., Tsunoda M., Harigaya K., Sakuma A. // J. Phys. Soc. Jpn. 2012. V. 81. № 2. P. 024705. https://doi.org./10.1143/JPSJ.81.024705
Kokado S., Tsunoda M. // J. Phys. Soc. Jpn. 2019. V. 88. № 3. P. 034706. https://doi.org./10.7566/JPSJ.88.034706
Sakuraba Y., Kokado S., Hirayama Y., Furubayashi T., Sukegawa H., Li S., Takahashi Y.K., Hono K. // Appl. Phys. Lett. 2014. V. 104. № 17. P. 172407. https://doi.org./10.1063/1.4874851
Yako H., Kubota T., Takanashi K. // IEEE Trans. Mag. 2015. V. 51. № 11. https://doi.org./10.1109/INTMAG.2015.7156904
Yang F.J., Sakuraba Y., Kokado S., Kota Y., Sakuma A., Takanashi K. // Phys. Rev. B. 2012. V. 86. № 2. P. 020409(R). https://doi.org./10.1103/PhysRevB.86. 020409
Sato T., Kokado S., Tsujikawa M., Ogawa T., Kosaka S., Shirai M., Tsunoda M. // Appl. Phys. Express. 2019. V. 12. № 10. P. 103005. https://doi.org./10.7567/1882-0786/ab42b4
Khan E., Johnson D.D., Suresh K. G., Alam A. // Phys. Rev. B. 2016. V. 94. № 18. P. 184102. https://doi.org./10.1103/PhysRevB.94.184102
Zhang X.M., Wang W.H., Liu E.K., Liu G.D., Liu Z.Y., Wu G.H. // Appl. Phys. Lett. 2011. V. 99. № 7. P. 071901. https://doi.org./10.1063/1.3625946
Hirohata A., Kurebayashi H., Okamura S., Kikuchi M., Masaki T., Nozak T., Tezuka N., Inomata K. // J. Appl. Phys. 2005. V. 97. № 10. P. 103714. https://doi.org./10.3379/jmsjmag.29.124
Дополнительные материалы отсутствуют.
Инструменты
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования