Приборы и техника эксперимента, 2020, № 6, стр. 46-52

АКУСТООПТИЧЕСКИЕ УСТРОЙСТВА НА ОСНОВЕ МНОГОЛУЧЕВОЙ ДИФРАКЦИИ

С. Н. Антонов a*, Ю. Г. Резвов b**

a Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН
141190 Фрязино, Московской обл., пл. Введенского, 1, Россия

b Новомосковский институт Российского химико-технологического университета им. Д.И. Менделеева
301665 Новомосковск, Тульской обл., ул. Дружбы, 8, Россия

* E-mail: olga-ant@yandex.ru
** E-mail: rezvovyug@mail.ru

Поступила в редакцию 19.03.2020
После доработки 30.04.2020
Принята к публикации 04.05.2020

Полный текст (PDF)

Аннотация

Рассмотрена многолучевая акустооптическая брэгговская дифракция лазерного излучения – деление исходного луча на несколько независимо управляемых лучей (каналов) без принципиальных потерь световой мощности. Получены практически значимые соотношения, определяющие условия реализации многолучевой дифракции и ее основные параметры. Показано, что необходимым условием является вид управляющего радиосигнала, близкий к частотно(фазово)-модулированному. Экспериментальные исследования проведены на поляризационно-нечувствительном акустооптическом дефлекторе на кристалле парателлурита. Показаны практические применения многолучевой дифракции: лазерное нанесение изображений, многоканальная передача (переключения) оптической информации, формирование профиля лазерного луча.

1. ВВЕДЕНИЕ

Прикладная акустооптика (а.о.) – это управление параметрами оптического излучения ультразвуковыми волнами, распространяющимися в прозрачных средах [18]. Практически значимый оптический диапазон излучения простирается от ультрафиолета до десятков микрометров, акустический – от единиц до сотен мегагерц. Хорошо изучено использование а.о. в анализаторах радиосигналов, приборах спектральной обработки оптических изображений, в оптических процессорах и др. Принципиальными особенностями а.о.-приборов являются: возможность управления интенсивным (десятки и сотни киловатт на квадратный сантиметр) лазерным излучением, высокое быстродействие (до десятков наносекунд), отсутствие механически перемещаемых элементов, малые вносимые световые потери (единицы процентов), небольшие габариты и вес.

Развитие лазерных источников определяет и совершенствование методов управления параметрами излучения: интенсивностью лазерного луча (модуляторы) и его угловым положением (дефлекторы). Акустооптические модуляторы используются для модуляции добротности лазеров, внешней модуляции излучения, а.о.-дефлекторы (а.о.д.) предназначены для сканирования лазерного луча в системах обработки материалов и лазерного вывода изображений.

Основным материалом современных а.о.-приборов является монокристалл парателлурита (TeO2). Кристалл обладает феноменально большой величиной а.о.-качества – М2 = 1000 ⋅ 10–18 с3/г (при дифракции света на медленной сдвиговой акустической моде); широким диапазоном прозрачности, от 0.35 до 5 мкм; высокой лучевой стойкостью; развитой технологией производства больших (со стороной более 20 мм) однородных кристаллов [9]. Теория а.о. на кристалле TeO2 и ряд важных реализаций изучены и описаны весьма полно в работах [1, 2, 1013].

Целью настоящей работы является рассмотрение а.о.-метода деления лазерного луча на несколько независимо управляемых лучей (каналов) без принципиальных потерь световой мощности. В теоретической части работы сообщается о принципах многолучевой а.о.-дифракции и делении луча с ее помощью, в практической – сделан обзор некоторых применений метода.

2. ТЕОРЕТИЧЕСКИЕ ПОЛОЖЕНИЯ ВЫСОКОЭФФЕКТИВНОЙ МНОГОЛУЧЕВОЙ АКУСТООПТИЧЕСКОЙ БРЭГГОВСКОЙ ДИФРАКЦИИ

2.1. Принцип многолучевой дифракции

Фотоупругий эффект (основа а.о.) в большинстве сред при рабочих интенсивностях звуковых волн линеен. Однако мощность дифракционных порядков от входной акустической мощности при дифракции на одночастотном акустическом сигнале зависит нелинейно [6]. В случае многочастотного сигнала, помимо основных дифракционных порядков, соответствующих акустическим частотам, в общем случае появляются интермодуляционные порядки [1418]. Например, если сигнал состоит из частот  f1, f2, f3, то появятся дополнительные интермодуляционные дифракционные порядки, соответствующие комбинационным частотам: 2f1f2, 2f1 + f2 – 2f3 и т.д. Кроме того, мощность каждого из основных порядков нелинейным образом зависит от мощности соответствующей ему компоненты входного сигнала. Таким образом, при эффективности дифракции более 40% дифракционное поле является сложной функцией амплитуд и фаз всех частотных компонент сигнала (рис. 1).

Рис. 1.

Основные kd и интермодуляционные kid дифракционные лучи при подаче многочастотного акустического сигнала U(t).

Исходное излучение k0 под воздействием звукового поля, образованного сигналом U(t), создает световое поле:

– набор основных лучей kd, каждый из которых соответствует генерируемым частотам  f1, …, fn;

– набор интермодуляционных порядков kid в поле основных дифракционных лучей и ki0 вблизи нулевого порядка.

Физический принцип, позволяющий подавлять интермодуляционные эффекты и формировать высокоэффективное многолучевое а.о.-поле, состоит в том, что акустическая волна подвергается угловой (частотной, фазовой) модуляции [19, 20]. В результате исчезают интермодуляционные лучи, и распределение световой мощности по дифрагированным лучам пропорционально распределению мощности по соответствующим частотным компонентам сигнала.

При этом важно соотношение между пространственным периодом модуляции T звука и поперечным размером D светового пучка (рис. 2). Так, если период Т больше фазовой задержки τ, то световое поле на выходе дефлектора состоит из пространственно пересекающихся лучей, если меньше, то из пространственно разделенных лучей.

Рис. 2.

Иллюстрация условия разделения лучей на примере трех радиочастот: аП – пьезопреобразователь, D – апертура светового луча, Vs и T – соответственно скорость и период модуляции звуковой волны, τ – время прохода звуковой волны через световую апертуру; б – угловая картина дифракционного поля: слева – лучи перекрываются с образованием областей интерференции, справа – лучи разделены.

2.2. Синтез акустического сигнала для многолучевой дифракции

Сигнал с угловой модуляцией, сформированный аналоговым методом, очень сложен в аппаратной реализации. Был разработан метод цифрового синтеза сигнала (подобного фазово-модулированному) из конечного набора монохроматических частотных компонент.

Из заданного набора частот можно создать различные по форме сигналы в зависимости от их фаз. Поэтому необходимо подобрать такие фазы составляющих, чтобы результирующий сигнал максимально приблизился к оптимальному фазово-модулированному виду. Методика синтеза таких узкополосных сигналов изложена в [21]. При этом фазы составляющих не являются жестко определенными, а подчиняются связям, число которых меньше числа частот. При расширении полосы частот необходима коррекция сигнала, что позволяет дополнительно увеличить полезную эффективность [22].

Если период сигнала в несколько раз меньше времени пересечения звуком световой апертуры, то угловое расстояние между соседними рабочими лучами в несколько раз больше ширины их углового спектра. Многолучевая картина является практически стационарной, испытывая небольшие периодические биения из-за частичного наложения рабочих лучей. Очевидно, что многолучевую картину заданного вида можно масштабировать в угловом пространстве.

Для этого нужно совместно менять угол расходимости падающего света и период акустического сигнала. Поэтому возможна реализация определенной многолучевой диаграммы направленности с различной шириной спектра акустического сигнала. При смене многолучевой картины возникают переходные искажения. Как показано в [23], искажения минимальны, если в момент изменения акустического сигнала его фаза не меняется.

Рис. 3 иллюстрирует деление на 7 равномощных лучей с суммарной полезной эффективностью 85%.

Рис. 3.

Эквидистантная 7-лучевая диаграмма направленности.

В табл. 1 представлены расчетные параметры, формирующие деление на N = 8 и 9 эквидистантных равномощных лучей (k – номера позиций, занимаемых лучами в эквидистантном угловом наборе, k = 0 – позиция в центре дифрагированной картины) по критерию максимальной суммарной эффективности. Здесь параметр ${{\alpha }_{k}} = v{\text{/}}\pi $ – доля индекса фазовой модуляции $v$ (и управляющего напряжения) от величины, при которой достигается максимальная эффективность дифракции (близкая к 100%) в одночастотном режиме.

Таблица 1.
k αk, φk (N = 8) при ηk = 11% и Σηk = 90% αk, φk (N = 9) при ηk = 11% и Σηk = 97%
–4   0.34, –124°
–3 0.32, 53° 0.32, –70°
–2 0.36, 151° 0.32, 36°
–1 0.33, –45° 0.32, 79°
0 0.29, 0° 0.33, 0°
1 0.29, 0° 0.32, 0°
2 0.33, –45° 0.32, –121°
3 0.36, 151° 0.32, 54°
4 0.32, 53° 0.34, –79°

Примечание. ηk – эффективность дифракции в каждый отдельный луч; Σηk суммарная полезная эффективность.

Реализация наперед заданного набора дифракционных лучей осуществляется исключением из полного набора частот некоторых компонент. Например, исключение из 5-лучевой картины позиций k = –1 и 0 позволяет формировать 3-лучевую картину с однолучевой эффективностью 16% (см. результаты эксперимента ниже). Расчетные параметры для этого случая: α–2 = α1 = α2 = 0.31, φ–2 = = –43°, φ1 = –1°, φ2 = –152°.

Важно, что методика позволяет формировать произвольное высокоэффективное многолучевое поле в пределах всего углового диапазона а.о.-устройства.

3. РЕАЛИЗАЦИЯ МНОГОЛУЧЕВОЙ ДИФРАКЦИИ, РЕЗУЛЬТАТЫ ИЗМЕРЕНИЙ

Схема экспериментальной установки приведена на рис. 4.

Рис. 4.

Схема установки. 1 – одномодовый лазер с длиной волны 1.06 мкм и апертурой 0.6 мм; 2 – а.о.д.; 3 – формирующая оптическая система; 4 – измеритель профиля лазерного луча модели BP104; 5 – усилитель мощности; 6 – компьютер; 7 – осциллограф.

Акустооптический дефлектор выполнен из кристалла ТеО2, длина взаимодействия составляет 6 мм, акустическая и а.о.-полосы – от 20 до 45 МГц [24, 25]. Формировалось пять эквидистантных радиочастот – от 25 до 37 МГц с шагом 3 МГц. Для каждой частотной компоненты управляющего сигнала осуществлялась независимая установка амплитуды и фазы. Измеритель профиля отражал пространственное распределение дифрагированного поля. Сигнал на входе а.о.д. контролировался осциллографом. Рисунок 5 иллюстрирует относительную интенсивность дифракционных лучей (по оси абсцисс отложены абсолютные значения).

Рис. 5.

Экспериментальные зависимости распределения дифракционного поля для случая: а – соотношение фаз между частотами случайное; б – соотношение фаз подобрано для максимальной эффективности пяти лучей; в – соотношение фаз для трех дифрагированных лучей.

Видно, что подбор фаз обеспечивает заданное количество равноинтенсивных лучей при отсутствии “паразитных” и суммарной эффективности, близкой к 100%. Нарушение фазовых соотношений кардинальным образом меняет ситуацию: возникают дополнительные интермодуляционные лучи, а интенсивности основных лучей становятся существенно неравными, и снижается суммарная эффективность. Это иллюстрирует основополагающий для многолучевой а.о.-дифракции факт – чувствительность взаимодействия к фазовым соотношениям внутри управляющего сигнала.

4. ПРИМЕРЫ ИСПОЛЬЗОВАНИЯ МНОГОЛУЧЕВОЙ АКУСТООПТИЧЕСКОЙ ДИФРАКЦИИ

4.1. Система лазерного вывода изображения

Лазерные граверы предназначены для прямого изготовления печатных форм офсетной, высокой или глубокой печати, а также фотоформ гравированием посредством воздействия лазерного излучения большой мощности на фотоматериал. Как правило, используются лазеры с длиной волны 1.06 мкм, с помощью которых удаляется маска в местах формирования печатных элементов. Создание мощных лазеров и повышение чувствительности фотоматериалов обусловливают возможность повышения скорости записи. Многолучевой а.о.д. позволяет создать высокоскоростной лазерный гравер (рис. 6).

Рис. 6.

Схема гравера.

Вращение барабана обеспечивает развертку изображения по координате Y, а перемещение каретки с а.о.д. и коллиматором волоконного лазера – развертку по координате X. Высокая скорость записи обеспечивается одномоментным формированием линейки пикселей ΔX вдоль оси X.

Неполяризованное излучение мощного непрерывного волоконного лазера (мощность до 50 Вт, качество луча М2 < 1.05) направляется на многолучевой а.о.д., состоящий из двух последовательно включенных а.о.д.: первый а.о.д. отклоняет одну поляризационную компоненту света, второй – ортогональную [2628]. Чередование ортогонально поляризованных лучей от каждого а.о.д. обеспечивает:

– отсутствие интерференционных эффектов вблизи соседних пикселей на обрабатываемом материале;

– снижение ограничений, связанных с разрешающей способностью а.о.д., – угловое расстояние между лучами для каждого дефлектора равно трем расходимостям входного света.

Параллельная многоканальная запись изображения существенно повышает производительность гравера.

4.2. Коммутатор-мультиплексор волоконно-оптических каналов

Многолучевой а.о.д. является основой системы коммутатор-мультиплексор волоконно-оптических каналов с алгоритмом переключения каналов 1 × N [2933].

По сравнению с однокоординатной схемой число выходных каналов возрастает в квадрате при использовании двухкоординатного а.о.д. (рис. 7).

Рис. 7.

Схема двухкоординатного переключателя каналов. Л1, Л2 линзы.

Свет выходного световода коллимируется оптикой Л1 и поступает на двухккоординатную систему дефлекторов а.о.д.1 и а.о.д.2, после чего оптикой Л2 фокусируется на выходную матрицу световодов.

Примеры возможных двумерных распределений интенсивности света в плоскости матрицы выходных световодов представлены на рис. 8.

Рис. 8.

Примеры некоторых комбинаций работы переключателя: a – все элементы матрицы “освещены” лазерным излучением равномерно; бг – лазерный свет в равных энергетических пропорциях подается на определенные элементы матрицы. А.о.д.-Y, а.о.д.-X – дефлекторы с отклонением по Y- и X-координатам соответственно. Направляемые на матрицу лучи закрашены.

Варианты мультиплицирования:

a) во все входные каналы матрицы одновременно;

б) в произвольную прямоугольную область матрицы;

в) в любой набор одной строки или одного столбца матрицы;

г) в пересечение набора строк с набором столбцов матрицы.

4.3. Управление энергетическим профилем лазерного излучения

В системах лазерной обработки материалов нормальное (гауссово) угловое распределение интенсивности лазерного излучения не является оптимальным. На рис. 9 представлено нормированное гауссово угловое распределение.

Рис. 9.

Гауссово угловое распределение лазерного света: Θ – нормированные углы, I – относительная интенсивность. Используемая энергетическая угловая часть ΔΘ по уровню I0 = 0.9.

Примем, что энергетический порог воздействия на обрабатываемый материал равен уровню I0 = 0.9, тогда отношение полезно используемой мощности к полной мощности для гауссова луча составляет ≈35%. Для эффективного использования мощности лазера целесообразен свет с профилем, близким к П-образному, а в ряде случаев – и к более сложному.

Промышленность выпускает оптические линзовые системы, трансформирующие исходно гауссов лазерный луч в излучение с неизменяемым профилем, близким к прямоугольному, – шейпер (shaper). Акустооптические методы позволяют быстропеременно модифицировать профиль лазерного луча [34, 35], в том числе и многолучевым методом [36].

Как было указано в разд. 2, отношение периода модуляции T к времени пересечения звуком апертуры света τ определяет степень перекрытия лучей. В данном случае используется режим, когда Т > τ, и соседние лучи перекрываются с образованием единого луча (см. рис. 3 и 2б). Число, соотношения амплитуд и фаз управляющих сигналов определяют форму итогового профиля луча, в частности прямоугольность. Отметим, что термин “единый луч” корректен, если не учитывать интерференцию (биения), возникающую в областях перекрытия лучей; частота биений равна разности частот ближайших электрических сигналов (0.3 МГц в условиях эксперимента). В большинстве практических случаев, связанных с лазерной обработкой материалов, смещение луча “от точки к точке” не превышает десятков миллисекунд. При таком усреднении термин “единый луч” вполне правомерен.

На рис. 10 представлены зависимости относительной интенсивности η лазерного излучения от угловых характеристик света на выходе а.о.д., полученные при измерениях на экспериментальной установке, описанной в разд. 3. Профиль на рис. 10б прямоугольный, а профиль на рис. 10в предпочтителен в системах, когда лазерный нагрев в центре луча чрезмерен, а по периметру недостаточен, например при наплаве металлов в 3D-принтерах.

Рис. 10.

Профиль дифрагированного поля: а – при одной управляющей частоте 41 МГц; б – П-образный профиль при пяти управляющих частотах – центральной 41 МГц и четырех симметрично расположенных боковых ±0.3 и ±0.6 МГц; в – с провалом в центре, полученным изменением соотношения амплитуд сигнала для П-образного профиля.

По результатам можно резюмировать, что эффект многолучевой а.о.-дифракции позволяет формировать распределения лазерного излучения как П-образной, так и другой формы при суммарной эффективности ≥85–90%. Принципиальное достоинство метода – возможность быстрого изменения энергетической формы выходного луча. Быстродействие определяется скоростью звука в а.о.-кристалле и апертурой света и достигает в эксперименте около 10 мкс.

5. ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Теоретически и экспериментально изучен эффект многолучевой акустооптической дифракции – деление лазерного излучения на несколько независимо управляемых лучей (каналов) без принципиальных потерь световой мощности. Показано, что для ее реализации необходимо, чтобы акустический сигнал имел угловую (частотную, фазовую) модуляцию. Разработан алгоритм цифрового синтеза управляющего сигнала, обеспечивающего максимальную суммарную эффективность дифракции. Выполнен расчет необходимых параметров акустического сигнала. Экспериментально изучен данный тип дифракции, подтверждены теоретические положения. Приведены примеры использования а.о.-устройств, реализующих режим многолучевой акустооптической дифракции в системах: лазерный гравер, лазерный маркер, коммутатор-мультиплексор волоконно-оптических каналов, а.о.-формирователь энергетического профиля лазерного излучения.

Список литературы

  1. Warner A.W., White D.L., Bonner W.A. // J. Appl. Phys. 1972. V. 43. P. 4489. https://doi.org/10.1063/1.1660950

  2. Yano T., Kawabuichi M., Fukumoto A., Watanabe A. // Appl. Phys. Lett. 1975. V. 26. P. 689. https://doi.org/10.1063/1.88037

  3. Dixon R.W. // IEEE J. Quant. Electron. 1067. V. 3. P. 85. https://doi.org/10.1109/JQE.1967.1074447

  4. Lean E.G.H., Quate C.F., Shaw H.J. // Appl. Phys. Lett. 1967. V. 10. P. 48. https://doi.org/10.1063/1.1754841

  5. Korpel A. Acousto-optics. N.Y.: Marcel Dekker, 1988.

  6. Магдич Л.Н., Молчанов В.Я. Акустооптические устройства и их применение. М.: Сов. радио, 1978.

  7. Балакший В.И., Парыгин В.Н., Чирков Л.Е. Физические основы акустооптики. М.: Радио и связь, 1985.

  8. Turunen J., Tervonen E., Friberg A.T. // J. Appl. Phys. 1990. V. 67. P. 49. https://doi.org/10.1063/1.345232

  9. Акустические кристаллы. Справочник / Под ред. М.П. Шаскольской. М.: Наука, 1982.

  10. Voloshinov V.B. // Ultrasonics. 1993. V. 31. P. 333. https://doi.org/10.1016/0041-624X(93)90066-9

  11. Kastelik J.C., Pommeray M., Kab A., Gazalet M.G. // Pure Appl. Opt. 1998. V. 7. P. 467. https://doi.org/10.1088/0963-9659/7/3/008

  12. Гуляев Ю.В., Казарян М.А., Мокрушин Ю.М., Шакин О.В. // Квантовая электрон. 2015. Т. 45. № 4. С. 283.

  13. Kastelik J.-C., Dupont S., Yushkov K.B., Gazalet J. // Ultrasonics. 2013. V. 53. P. 219. https://doi.org/10.1016/j.ultras.2012.06.003

  14. Hecht D. // IEEE Trans. Sonics Ultrason. 1977. V. 24. P. 7. https://doi.org/10.1109/T-SU.1977.30905

  15. Gazalet M.G., Carlier S., Picault J.P., Waxin G., Bruneel C. // Appl. Opt. 1985. V. 24. P. 4435. https://doi.org/10.1364/AO.24.004435

  16. Tao Yongchuan, Xu Jieping // J. Opt. Soc. Am. A. 1992. V. 9. P. 2223. https://doi.org/10.1364/JOSAA.9.002223

  17. Gazalet M.G., Kastelik J.C., Bruneel C., Bazzi O., Bridoux E. // Appl. Opt. 1993. V. 32. P. 2455. https://doi.org/10.1364/AO.32.002455

  18. Балакший В.И., Сливиньски А., Толпин К.А. // Оптика и спектроскопия. 1999. Т. 87. Вып. 6. С. 1010.

  19. Антонов С.Н. // ЖТФ. 2005. Т. 75. Вып. 4. С. 122.

  20. Антонов C.Н., Резвов Ю.Г. // Радиотехника и электроника. 2005. Т. 50. № 4. С. 472.

  21. Антонов C.Н., Резвов Ю.Г. // ЖТФ. 2007. Т. 77. Вып. 8. С. 93.

  22. Антонов С.Н., Вайнер А.В., Проклов В.В., Резвов Ю.Г. // ЖТФ. 2008. Т. 78. Вып. 6. С. 79.

  23. Антонов C.Н., Вайнер А.В., Проклов В.В., Резвов Ю.Г. // Радиотехника и электроника. 2008. Т. 53. № 4. С. 478.

  24. Антонов С.Н. // Акустический журнал. 2017. Т. 63. Вып. 4. С. 364. https://doi.org/10.7868/S0320791917030017

  25. Антонов С.Н. // Акустический журнал. 2018. Т. 64. Вып. 4. С. 432.

  26. Антонов С.Н. // ПТЭ. 2019. № 3. С. 89. https://doi.org/10.1134/S0032816219020174

  27. Антонов С.Н. // ЖТФ. 2016. Т. 86. Вып. 1. С. 132.

  28. Антонов С.Н. // ЖТФ. 2016. Т. 86. Вып. 1. С. 136.

  29. Aubin G., Sapriel J., Molchanov V., Gabet R., Grosso P., Gosselin S., Jaouen Y.// Electronics Letters. 2004. V. 40. P. 448. https://doi.org/10.1049/el:20040280

  30. Зайченко К.В., Гуревич Б.С. // Оптический журнал. 2017. Т. 84. Вып. 2. С. 95.

  31. Proklov V.V., Antonov S.N., Vainer A.V., Rezvov Yu.G. // IEEE Ultrasonics Symposium Proc. 2007. P. 825. https://doi.org/10.1109/ULTSYM.2007.211

  32. Antonov S.N., Vainer A.V., Proklov V.V., Rezvov Yu.G. // Applied Optics. 2009. V. 48. C171. https://doi.org/10.1364/AO.48.00C171

  33. Антонов С.Н. // Оптика и спектроскопия. 2018. Т. 125. Вып. 3. С. 383. https://doi.org/10.21883/OS.2018.09.46555.3-18

  34. Akemann W., Leger J.-F., Ventalon C., Mathieu B., Dieudonne S., Bourdieu S. // Opt. Express. 2015. V. 23. P. 28191. https://doi.org/10.1364/OE.23.028191

  35. Grinenko A., MacDonald M.P., Courtney C.R.P., Wilcox P.D., Demore C.E.M., Cochran S., Drinkwater B.W. // Opt. Express. 2015. V. 23. P. 26. https://doi.org/10.1364/OE.23.000026

  36. Антонов С.Н., Филатов А.Л. // ЖТФ. 2018. Т. 87. Вып. 1. С. 93. https://doi.org/10.21883/JTF.2018.01.45489.2266

Дополнительные материалы отсутствуют.