1. На главную
  2. Электронные версии
  3. Радиотехника и электроника
  4. T. 68, № 5, 2023

Радиотехника и электроника, 2023, T. 68, № 5, стр. 470-471

Получение монокристаллических пленок оксида цинка на металлическом подслое

В. А. Лузанов *

Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН
141190 Фрязино, Московской обл., пл. Введенского, 1, Российская Федерация

* E-mail: valery@luzanov.ru

Поступила в редакцию 16.01.2023
После доработки 16.01.2023
Принята к публикации 25.01.2023

Аннотация

Для увеличения эффективности работы устройств на основе пьезоэлектрических преобразователей из оксида цинка предложено использовать монокристаллические слои платины в качестве нижнего электрода. Получены эпитаксиальные монокристаллические пленки оксида цинка на металле. Показано, что данное сочетание слоев позволяет минимизировать рассогласование по параметрам решетки пленки и подложки, что существенно повышает качество полученной пьезоэлектрической пленки.

Список литературы

  1. Лузанов В.А., Алексеев С.Г., Ползикова Н.И. // РЭ. 2018. Т. 63. № 9. С. 1015.

  2. Morales C., Leinen D., del Campo A. et al. // J. Alloys and Compounds. 2021. V. 884. Article No. 161056.

  3. Franklin J.B., Zou B., Petrov P. et al. // J. Material Chemistry. 2021. V. 21. № 22. P. 8178.

  4. Steiger P., Zhang J., Harrabi K. et al. // Thin Solid Films. 2018. V. 645. P. 417.

Дополнительные материалы отсутствуют.

Инструменты

следующая статья выпуска предыдущая статья выпуска содержание выпуска

Радиотехника и электроника

Архивы выпусков Информация о журнале Отправить рукопись в журнал