Известия РАН. Серия физическая, 2023, T. 87, № 1, стр. 84-88
Особенности ультразвуковой визуализации слоистых объектов
Ю. С. Петронюк 1, 2, *, С. А. Титов 2, А. Н. Богаченков 1, В. М. Левин 1, И. Г. Григорьева 3
1 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки “Институт биохимической физики
имени Н.М. Эмануэля Российской академии наук”
Москва, Россия
2 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки “Научно-исследовательский центр
уникального приборостроения Российской академии наук”
Москва, Россия
3 Общество с ограниченной ответственностью “Оптиграф”
Берлин, Германия
* E-mail: jps7@mail.ru
Поступила в редакцию 29.08.2022
После доработки 16.09.2022
Принята к публикации 26.09.2022
- EDN: JSHCMF
- DOI: 10.31857/S0367676522700156
Аннотация
Методами импульсной акустической микроскопии (100–200 МГц) исследованы слои пиролитического графита на стеклянной подложке толщиной (40 мкм), сравнимой с длиной волны зондирующего звука. Проанализирован механизм естественного усиления акустического контраста при визуализации структур такого типа. Интерпретация изображений неоднородной структуры контакта слоя с подложкой подкреплена количественной оценкой акустических импедансов.
Полный текст статьи недоступен в настоящий момент.
Список литературы
Du B., Yang R., He Y., Wang F., Huang S. // Renew Sust. Energy Rev. 2017. V. 78. P. 1117.
Haldren H., Yost W.T., Perey D. et al. // Ultrasonics. 2022. V. 120. Art. No. 106641.
Lemons R.A., Quate C.F. // In: Physical acoustics. London: Academic Press, 1979.
Березина С.И., Лямов В.Е., Солодов И.Ю. // Вестн. МГУ. Сер. физ. и астроном. 1977. Т. 18. № 1. С. 3.
Briggs A. Acoustic microscopy. Oxford, 2010.
Zinin P.V. Handbook of elastic properties of solids, liquids and Gases. Academic Press, 2001.
Закутайлов К.В., Левин В.М., Петронюк Ю.С. // Завод. лаб. и диагн. матер. 2009. Т. 75. № 8. С. 28; Zakutailov K.V., Levin V.M., Petronyuk Y.S. // Inorg. Mater. 2010. V. 46. No. 15. P. 655.
Levin V., Petronyuk Y., Morokov E. et al. // Phys. Stat. Sol. B. 2016. V. 253. P. 1952.
Петронюк Ю.С., Мороков Е.С., Левин В.М. // Изв. РАН. Сер. физ. 2015. Т. 79. № 10. С. 1425; Petronyuk Y.S., Morokov E.S., Levin V.M. // Bull. Russ. Acad. Sci. Phys. 2015. V. 79. P. 1268.
Briggs A., Kolosov O. Acoustic microscopy. Oxford Univ. Press, 2009.
Zinin P.V., Kutuza I.B., Titov S.A. // J. Surf. Invest. X‑Ray. Synchrotron. Neutron. Technol. 2018. V. 12. No. 6. P. 1285.
Ngwa W., Luo W., Kamanyi A. et al. // J. Microscopy. 2005. V. 218. No. 3. P. 208.
Brand S., Vogg, G., Petzold M. // Microsyst. Technol. 2018. V. 24. P. 779.
Петронюк Ю.С., Мороков Е.С., Левин В.М., и др. // Учен. зап. физ. фак-та Моск. ун-та. 2014. № 5. С. 145335.
Chen J., Bai X., Yang K. et al. // Ultrasonics. 2015. V. 56. P. 505.
Титов С.А., Левин В.М., Петронюк Ю.С. // Акуст. журн. 2017. Т. 63. № 6. С. 692; Titov S.A., Levin V.M., Petronyuk Y.S. // Acoust. Phys. 2017. V. 63. No. 6. P. 744.
Yang X., Wang C., Sun A. et al. // Appl. Acoustics. 2020. V. 159. Art. No. 107090.
Ким Е.В., Петронюк Ю.С., Гусейнов Н.А. и др. // Бюлл. экспер. биол. и мед. 2020. Т. 170. № 9. С. 352; Kim E.V., Petronyuk Y.S., Guseynov N.A. et al. // Bull. Exp. Biol. Med. 2021. V. 170. No. 3. P. 356.
Hozumi N., Yoshida S., Kobayashi K. // Ultrasonics. 2019. V. 99. Art. No. 105966.
Petronyuk Y.S., Levin V.M., Titov S.A. // Phys. Procedia. 2015. V. 70. P. 626.
Петронюк Ю.С., Левин В.М. // Кристаллография. 2005. Т. 50. № 4. С. 744; Petronyuk Y.S., Levin V.M. // Crystallogr. Rep. 2005. V. 50. No. 4. P. 690.
Blakslee O.L., Proctor D.G., Seldin E.J. et al. // J. Appl. Phys. 1970. V. 41. No. 8. P. 3389.
Spence G.B., Seldin E.J. // J. Appl. Phys. 1970. V. 41. No. 8. P. 3383.
Levin V.M., Maev R.G., Maslov K.I. et al. Acoustical imaging. V. 19. London: Plenum Press, 1991. P. 651.
Levin V. Acoustical imaging. V. 20. Boston: Springer, 1993. P. 233.
Birks A.S., Green R.E., McIntire P. Ultrasonic testing. Nondestructive testing handbook. The McGraw-Hill Companies, 1991.
Grigorieva I.G., Antonov A.A. // X-Ray Spectrometry. 2003. V. 32. No. 1. P. 64.
Gerlach M., Anklamm L., Antonov A. et al. // J. Appl. Crystallogr. 2015. V. 48. No. 5. P. 1381.
Дополнительные материалы отсутствуют.
Инструменты
Известия РАН. Серия физическая