1. На главную
  2. Электронные версии
  3. Известия РАН. Серия физическая
  4. T. 87, № 6, 2023

Известия РАН. Серия физическая, 2023, T. 87, № 6, стр. 807-812

Создание оптических микроструктур с градиентным показателем преломления методом двухфотонной лазерной литографии

М. Д. Апарин 1, *, Т. Г. Балуян 1, М. И. Шарипова 1, М. А. Сиротин 1, Е. В. Любин 1, И. В. Соболева 1, В. О. Бессонов 1, А. А. Федянин 1

1 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования “Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова”, Физический факультет
Москва, Россия

* E-mail: aparin@nanolab.phys.msu.ru

Поступила в редакцию 05.12.2022
После доработки 23.12.2022
Принята к публикации 27.02.2023

Аннотация

Метод двухфотонной литографии использован для изготовления оптических микроструктур с градиентом показателя преломления. На примере параллелепипедов, при печати которых используются заданные линейное или гауссово пространственные распределения мощности лазерного излучения, показана принципиальная возможность локально изменять показатель преломления на величину до 0.03. Предложенный метод перспективен для создания микрооптических элементов.

Список литературы

  1. Gomez-Reino C., Perez M., Bao C. Gradient-index optics: fundamentals and applications. Springer, 2002. 239 p.

  2. Hwang Y., Phillips N., Dale E.O. et al. // Opt. Express. 2022. V. 30. No. 8. P. 12294.

  3. Gomez-Reino C., Perez M.V., Bao C., Flores-Arias T.M. // Laser Photon. Rev. 2008. V. 2. No. 3. P. 203.

  4. Kundal S., Bhatnagar A., Sharma R. Optical and wireless technologies, Springer, 2022. 443 p.

  5. Pickering M.A., Taylor R.L., Moore D.T. // Appl. Opt. 1986. V. 25. No. 19. P. 3364.

  6. Ohmi S., Sakai H., Asahara Y. et al. // Appl. Opt. 1988. V. 27. No. 3. P. 496.

  7. Sinai P. // Appl. Opt. 1971. V. 10. No. 1. P. 99.

  8. Liu J.H., Yang P.C., Chiu Y.H. // J. Polym. Sci. A. 2006. V. 44. No. 20. P. 5933.

  9. Liu J.H., Chiu Y.H. // Opt. Lett. 2009. V. 34. No. 9. P. 1393.

  10. Mingareev I., Kang M., Truman M. et al. // Opt. Laser Technol. 2020. V. 126. Art. No. 106058.

  11. Dylla-Spears R., Yee T.D., Sasan K. et al. // Sci. Advances. 2020. V. 6. No. 47. Art. No. eabc7429.

  12. Mao M., He J., Li X. et al. // Micromachines. 2017. V. 8. No. 4. P. 113.

  13. Sharipova M.I., Baluyan T.G., Abrashitova K.A. et al. // Opt. Mater. Express. 2021. V. 11. No. 2. P. 371.

  14. Zhou X., Hou Y., Lin J. // AIP Advances. 2005. V. 5. No. 3. Art. No. 030701.

  15. Ocier R.C., Richards C.A., Bacon-Brown D.A. et al. // Light Sci. Appl. 2020. V. 9. Art. No. 196.

  16. Žukauskas A., Matulaitienė I., Paipulas D. et al. // Laser Photon. Rev. 2015. V. 9. No. 6. P. 706.

  17. Pertoldi L., Zega V., Comi C., Osellame R. // J. Appl. Phys. 2020. V. 128. No. 17. Art. No. 175102.

  18. Drexler W., Fujimoto J.G. Optical coherence tomography. Technology and applications. Springer, 2008. 1327 p.

  19. Sirotin M.A., Romodina M.N., Lyubin E.V. et al. // Biomed. Opt. Express. 2022. V. 13. No. 1. P. 14.

  20. Safronov K.R., Gulkin D.N., Antropov I.M. et al. // ACS Nano. 2020. V. 14. No. 8. P. 10428.

  21. Safronov K.R., Bessonov V.O., Akhremenkov D.V. et al. // Laser Photon. Rev. 2022. V. 16. No. 4. Art. No. 2100542.

  22. Giessibl F.J. // Rev. Mod. Phys. 2003. V. 75. No. 3. P. 949.

Дополнительные материалы отсутствуют.

Инструменты

следующая статья выпуска предыдущая статья выпуска содержание выпуска

Известия РАН. Серия физическая

Архивы выпусков Информация о журнале Отправить рукопись в журнал