Журнал прикладной химии, 2019, T. 92, № 10, стр. 1263-1270

Влияние профиля выработки мишени на свойства пленок молибдена

Минкин А.М., Медведева Н.А., Ларионов Д.Д., Кетов А.А., Вайсман Я.И.

DOI: 10.1134/S0044461819100050

Полный текст (PDF) / Полный текст (HTML)

Инструменты

следующая статья выпуска предыдущая статья выпуска содержание выпуска

Журнал прикладной химии

Архивы выпусков Информация о журнале Отправить рукопись в журнал