Химия высоких энергий, 2019, T. 53, № 2, стр. 148-154

Сравнительное изучение газодинамических процессов в аргоно-водородной индуктивно-связанной плазме, содержащей BCl3 и BF3

Л. В. Шабарова a*, А. Д. Плехович a, А. М. Кутьин a, П. Г. Сенников a, Р. А. Корнев a

a Институт химии высокочистых веществ им. Г.Г. Девятых РАН
603950 Нижний Новгород, ул. Тропинина, 49, Россия

* E-mail: shabarova@ihps.nnov.ru

Поступила в редакцию 02.08.2018
После доработки 26.10.2018
Принята к публикации 24.10.2018

Полный текст (PDF)

Аннотация

Разработана методика моделирования газодинамических и тепловых условий в процессе конверсии в ВЧИ-плазмохимическом реакторе. Модель включает в себя турбулентное течение смеси идеальных вязких сжимаемых газов с учетом индуктивного нагрева газа посредством теплопроводности, конвекции и излучения, а также с учетом влияния силы электромагнитного поля на движение плазмы. Образование порошкообразных частиц реализуется в соответствии с результатами термодинамических расчетов, а распределение частиц в потоке описывается механизмом диффузии. Приведены результаты моделирования конверсии летучих хлорида и фторида бора в ВЧИ-плазмотроне с вихревой стабилизацией потока.

Ключевые слова: вычислительный эксперимент, идеальный газ, диффузия, термодинамика, водородное восстановление, высокочастотный индукционный разряд, бор

Высокочистые летучие галогениды бора находят широкое применение в газофазных технологиях получения бора и его соединений. Процессы водородного восстановления галогенидов могут осуществляться как в условиях резистивного нагрева (CVD метод), так и под действием заряженных высокоэнергетических частиц. Их источником может служить синхротронное излучение или плазма (неравновесная и равновесная), поддерживаемая различными типами разряда (метод PECVD). Последний обладает рядом преимуществ особенно в случае восстановления прочных молекул фторида бора.

Целью данной работы было изучение возможности применения термической квазиравновесной аргоно-водородной плазмы, поддерживаемой высокочастотным индукционным разрядом атмосферного давления, для восстановления хлорида и фторида бора. Основная часть работы посвящена анализу эффективности газодинамических и тепловых условий для протекания реакций в плазме, поддерживаемой ВЧИ разрядом в смеси аргона, водорода и летучих фторидов. Учитывая характерные для высоких температур квазиравновесные условия протекания процесса, мы использовали подход, основанный на сочетании результатов термодинамических расчетов для температурных условий плазмохимического синтеза с CFD-моделированием плазмохимического реактора [13]. Совместное использование инструментов вычислительной гидродинамики и данных термодинамических расчетов [4] позволяет предсказать оптимальные режимы работы и конструкцию ВЧИ-плазмотрона, что позволяет минимизировать материальные и временные затраты при планировании экспериментов.

В работе [5] методами вычислительной гидродинамики исследовано течение аргоно-водородной плазмы в ВЧИ-плазмотроне мощностью до 50 кВт с вихревой подачей плазмообразующего газа, определены тепловые и кинетические условия индуктивного нагрева плазмы. В настоящей работе представлена методика моделирования газодинамических, тепловых и термодинамических условий в аналогичном ВЧИ-плазмохимическом реакторе с учетом термодинамически обусловленного состава продуктов превращения газов-реагентов BCl3 и BF3 и целевого продукта – конденсированного бора.

МЕТОДИКА ЧИСЛЕННОГО ЭКСПЕРИМЕНТА

Термодинамическое моделирование многокомпонентной плазмохимической системы выполнено с помощью программного комплекса Chemical Thermodynamics Calculator [6], объединяющего компьютерную реализацию метода Гиббса с его расширением на анализ так называемых условно-равновесных состояний вместе с банком термодинамических функций. В расчетах использован банк данных (БД) ИВТАН ТЕРМО [7]. Отметим, что высокие температуры плазмохимического синтеза бора, в значительной степени снимают кинетические ограничения на достижение равновесного состояния, приближая процесс к квазиравновесному [8].

Моделирование газодинамических процессов проведено для плазмохимического реактора мощностью до 50 кВт с вихревой подачей плазмообразующего газа, представленного на рис. 1. Модель включает в себя плазмотрон I, в котором реализуется формирование и индуктивный нагрев аргоно-водородной плазмы; реакционную камеру II, в которую осуществляется подача газа-носителя (H2) и газа-реагента и происходят реакции водородного восстановления; охлаждаемый канал III, в котором целевой продукт конверсии конденсируется.

Рис. 1.

Схема ВЧИ-плазмохимического реактора: 1 – входные трубки для подачи смеси Ar : Н2 (8 трубок); 2 – выход; 3 – четырехвитковой индуктор; 4 – входные трубки для подачи газа носителя и газа реагента (3 трубки); I – зона индуктивного нагрева плазмы; II – реакционная зона; III – охлаждаемый канал; D = 0.1 м, lI = 0.3 м, lII = 0.4 м, lIII = 4 м.

Моделирование газодинамики плазмохимического реактора целесообразно разбить на два этапа. На первом этапе решается задача течения аргоно-водородной индуктивно-связанной плазмы в зоне плазмотрона I. Соответствующие методика и результаты приведены в работе [5].

На втором этапе решается задача течения плазмообразующей смеси и поступающих из входных трубок 4 газа-носителя и газов-реагентов в зонах II и III (рис. 1). Определенные в результате решения задачи в зоне I поля скоростей и температур плазмы используются при задании граничного условия на границе плазмотрона и реакционной камеры при решении задачи в зонах II и III. Ниже изложена математическая постановка газодинамической и тепловой задачи в зонах II и III (рис. 1) с учетом образования целевого продукта (B) на основании термодинамических расчетов.

Рассматривается задача о гомогенном турбулентном движении вязких сжимаемых идеальных газов с учетом теплообмена за счет теплопроводности и конвекции. На основании [5] и предварительных тестовых расчетов в модели приняты следующие допущения:

– образование конденсированной фазы бора в газодинамической модели определяется термодинамически обусловленной концентрацией в данной ячейке расчетной области газов-реагентов;

– распределение порошкообразных частиц бора в газовой смеси описывается уравнением диффузии.

Задача решается в трехмерной постановке. Расчетная область включает в себя реакционную зону плазмохимического реактора (зона II рис. 1) и охлаждаемый канал (зона III). Течение газов описывается системой уравнений (1)–(3) [9]:

(1)
${\text{div}}({{f}_{i}}{{\rho }_{i}}\bar {V}) - {{S}_{{{\text{reag}}}}} = 0,$
(2)
$\begin{gathered} {\text{div}}\left( {\rho \bar {V} \times \bar {V}} \right) = - {\text{grad}}p + \\ + \,\,{\text{div}}\left( {{{\mu }_{e}}\left( {{\text{grad}}\bar {V} + {{{\left( {{\text{grad}}\bar {V}} \right)}}^{T}} - \frac{2}{3}\delta {\text{div}}\bar {V}} \right)} \right), \\ \end{gathered} $
(3)
${\text{div}}(\rho {{c}_{p}}T \times \bar {V}) = {\text{div}}({{\lambda }_{e}}\nabla T) + \frac{{\partial p}}{{\partial t}}.$

В (1)–(3) индекс i = 1 соответствует аргоно-водородной плазмообразующей смеси, i = 2 – газу-носителю H2; i = 3 – газу-реагенту; fi, ρi, μi, λi – объемная доля, плотность, динамическая вязкость и теплопроводность соответствующей среды ($\sum\nolimits_{i = 1}^3 {{{f}_{i}}} = 1;$ $\rho = \sum\nolimits_{i = 1}^3 {{{f}_{i}}{{\rho }_{i}}} $); V – скорость; p – давление, ${{c}_{p}}$ – удельная теплоемкость при постоянном давлении (${{c}_{p}} = \sum\nolimits_{i = 1}^3 {{{f}_{i}}{{c}_{{pi}}}} $), Т – температура, ${{\mu }_{e}},{{\lambda }_{e}},$ $\mu ,\lambda ,$ ${{\mu }_{t}},{{\lambda }_{t}}$ – соответственно эффективные, ламинарные и турбулентные вязкость и теплопроводность (${{\mu }_{e}} = \mu + {{\mu }_{t}},$ ${{\lambda }_{e}} = \lambda + {{\lambda }_{t}},$ $\mu = \sum\nolimits_{i = 1}^3 {{{f}_{i}}{{\mu }_{i}}} ,$ $\lambda = \sum\nolimits_{i = 1}^3 {{{f}_{i}}{{\lambda }_{i}}} $), Sreag – массовый источниковый член (сток) газа-реагента в единице объема. Система уравнений (1)–(3) замыкается транспортной SST моделью турбулентности Ментера.

Распределение бора описывается уравнением диффузии (4):

(4)
${\text{div}}(\rho \bar {V}c) = {\text{div}}\left( {\sum\limits_{i = 1}^4 {{{\rho }_{i}}{{D}_{i}}} {\text{grad}}c} \right) + {{S}_{{{\text{reag}}}}},$
где с и Di – массовая концентрация и коэффициент диффузии в соответствующей среде порошкообразных частиц бора.

Величина Sreag определяется в соответствии с результатами термодинамических расчетов квазиравновесной плазмы:

(5)
${{S}_{{{\text{reag}}}}} = {{c}_{{M*}}}(T){{f}_{3}}{{\rho }_{3}}{{M{\text{*}}} \mathord{\left/ {\vphantom {{M{\text{*}}} {{{M}_{3}}}}} \right. \kern-0em} {{{M}_{3}}}},$
где ${{c}_{{M*}}}(T)$ – изменение мольной концентрации бора в единицу времени; M*, M3 – молярные массы соответственно бора и газа-реагента.

Коэффициенты диффузии порошкообразных частиц B в расплавах оцениваются по формуле Стокса–Энштейна [10]: ${{D}_{i}} = \frac{{kT}}{{6\pi {{\mu }_{i}}R}},$ где R – радиус частицы.

Система уравнений (1)–(3) дополняется граничными условиями, соответствующими экспериментальным условиям процесса конверсии в плазмохимическом реакторе (рис. 1). На входы трубок 4 подается смесь H2 и газа-реагента комнатной температуры с заданным расходом и соотношением компонентов. На входную границу, отделяющую зоны плазмотрона I и реакционной камеры II, подается аргоно-водородная смесь с полями скоростей и температур, определенными из решения задачи в зоне плазмотрона I [6]. На выходе 2 задается нулевое избыточное давление. На всех твердых стенках ставится условие прилипания, в зоне реакционной камеры II температура боковой стенки составляет 1450 К, в зоне охлаждаемого канала III – 573 К, стенки трубок 4 – адиабатические. Граничными условиями уравнения (4) являются нулевая концентрация с на входных границах и отсутствие потока через твердые стенки расчетной области.

Значения вязкости, удельной теплоемкости и теплопроводности плазмообразующего газа и H2 задаются функциями температуры [11, 12]. Для исследованных газов-реагентов (BCl3, BF3) удельная теплоемкость определялась с использованием базы данных NIST, вязкость и теплопроводность рассчитывались по формулам, приведенным в [13].

ОБСУЖДЕНИЕ РЕЗУЛЬТАТОВ

Для отработки и тестирования математической модели использованы данные о восстановлении B из BCl3 в исследуемом плазмохимическом реакторе. Расходы газов на входе в реактор соответствовали экспериментальным и составляли соответственно: 150 : 30 л/мин для плазмообразующей смеси Ar : Н2; 2 м3/ч для газа-носителя H2; 200 л/ч для BCl3. В физических экспериментах при указанных расходах и энерговыделении в плазме 38 кВт производительность при образовании конденсированной порошкообразной фазы бора составляет 60 г/час, степень конверсии BCl3 в B составляет 70%.

Предложенная модель использована при исследовании конверсии BF3 в B. Рассматривался состав газовой смеси BF3 + H2 в молярном соотношении 1 : 19 (в соответствии с подачей тестовой смеси BCl3 + H2). Геометрия плазмохимического реактора, энерговыделение в плазме и объемные расходы газов соответствовали тестовой модели конверсии BCl3.

На рис. 2 приведены термодинамически рассчитанные зависимости количества вещества основных продуктов реакции от температуры при соответствующих расходах газов и в соответствующем задаче температурном диапазоне.

Рис. 2.

Температурная зависимость состава продуктов превращения при давлении 1 атм для смесей (а) 1BCl3 + 19H2 + + 45Ar; (б) 1BF3 + 19H2 + 45Ar.

Проведены предварительные расчеты газодинамики плазмохимического реактора по модели (1)–(3) без учета образования и движения бора (${{S}_{{{\text{reag}}}}} = 0$) для соответствующих экспериментальным условий подачи BCl3. Некоторые результаты моделирования приведены на рис. 3. Отсутствие геометрической симметрии при вводе смеси H2 и BCl3 приводит к нарушению осевой симметрии температурного поля (рис. 3а). Поступающие из трубок 4 (рис. 1) газы вовлекаются в общий вихревой поток (рис. 3б), что приводит к спиральному характеру распределения BCl3 в объеме реактора (рис. 3в).

Рис. 3.

(а) Поле температур в осевом сечении реактора; (б) изоповерхность Т = 4000 К и линии тока в верхней части реактора; (в) распределение объемной доли BCl3 в осевом сечении.

Ввиду малости концентрации BCl3 в реакторе, его вклад в общую газодинамику процесса и в аддитивные свойства сплошной среды мал по сравнению с плазмообразующим газом и газом-носителем. Поэтому в газодинамической модели при конверсии BCl3 из всех продуктов реакции, полученных по результатам термодинамического расчета, учитывались только газообразный бор и его конденсированная форма. Общее изменение молярной концентрации B при расчете массового источника Sreag составляет:

(6)
${{c}_{{M*}}} = {{c}_{{{\text{MBcond}}}}}(T) + {{c}_{{{\text{MBg}}}}}(T) + {{c}_{{{\text{MBg}} + }}}(T),$
где ${{c}_{{{\text{MBcond}}}}}(T),$ ${{c}_{{{\text{Bg}}}}}(T),$ ${{c}_{{{\text{Bg}} + }}}(T)$ – изменения молярных концентрации соответственно конденсированной, газообразной и ионизированной форм бора.

Радиус порошкообразных частиц B в физических экспериментах составляет около 100 нм. Такие частицы относят обычно к классу высокодисперсных коллоидных частиц и их движение в газообразной среде носит броуновский характер, для которого справедливо диффузионное представление (4).

Диссоциация молекулярного водорода в атомарную форму при температурах выше 3000 К (рис. 2) в газодинамической модели не учитывалось, ввиду малости объема части расчетной области, температура в которой превышает 3000 К (<7% от всего объема). Образование целевого порошкообразного бора происходит согласно температурной зависимости концентрации (6), а его последующее диффузионное движение учитывается уравнениями модели (1)–(5). На рис. 4 приведены массовые концентрации B в объеме реактора и на выходной границе для R = 100 нм.

Рис. 4.

Распределение массовой концентрации B при его восстановлении из BCl3 (а) в осевом сечении реактора – слева направо, в верхней, средней и нижней частях, соответственно; (б) на выходе реактора.

Производительность, полученная по результатам вычислительного эксперимента, составляет 70.5 г/ч. Проведены расчеты с варьированием радиуса частиц от R = 50 нм до R = 200 нм, расчетная производительность при этом изменялась в пределах 67.5–70.5 г/ч. Отклонение расчетной производительности от реально наблюдаемой в физических экспериментах (60 г/ч) не превышает 20%. Полученная точность расчетов достаточна для использования разработанной методики в качестве инструмента анализа основных механизмов реакций и газодинамики реактора и для предварительной оценки производительности различных конструкций плазмохимического реактора для водородного восстановления фторидов.

Расчеты по модели (1)–(5) проведенные для конверсии BF3 в B в целом показывают, что газодинамические и тепловые условия в плазмохимическом реакторе при конверсии BF3 аналогичны условиям для конверсии BCl3 (рис. 3).

На рис. 5 приведено распределение бора в реакторе при подаче смеси BF3 + H2 для R = 100 нм. Производительность при конверсии BF3 в B составляет менее 1 г/ч при степени конверсии менее 1%.

Рис. 5.

Распределение массовой концентрации B при его восстановлении из BF3 (а) в осевом сечении реактора – слева направо, в верхней, средней и нижней частях, соответственно; (б) на выходе реактора.

Результаты расчетов для исследованной конструкции плазмохимического реактора свидетельствуют о незначительной конверсии BF3 в B. Для повышения производительности необходимо изменение конструкции плазмотрона с целью обеспечения доставки летучего фторида в высокотемпературную область (>5000 K). Предложенная математическая модель будет полезна при проектировании новой конструкции плазмохимического реактора.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Предложена методика моделирования газодинамических и тепловых условий получения материалов в ВЧИ-плазмохимическом реакторе с вихревой подачей газа, основанная на сочетании термодинамических расчетов квазиравновесной плазмы [8] с моделированием конструкции реактора методами вычислительной гидродинамики.

Проведена валидация разработанной методики на плазмохимическом реакторе для конверсии BCl3 в B. Отклонение расчетной производительности от экспериментальной не превышает 20%.

Проведены термодинамические расчеты и вычислительные эксперименты для процесса водородного восстановления BF3 для исследуемой конструкции реактора. На основании расчетов получены значения прогнозируемой производительности при конверсии бора из его летучего фторида. В дальнейшем планируется использование разработанной методики моделирования при проектировании конструкции плазмотрона для повышения производительности процесса водородного восстановления летучих фторидов.

Работа выполнялась при финансовой поддержке гранта РНФ № 17-13-01027.

Список литературы

  1. Гришин Ю.М., Мяо Л. // Наука и Образование. МГТУ им. Н.Э. Баумана. Электрон. журн. 2016. № 05. С. 104.

  2. Rehmet C., Cao T., Cheng Y.// Plasma Sources Science and Technology. 2016. V. 25. № 2. 025011.

  3. Ivanov D.V., Zverev S.G. // IEEE Transactions on Plasma Science. 2017. V. 45. № 12. P. 3125.

  4. Reinisch G., Leyssale J.-M., Bertrand N., Chollon G., Langlais F., Vignoles G. // Surface & Coatings Technology. 2008. V. 203. P. 643.

  5. Шабарова Л.В., Корнев Р.А., Сенников П.Г. // Химия высоких энергий. 2018. Т. 52. № 5. С. 409.

  6. Кутьин А.М. Термодинамические модели многокомпонентных гетерофазных систем и получение материалов из элементоорганических соединений: Диссертация доктора химических наук: 02.00.04. Н. Новгород, 2001. С. 227.

  7. Иориш В.С., Белов Г.В., Юнгман В.С. // Программный комплекс ИВТАН ТЕРМО для Windows и его использование в прикладном термодинамическом анализе// Москва, Препринт ОИВТАН № 8. 1998. С. 415.

  8. Энциклопедия низкотемпературной плазмы / Гл. ред. Серии Фортов В.Е., кн. 1: Низкотемпературная плазма. Основные понятия, свойства и закономерности // М.: Наука, 2000. С. 586.

  9. Андерсон Д., Таннехил Дж., Плетчер Р. Вычислительная гидромеханика и теплообмен: В 2-х т. Пер. с англ. М.: Мир, 1990. С. 384.

  10. Воробьев А.Х. Диффузионные задачи в химической кинетике. М: Издательство Московского университета, 2003. С. 98.

  11. Murphy A.B. // Plasma Chemistry and Plasma Processing. 2000. V. 20. № 3. P. 279.

  12. Гамбург Д.Ю. Водород. Свойства, получение, хранение, транспортирование, применение. М.: Химия, 1989. С. 672.

  13. Бретшнайдер С. Свойства газов и жидкостей. М.−Л.: Химия, 1966. 536 с.

Дополнительные материалы отсутствуют.