Физикохимия поверхности и защита материалов, 2021, T. 57, № 2, стр. 180-187
Флип-флоп эффект на пленках анодированного оксида алюминия
В. В. Шелковников 1, *, Н. В. Васильева 1, С. В. Коротаев 1
1 ФБГУН Новосибирский институт органической химии им. Н.Н. Ворожцова СО РАН
630090 Новосибирск, просп. Академика Лаврентьева, 9, Россия
* E-mail: vice@nioch.nsc.ru
Поступила в редакцию 11.08.2020
После доработки 18.08.2020
Принята к публикации 25.08.2020
Аннотация
Обнаружен Флип-Флоп эффект при анодировании оксида алюминия и последующем электрохимическом осаждении частиц Co/Ni. Измерены угловые зависимости спектров отражения металлизированных пленок анодированного оксида алюминия. Используя условия интерференции света в тонкой пленке, по снятым спектрам интерференционного отражения рассчитаны значения эффективного показателя преломления и толщины пленок от времени анодирования. На основе спектральных сдвигов и значений спектральных изменений в цветовых координатах системы CIE L*a*b* проведена количественная оценка Флип-Флоп эффекта. Показано, что эффективность Флип-Флоп эффекта зависит от природы кислоты (серной, фосфорной, хромовой) раствора анодирования. Показано, что наибольший Флип-Флоп эффект достигается при двойном анодировании в хромовой и фосфорной кислотах.
ВВЕДЕНИЕ
Электрохимическое анодирование алюминия – технологический процесс формирования прочного покрытия с варьируемым набором функциональных свойств. Анодированный оксид алюминия (АОА) способен окрашиваться в различные тона и цвета, как в ходе самого процесса анодирования, так и после него за счет явления интерференции света в тонкой пленке АОА. Интерференционное окрашивание алюминия происходит при электрохимическом осаждении металла в поры АОА определенной толщины [1–4]. При этом следует различать два явления. Электрохимически осажденные наночастицы меди или благородных металлов серебра и золота имеют аномальную дисперсию показателя преломления в области плазмонного резонанса, что может обуславливать появление максимумов в спектрах поглощения и отражения. Получению и исследованию свойств электрохимически осажденных наночастиц металла в АОА посвящен ряд работ [5–9]. Оптические свойства наночастиц благородных металлов в порах АОА в области плазмонного резонанса описаны в [10, 11]. Появление интерференционной окраски при отражении света от тонких слоев металлов на АОА проявляется вне области плазмонного резонанса наночастиц и характерно не только для благородных металлов, но и для металлов, вообще не имеющих плазмонного резонанса в видимой области, Ni/Co в нашем случае.
Ранее был обнаружен эффект усиления интерференционного окрашивания АОА при двойном электрохимическом и химическом осаждении металлических наночастиц в поры АОА [12]. Вследствие интерференционной природы появления спектрально селективных провалов в спектрах отражения металлизированных пленок АОА следует ожидать проявления угловой зависимости изменения цвета пленок. Формирование различного цвета изображения или элемента при изменении углового поля зрения называется Флип-Флоп эффектом. Флип-Флоп эффект в металлизированных пленках имеет важное значение для создания оптических защитных от подделки и фальсификаций элементов с необычными цветовыми эффектами. Например, для получения Флип-Флоп эффекта специально создаются одномерные и двумерные плазмонные дифракционные решетки как защитные элементы, встраиваемые в дизайн защитной марки [13].
При исследовании интерференционного окрашивания в образцах АОА, анодированных в определенных условиях в фосфорной, хромовой и серной кислотах при электрохимическом осаждении неблагородных металлов Ni/Со, нами обнаружен визуальный Флип-Флоп эффект, т.е. зависимость цвета слоя от угла наблюдения. Пластинки алюминия меняли цвет от пурпурного до зеленого в зависимости от угла падения света. Подобный эффект был получен в [14] при электрохимическом осаждении частиц серебра и золота на анодированную пленку оксида алюминия в щавелевой кислоте.
Актуальным является выявление условий процесса анодирования алюминия и характеристик анодного слоя, влияющих на возникновение Флип-Флоп эффекта в АОА.
Целью данной работы явилось выявление условий анодирования алюминия, влияющих на спектральные характеристики интерференционного отражения металлизированных пленок АОА и способствующих усилению Флип-Флоп эффекта.
МЕТОДИКА ЭКСПЕРИМЕНТА
Для анодирования были взяты алюминиевые пластины толщиной 0.3 мм марки “ос. ч.” 99.95% AL, размером 20 × 50 мм2.
Условия анодирования
Анодирование образцов осуществляли при температуре 20°С в: 2% растворе серной кислоты; 10% растворе ортофосфорной кислоты; 5% растворе хромовой кислоты при 293 K, Uпост = 12 В и плотности тока 2 А/дм2. В зависимости от электролита время анодирования варьировали от 2 до 75 мин. Отметим, что для фиксирования роста анодной пленки при малых толщинах для анодирования использовался разбавленный раствор серной кислоты по сравнению со стандартными условиями анодирования (10–20% для серной кислоты).
Осаждение металлических частиц
Осаждение частиц никеля производили электрохимически током переменной полярности I = 25 А; U = 8–12 В. Состав электролита: сульфат никеля (50 г/л), сульфат кобальта (50 г/л), кислота борная (40 г/л), вода.
Измерения спектров отражения пленок в диапазоне длин волн 270–735 нм проводили спектрометром Avantes AvaSpec-1024 с разрешением 0.4 нм. Спектры интерференционного отражения (СИО) измеряли при разных углах падения света в диапазоне от 0° до 80°. Схема установки приведена на рис. 1.
РЕЗУЛЬТАТЫ И ОБСУЖДЕНИЕ
Непосредственно после анодирования алюминиевая пластинка не имеет окраски. Интерференционная окраска появляется после электрохимического осаждения наночастиц металлов, Co/Ni на АОА. Длительность осаждения металла составляла порядка 30–60 с до формирования визуально наблюдаемого Флип-Флоп эффекта. Увеличение времени осаждения металла приводит к увеличению поглощения металлической фазы и исчезновению интерференционной картины с переходом в монохромный темный цвет. Вследствие осаждения металла на поверхности АОА интерференция между отраженным от алюминиевой подложки и падающим светом в анодированном слое усиливается. Спектр интерференционного отражения (СИО) зависит от угла измерения θ. Типичные зависимости СИО(θ) приведены на рис. 2. Как видно из приведенных рисунков, характер СИО и степень их смещения при изменении угла отражения зависит от времени анодирования и природы кислоты, в которой происходит анодирование. При анодировании возможно изменение двух параметров пленки, влияющих на СИО: толщины и показателя преломления. Толщину и показатель преломления пленки рассчитывали, используя условие интерференции в тонких пленках (1), (2) [14] по измеренной угловой зависимости спектров интерференционного отражения,
(2)
${{\sin }^{2}}\theta = ~\,\,{{n}^{2}} - \,\,~\frac{{{{m}^{2}}{{{{\lambda }}}^{2}}}}{{4{{d}^{2}}}},$Представляя (2) в виде:
где y = sin2θ; x = λ2,получаем линейную зависимость, удобную для аппроксимации экспериментальных значений. Типичный результат аппроксимации методом наименьших квадратов (МНК) угловой дисперсии интерференционного минимума в координатах (λ2–sin2θ) для вычисления значений n и d представлен на рис. 3.
Измеренные значения n и d для разного времени анодирования алюминия в кислотах H2SO4, H3PO4, H2CrO4 представлены на рис. 4а–4в.
Как видно из рисунков, во всех случаях наблюдается последовательный рост толщины пленки АОА с разными скоростями. Для наших условий анодирования в 2% H2SO4 и 10% H3PO4 скорости роста анодной пленки примерно одинаковы: 38 и 36 нм/мин. Минимальная скорость роста наблюдается в H2CrO4 – 9 нм/мин.
Начальное значение показателя преломления при формировании анодного слоя толщиной 0.2–0.4 мкм наибольшее в серной кислоте n ≈ 1.8; в хромовой кислоте n ≈ 1.62 и наименьшее значение в фосфорной кислоте n ≈ 1.3. В серной кислоте в начале анодирования формируется плотный барьерный слой окисла с высоким показателем преломления. Постепенно, по мере увеличения толщины пленки и появления пор, показатель преломления падает и при толщине порядка 1 мкм приближается к известному значению для анодированного в серной кислоте алюминия n ≈ 1.6 [14]. Тенденция к уменьшению n по мере увеличения толщины пленки и развития порообразования проявляется при анодировании во всех исследованных кислотах. Наименьшие изменения n наблюдаются для H2CrO4. Следует отметить, что спектры отражения образцов, анодированных в H2CrO4 менее 45 мин, не имели четко выраженных интерференционных максимумов и минимумов.
Для теоретической оценки изменения длины волны интерференционного пика как характеристики Флип-Флоп эффекта от параметров n и d для разных углов наблюдения использовали производную угловой зависимости спектрального сдвига. Максимальные спектральные сдвиги СИО следует ожидать в области максимума производной $\frac{{\partial \lambda }}{{\partial \theta }}$, выражение (3) (для m = 1).
(3)
$\begin{gathered} \frac{{\partial \lambda }}{{\partial \theta }} = \frac{{\partial \sqrt {4{{d}^{2}}\left( {{{n}^{2}} - {{{\sin }}^{2}}\left( \theta \right)} \right)} }}{{\partial \theta }} = \\ = \frac{{2{{d}^{2}}\cos \left( \theta \right)\sin \left( \theta \right)}}{{\sqrt {{{d}^{2}}\left( {{{n}^{2}} - {{{\sin }}^{2}}\left( \theta \right)} \right)} }} = \frac{{d\sin \left( {2\theta } \right)}}{{\sqrt {\left( {{{n}^{2}} - {{{\sin }}^{2}}\left( \theta \right)} \right)} }}. \\ \end{gathered} $График этой функции для значений n = 1.3; 1.5; 1.7 и d = 300 нм приведен на рис. 5.
Из графика видно, что максимум функции для актуальных значений показателя преломления находится в окрестности 50° и заведомо попадает при уровне 0.9 в диапазон углов 60° и 43°, выбранный для оценки спектрального сдвига. Поэтому, с практической точки зрения, для оценки величины сдвига достаточно измерить значения разницы длин волн (Δλ) при углах наблюдения 60° и 43°. В табл. 1 приведены значения Δλ(43, 60) при анодировании алюминия в ваннах трех использованных кислот.
Таблица 1.
Условия анодирования образца АОА | Δλ(43, 60) | FF(0–65) | ΔЕ(43–60) |
---|---|---|---|
H2SO4 (4.5 мин) | 29 | 0.39 | 18.3 |
H2SO4 (8 мин) | 21 | 0.49 | 17.7 |
H2SO4 (15 мин) | 30 | 0.43 | 16.6 |
H2SO4 (25 мин) | 42 | 0.11 | 19.6 |
H2CrO4 (45 мин) | 23 | 0.44 | 17.5 |
H2CrO4 (60 мин) | 39 | 0.12 | 20.2 |
H3PO4 (10 мин) | 51 | 0.58 | 29 |
H3PO4 (15 мин) | 66 | 0.85 | 41.2 |
H3PO4 (20 мин) | 70 | 0.49 | 42.3 |
H2CrO4 (11 мин)–H3PO4 (13 мин) | 56 | 0.86 | 33.2 |
H2CrO4 (11 мин)–H3PO4 (15 мин) | 73 | 0.61 | 16.7 |
H2CrO4 (14 мин)–H3PO4 (12 мин) | 74 | 0.54 | 55.7 |
H2CrO4 (14 мин)–H3PO4 (14 мин) | 60 | 0.57 | 39 |
H2CrO4 (14 мин)–H3PO4 (16 мин) | 64 | 0.89 | 40 |
H2CrO4 (14 мин)–H3PO4 (18 мин) | 76 | 0.89 | 39.2 |
H2CrO4 (17 мин)–H3PO4 (15 мин) | 50 | 0.78 | 34.3 |
H2CrO4 (17 мин)–H3PO4 (17 мин) | 61 | 1 | 41.2 |
H2CrO4 (17 мин)–H3PO4 (19 мин) | 66 | 0.62 | 37.7 |
H2CrO4 (17 мин)–H3PO4 (22 мин) | 54 | 0.79 | 26.4 |
H2CrO4 (17 мин)–H3PO4 (25 мин) | 89 | 0.49 | 68.6 |
H2CrO4 (20 мин)–H3PO4 (12 мин) | 54 | 0.71 | 21.2 |
H2CrO4 (20 мин)–H3PO4 (15 мин) | 66 | 0.92 | 37.9 |
H2CrO4 (20 мин)–H3PO4 (20 мин) | 59 | 0.61 | 23.9 |
H2CrO4 (20 мин)–H3PO4 (23 мин) | 61 | 0.49 | 32.1 |
H2CrO4 (20 мин)–H3PO4 (26 мин) | 74 | 0.37 | 52.3 |
H2CrO4 (20 мин)–H3PO4 (29 мин) | 75 | 0.25 | 32.3 |
H2CrO4 (25 мин)–H3PO4 (16 мин) | 63 | 0.85 | 40.2 |
H2CrO4 (25 мин)–H3PO4 (19 мин) | 71 | 0.61 | 59.7 |
H2CrO4 (25 мин)–H3PO4 (22 мин) | 106 | 0.41 | 35.9 |
H2CrO4 (25мин)–H3PO4 (25 мин) | 59 | 0.53 | 56 |
H2CrO4 (25 мин)–H3PO4 (31 мин) | 91 | 0.44 | 35.8 |
H2CrO4 (25 мин)–H3PO4 (35 мин) | 85 | 0.36 | 26.2 |
Из анализа выражения (3) следует, что максимальное изменение длины волны при изменении угла наблюдения возрастает с ростом толщины и уменьшением показателя преломления слоя. Однако, при толщине анодного слоя более 600 нм количество интерференционных пиков СИО возрастает до 4-х и более, что затрудняет визуальное наблюдение однозначного цветового перехода. Кроме того, при увеличении толщины анодного слоя растет светорассеяние и интерференционный контраст падает. Поэтому, получение пленок АОА толщиной более 1 микрона затрудняет визуальное восприятие Флип-Флоп эффекта.
Возможность понижения показателя преломления АОА связана с увеличением объема пор, заполняемых воздухом, и зависит от природы кислоты, выбранной для анодирования. Как видно из рис. 4, минимальный полученный показатель преломления пористой пленки АОА равен n = 1.3 при анодировании в фосфорной кислоте, для которой характерен процесс растравливания пор [15, 16].
Оценку объемной доли пор Р для АОА (n12 = 1.3), заполненных воздухом, осуществили, используя уравнение Лоренц–Лорентца и аддитивного вклада объемных рефракций композиционного материала, состоящего из двух фракций, по формуле (4).
(4)
$\frac{{n_{{12}}^{2} - 1}}{{n_{{12}}^{2} + 2}} = \frac{{n_{1}^{2} - 1}}{{n_{1}^{2} + 2}}P + \frac{{n_{2}^{2} - 1}}{{n_{2}^{2} + 2}}\left( {1 - P} \right).$При n1 = 1 (воздух) и n2 = 1.63 (оксид алюминия), исходя из данного соотношения, получим объемную фракцию пор Р = 50%. Уменьшение показателя преломления в АОА менее 1.3 возможно при высокой пористости анодной пленки Р ≥ 50%. Однако, при пористости на уровне 70% и выше нарушается устойчивая связность структурных элементов пористого тела [17]. Таким образом, значение n12 = 1.3 АОА для пористости 50% при формировании АОА в фосфорной кислоте практически приводит к максимальному проявлению Флип-Флоп эффекта при одинарном анодировании.
В [14] в качестве количественной характеристики Флип-Флоп эффекта использовали величину FF, рассчитанную в цветовых координатах a* и b* цветового пространства системы CIE L*a*b* для углов 0°–60°, формула (5).
(5)
$FF = \frac{{\sqrt {{{{(a_{{60}}^{*} - a_{0}^{*})}}^{2}} - {{{(b_{{60}}^{*} - b_{0}^{*})}}^{2}}} }}{{60^\circ }}.$Для сопоставления с данными [14] величина FF была рассчитана аналогично для пленок, анодированных в разных кислотах с последующим осаждением наночастиц Co/Ni, табл. 1.
Также для количественной оценки эффекта, помимо изменения Δλ(43, 60) и значений параметра FF, были рассчитаны значения цветовых различий ΔЕ (см. выражение (6)) в диапазоне углов 43 и 60о в цветовом пространстве CIE L*a*b*. В отличие от параметров Δλ(43, 60) или FF, величина цветового различия ΔЕ(43–60), кроме спектрального сдвига, учитывает яркость цвета [18], что является важной дополнительной характеристикой Флип-Флоп эффекта.
(6)
$\Delta E_{{ab}}^{*} = \sqrt {{{{(\Delta L*)}}^{2}} + {{{(\Delta a*)}}^{2}} + {{{(\Delta b*)}}^{2}}} ,$Как видно из табл. 1, действительно, максимальные цветовые сдвиги Δλ(43, 60) при интерференционном Флип-Флоп эффекте наблюдали для образцов алюминия, анодированных в фосфорной кислоте. Однако, было выявлено, что применение анодирования последовательно в двух разных кислотах (хромовой и фосфорной) позволяет дополнительно увеличить спектральные сдвиги. Этот эффект был исследован при варьировании как времени обработки АОА в хромовой, так и фосфорной кислоте Последовательное анодирование в хромофой и фосфорной кислотах приводит к увеличению значения Δλ(43,60). Однако, при обратной последовательности анодирования, сначала в фосфорной, затем в хромовой кислотах, эффект не проявляется, и при углах менее 70° интерференционная картина практически не наблюдается. Также увеличение спектрального сдвига не проявляется при двойном анодировании в серной и фосфорной кислотах.
Максимальное значение FF, достигнутое в [14], составило: 0.63 (для наночастиц серебра) и 0.41 (для наночастиц золота), осажденных на АОА, анодированном в щавелевой кислоте. Значения FF, представленные в табл. 1 для образцов АОА с наночастицами Co/Ni, находятся на уровне значений для образов АОА с наночастицами благородных металлов, обладающими плазмонным резонансом, а для некоторых образцов их превышают. Полагаем, что для проявления Флип-Флоп эффекта с большими спектральными сдвигами осаждение металлических наночастиц играет вспомогательную роль. Определяющую роль играет процесс анодирования. Например, значение FF для образцов двойного анодирования и осаждении металлов Co/Ni в некоторых случаях достигает значений 0.9–1, что превышает эти значения при осаждении благородных металлов.
Видно, что на значения ΔЕ(43–60) и Δλ(43, 60), рассчитанные для Флип-Флоп эффекта, влияет время анодирования. В среднем, по мере увеличения времени анодирования в фосфорной кислоте параметры ΔЕ(43–60) и Δλ(43, 60) нарастают. Однако, явной зависимости этих значений от времени анодирования не наблюдается. Невыясненные факторы процесса анодирования влияют на разброс количественной оценки Флип-Флоп эффекта, хотя, в целом, из сопоставления параметров ΔЕ(43–60) и Δλ(43, 60) очевидно, что двойное анодирование увеличивает спектральный сдвиг и яркость цветового перехода по сравнению с одинарным анодированием. Высокие значения Δλ = = 90–105 нм могут использоваться при изготовлении сенсоров на основе АОА [21], а образцы с высокими значениями ΔЕ могут быть интересны в области дизайна.
Дополнительную картину цветовых переходов дает цветовая диаграмма, построенная в координатах a*, b* системы CIE L*a*b*, представленная на рис. 6, на которой также наблюдается увеличение цветовых изменений при двойном анодировании.
Влияние двойного анодирования на повышение эффективности Флип-Флоп эффекта, на наш взгляд, можно объяснить следующими особенностями формирования слоев АОА. Анодирование в хромовой кислоте приводит к образованию плотной малопористой пленки АОА с высокими коррозионными свойствами [19] и высоким по отношению к анодированию в фосфорной кислоте показателем преломления. Анодирование в фосфорной кислоте приводит к АОА с растравленными порами и низким показателем преломления. Поскольку при анодировании оксидный слой продвигается вглубь алюминиевой подложки, то анодный слой, образованный в хромовой кислоте, полностью в фосфорной кислоте не стравливается и находится сверху слоя АОА, формируемого в фосфорной кислоте. То есть, происходит формирование двухслойного покрытия, в котором показатель преломления верхнего слоя больше нижнего. Такое двухслойное покрытие обладает увеличенной отражающей способностью [20] по сравнению с однослойным покрытием при анодировании только в одной кислоте. Причем, как это и подтверждается на практике, при перемене порядка анодирования: сначала в фосфорной, а затем в хромовой кислоте Флип-Флоп эффект исчезает, так как формируется слабоотражающая пленка, поскольку слой с низким показателем преломления является верхним, что соответствует формированию просветляющей пленки.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
Таким образом, проведенные исследования Флип-Флоп эффекта на АОА выявили характер изменения толщины и эффективных показателей преломления слоев пористого оксида алюминия от времени анодирования в различных кислотах (серной, фосфорной, хромовой). На основе спектральных сдвигов и значений спектральных изменений в цветовых координатах системы CIE L*a*b* проведена количественная оценка Флип-Флоп эффекта. Выявлено, что наиболее ярко Флип-Флоп эффект проявляется при анодировании в фосфорной кислоте (Δλ(43, 60) = 66–70 нм; ΔЕ(43–60) = 42–43) и, что двойное анодирование сначала в хромовой, а затем фосфорной кислоте приводит к усилению Флип-Флоп эффекта (Δλ(43, 60) = 85–106 нм; ΔЕ(43–60) = 55–68).
Список литературы
Макшанчиков И.А. Влияние толщины оксидной пленки и последующей ее окраски в органических красителях на отражающую способность // Депонированная рукопись № 929-В200805.12.2008
Руднев В.С., Яровая Т.П., Недозоров П.М., Богута Д.Л. Пат. RUS 2263164 10.08.2004.
Стрельцов Е.А., Щукин Г.Л., Савенко В.П. // Защита металлов. 1985. № 3. С. 457–469.
Погребняк А.Д., Кылышканов М.К., Тюрин Ю.Н. и др. // Журн. технической физики. 2012. Т. 82. № 6. С. 106–114.
Атращенко А.В., Красилин А.А., Кучук И.С., Арысланова Е.М., Чивилихин С.А., Белов П.А. // Наносистемы: физика, химия, математика. 2012. № 3(3). С. 31–51.
Иванов Д.К., Иванова Ю.А., Стрельцов Е.А. // Известия национальной академии наук Беларуси. 2012. № 2. С. 5–8.
Nielsch K., Muller F., Li A. et al. // Adv. Mater. 2000. V. 12. P. 582.
Moon J., Wei A. // Phys. Chem. B. 2005. V. 109. P. 23336.
Xu D.S., Chen D.P., Xu Y.J. et al. // Pure Appl. Chem. 2000. V. 72. P. 127.
Sauer G., Brehm G., Schneider S. et al. // Appl. Phys. 2005. V. 97. P. 024308.
Горох Г.Г., Мозалев А.М., Соловей Д.В., Сахарук В.Н. // СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии. Материалы Междунар. Крымской конференции. 2006. Т. 2. С. 673.
Шелковников В.В., Любас Г.А., Коротаев С.В. // Физикохимия поверхности и защита материалов. 2016. Т. 52. № 2. С. 160–164.
Одиноков С.Б., Жердев А.Ю., Лушников Д.С., Маркин В.В., Шишова М.В., Смирнов А.В., Акимов Б.В. // Фотоника. 2017. № 5. С. 62.
Yasui A., Kawahara T., Iwasaki M., Karuppuchamy S., Tada H., Ito S. // Jpn. Soc. Colour Mater. 2006. V. 79(5). P. 190–196.
Муратова Е.Н. Искусственно и естественно упорядоченные микро- и наноразмерные капиллярные мембраны на основе анодного оксида алюминия: автореф. дис. канд. техн. наук. СПб, 2014. 16 с.
Девяткина Т.И., Спасская М.М., Москвичев А.Н., Рогожин В.В., Михаленко М.Г. // Вестник Нижегородского университета им. Н.И. Лобачевского. 2013. № 6(1). С. 109–114.
Фандеев В.П., Самохина К.С. // Интернет-журнал “Науковедение”. 2015. Т. 7. № 4.
Горбунова Е.В., Чертов А.Н. Типовые расчеты по колориметрии источников излучения. Учебное пособие. Университет ИТМО, СПб. 2014. 90 с.
Бобрикова И.Г., Селиванов В.Н. Технологии электрохимической и химической художественно-декоративной обработки металлов и их сплавов, Новочеркасск: ЮРГТУ. 2009. 107 с.
Ершов А.В., Машин А.И. Многослойные оптические покрытия. Проектирование, материалы, особенности технологии получения методом электроннолучевого испарения. Учебно-методический материал “Новые материалы электроники и оптоэлектроники для информационно-телекомуникационных систем”. Нижний Новгород, 2006. 99 с.
Любас Г.А., Шелковников В.В., Коротаев С.В. // Российские нанотехнологии. 2016. Т. 11. № 1–2. С. 35–43.
Дополнительные материалы отсутствуют.
Инструменты
Физикохимия поверхности и защита материалов