Кристаллография, 2019, T. 64, № 6, стр. 862-866

Исследование микроструктуры лент Nb–Ti методами электронной микроскопии

А. В. Овчаров 1, И. А. Каратеев 1, К. Г. Каратеева 1, В. В. Гурьев 1, С. В. Шавкин 1, А. Л. Васильев 123*

1 Национальный исследовательский центр “Курчатовский институт”
Москва, Россия

2 Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова ФНИЦ “Кристаллография и фотоника” РАН
Москва, Россия

3 Московский физико-технический институт
Долгопрудный, Россия

* E-mail: a.vasiliev56@gmail.com

Поступила в редакцию 02.04.2019
После доработки 25.04.2019
Принята к публикации 25.04.2019

Полный текст (PDF)

Аннотация

Представлены результаты исследования методами просвечивающей, просвечивающей растровой электронной микроскопии и микроанализа, в том числе в режиме отжига in situ в колонне электронного микроскопа, микроструктуры холоднокатаной ленты из сверхпроводящего сплава Nb–50 мас. % Ti до и после термообработки. Проведен расчет влияния термообработки на концентрацию и латеральные размеры частиц α-фазы Ti. После in situ-отжига в частицах α-фазы Ti обнаружены включения фазы Ti с ГЦК-решеткой.

ВВЕДЕНИЕ

Композиционные многоволоконные провода на основе сверхпроводящего сплава Nb–Ti (с критической температурой около 9.5 К) более 50 лет являются самыми востребованными техническими сверхпроводящими материалами. Они используются в магнитных системах современных медицинских ядерно-магнитных резонансных томографов, выпускаемых в количестве нескольких тысяч единиц в год, а также для создания сверхпроводниковых магнитных систем в научных приборах и в установках индустриальной физики: управляемого термоядерного синтеза (начиная с советского токамака Т-7 и заканчивая строящимся международным термоядерным реактором ИТЭР), в современных ускорителях (таких как Большой адронный коллайдер (ЦЕРН), Tevatron (США), HERA (Германия)) [1]. Несомненными достоинствами ниобий–титановых проводов являются высокая гибкость, прочность, технологичность при изготовлении и выполнении операций намотки, а также невысокая стоимость. Тонкие ленты на основе сплава Nb–Ti благодаря сильной анизотропии токонесущей способности используются для создания сверхпроводящих ключей [2, 3] и магнитных экранов [46]. Востребованность материала и широкая область применения обосновывают постоянный интерес к возможностям оптимизации производства, улучшению структуры материала и повышению токонесущей способности этого сплава. Основными центрами пиннинга, отвечающими за высокий критический ток в сплаве Nb–Ti, являются выделения наночастиц несверхпроводящей (при температуре T = 4.2 К) α-фазы Ti с ГПУ-решеткой, получаемые в ходе многостадийных термомеханических обработок. Размеры, форма и концентрация частиц α-фазы Ti являются основными факторами, влияющими на токонесущую способность материала. Как правило, чем меньше размер выделившихся частиц (он должен быть сравним с длиной когерентности, т.е. 5–10 нм [7, 8]) и выше их плотность, тем сильнее пиннинг магнитного потока. Мелкомасштабная гетерогенная микроструктура границ зерен, создаваемая в массиве материала при холодной деформации, способствует образованию мелкодисперсных выделений α-фазы Ti на границах зерен после термообработки (проводимой, как правило, в диапазоне 370–400°С). В то же время, как показало изучение литературы, процесс фазообразования в системе до конца не изучен.

В настоящей работе методами электронной микроскопии исследованы изменения микроструктуры образцов тонкой холоднокатаной ленты на основе сверхпроводящего сплава Nb–50 мас. % Ti (НТ-50), возникающие в ходе ex situ–термообработки в сравнении с высокотемпературным отжигом in situ в колонне электронного микроскопа.

МАТЕРИАЛЫ И МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ

Исследована холоднокатаная лента толщиной 10 мкм, изготовленная из сплава НТ-50, и та же лента, прошедшая вакуумную термообработку (остаточное давление 10–4 мбар) при температуре 385°С в течение 25 ч. Образцы для исследований приготовлены с использованием сканирующего электронно-ионного микроскопа Helios Nanolab 600i (Thermo Fisher Scientific, США) препарированием с помощью сфокусированного ионного пучка вдоль и поперек линии прокатки. Из каждой ленты вырезаны четыре ламели для дальнейших исследований: из центра ленты вдоль и поперек линии прокатки, с краю ленты вдоль и поперек линии прокатки (рис. 1).

Рис. 1.

Схематическое изображение ленты Nb–Ti с обозначением областей, из которых получены поперечные срезы для проведения ПЭМ-исследований.

Исследование полученных образцов проводили в сканирующем/растровом электронном микроскопе (П/РЭМ) Titan 80–300 (Thermo Fisher Scientific, США), снабженном корректором сферической аберрации пробы (Cs-корректор), в режимах светлого и темного полей, просвечивающей и просвечивающей растровой электронной микроскопии (ПЭМ и ПРЭМ соответственно). В проводимых исследованиях ускоряющее напряжение составляло 300 кВ. Также использовали специальный держатель, позволяющий нагревать образец in situ непосредственно в колонне микроскопа П/РЭМ вплоть до 900ºС (Double Tilt Heating Holder Model 652, Gatan, США). При этом диапазон температур составлял 23–800°С с шагом 50°С.

При работе в режиме ПРЭМ для регистрации рассеянных электронов использовали высокоугловой кольцевой детектор темного поля (Fischione, CША), регистрирующий неупруго рассеянные электроны, интенсивность которых пропорциональна Z2 [9].

РЕЗУЛЬТАТЫ

Образцы холоднокатаной ленты Nb–Ti до и после ex situ-термообработки, вырезанные вдоль и поперек линии прокатки. На рис. 2 в одном масштабе представлены ПРЭМ-изображения поперечных срезов, вырезанных из центра неотожженной ленты Nb–Ti и ленты после вакуумной термообработки вдоль и поперек направления прокатки. На изображениях отчетливо видны вытянутые в горизонтальном направлении слои Nb–Ti и темные выделения между ними – частицы α-фазы Ti (на изображениях отмечены белыми стрелками). Расчет концентрации выделений проводили методом секущих. Результаты расчета и аспектное отношение выделений приведены в табл. 1. Последующий анализ показал, что концентрация и аспектное отношение вдоль линии прокатки незначительно меняются от центра к краю ленты (для образцов до и после вакуумной термообработки). Это свидетельствует о хорошей однородности ленты по ширине. Термообработка способствует увеличению концентрации выделений и уменьшению их аспектных отношений. В табл. 2 приведены результаты расчета средних размеров выделений по трем осям. Видно, что в результате отжига латеральные размеры выделений увеличиваются. При сравнении размеров выделений в центре и с краю образцов после отжига разница также незначительная.

Рис. 2.

ПРЭМ-изображения поперечных срезов, вырезанных из центра неотожженной ленты Nb–Ti вдоль (а) и перпендикулярно (б) направлению прокатки, и ленты после вакуумной термообработки вдоль (в) и перпендикулярно (г) направлению прокатки.

Таблица 1.  

Результаты расчета концентрации выделений α-Ti и аспектное отношение зерен вдоль и поперек линии прокатки (||, ⊥)

  До термической обработки После термической обработки
центр край центр край
|| || || || ⊥⊥
Концентрация, 1/мкм2 64 49 56 53 80 103 77 101
Отклонение 6 9 14 5 9 5 12 5
Аспектное отношение 3.6 2.3 3.3 2.3 2.5 1.8 2.4 1.6
Отклонение 2.6 1.1 1.8 1.0 1.0 1.1 0.9 1.1
Таблица 2.  

Результаты оценки латеральных размеров выделений α-Ti

  До термической обработки После термической обработки
центр край центр край
x y z x y z x y z x y z
Размер, нм 91 48 18 82 58 20 112 62 28 106 90 37
Отклонение 52 27 9 44 29 9 76 36 14 66 50 21

In situ-отжиг образца ленты Nb–Ti, вырезанного вдоль линии прокатки. На рис. 3 представлены ПРЭМ-изображения поперечного среза ленты в процессе in situ-отжига. Видимых изменений не происходит вплоть до температуры T = 750°С, при которой появляются эвтектоидные образования размером 100–200 нм. Существенные изменения происходят при температуре T = 800°С, при которой практически весь объем образца занимают эвтектоиды.

Рис. 3.

ПРЭМ-изображения поперечного среза ленты Nb–Ti, вырезанного вдоль направления прокатки, во время температурного отжига in situ при 100°С (а) (белыми стрелками обозначены включения α-Ti), 700 (б), 750 (в), 800°С (г).

После охлаждения до температуры 36°С эвтектоиды, появившиеся при нагреве, сохраняются. На поперечном срезе также отчетливо видны эвтектоидные структуры (рис. 4а), напоминающие дендритные образования. Доступные литературные данные свидетельствуют о том, что таких образований не было обнаружено ни в холоднокатаной ленте, ни в ленте после вакуумной термообработки. Возможно, их присутствие связано со специфическими особенностями тонкого электронно-микроскопического образца, когда внешние поверхности образца оказывают сильное влияние на процессы движения дефектов, в том числе на межзеренные и межфазные границы. Нельзя исключить и влияние температурных нестабильностей при охлаждении образца [9] в колонне электронного микроскопа.

Рис. 4.

ПРЭМ-изображение поперечного среза ленты Nb–Ti, вырезанного вдоль направления прокатки после охлаждения до 36°С; отчетливо видны эвтектоиды, которых не наблюдалось в холоднокатаной ленте (выделенные точки соответствуют точкам микроанализа) (а); энергодисперсионные спектры от выделенных точек (б).

Результаты микроанализа от выделенных точек (рис. 4а) представлены на рис. 4б. Как и предполагалось, темные выделения соответствуют повышенному содержанию Ti, что соответствует полученным темнопольным ПРЭМ-изображениям с регистрацией электронов, рассеянных на большие углы. В светлых областях содержание Nb и Ti находится в стандартных пропорциях для сплава НТ-50.

Дальнейшие исследования проводили с использованием ПРЭМ (рис. 5), включая ПРЭМ высокого разрешения (ВРПРЭМ) – рис. 6. На рис. 5 в частице с повышенным содержанием Ti отчетливо видны вертикальные плоские дефекты, проходящие через всю частицу (отмечены белыми стрелками). Изображение этого участка с высоким разрешением представлено на рис. 6а.

Рис. 5.

Увеличенные ПРЭМ-изображения частиц α-Ti: светлопольное (а) и темнопольное (б). Белыми стрелками обозначены включения ГЦК-фазы Ti в его ГПУ-модификацию.

Рис. 6.

Светлопольное ВРПРЭМ-изображение частицы α-Ti со структурными дефектами (а); увеличенное изображение кубической фазы Ti (пр. гр. Fm$\bar {3}$m) с осью зоны B = [101] (б); увеличенное изображение α-Ti (пр. гр. P63/mmc) с осью зоны B = [100] (в).

Проведенная фильтрация Фурье от дефектного участка светлопольного ВРПРЭМ-изображения показала, что структурные дефекты представляют собой кристаллическую модификацию Ti с ГЦК-решеткой (пр. гр. Fm$\bar {3}$m, параметр решетки a = 4.2 ± 0.1 Å). На рис. 6б, 6в представлены увеличенные изображения областей ГЦК-Ti и ГПУ-Ti c наложенными позициями атомов Ti, соответствующими ГЦК-решетке в проекции [101] и ГПУ-решетке в проекции [100].

ОБСУЖДЕНИЕ

Проведенные исследования демонстрируют динамику изменения структуры тонких лент Nb–Ti в результате термообработки, в том числе in situ-отжига в колонне микроскопа. В результате ex situ-вакуумной термообработки увеличиваются концентрация и латеральные размеры выделений α-фазы Ti в матрице, при этом аспектное отношение преципитатов уменьшается. Это указывает на положительное влияние термообработки на образование центров пиннинга в виде частиц α-фазы Ti. Незначительное изменение концентрации выделений и их аспектного отношения от центра к краям ленты указывает на хорошую однородность по ширине ленты.

При in situ-отжиге в колонне микроскопа, начиная с температуры 750°С, прослеживается активное выделение α-фазы Ti с последующим образованием эвтектоидных структур, которые сохраняются после охлаждения (рис. 3, 4). Известно, что образование на межзеренной границе выделений α-фазы Ti начинается при длительном (более 10 ч) ex situ-отжиге при температуре T = 375–420°С [10, 11]. В настоящей работе показано, что активное фазообразование начинается с более высокой температуры. Впервые разницу в процессах рекристаллизации между объемными образцами и тонкими пленками наблюдали в [12]. В [13, 14] указано, что фронт рекристаллизации останавливается в областях лент, начиная с какого-то критического значения толщины. В [15] влияние толщины образца на движение границ зерен объясняется образованием тепловых канавок на поверхности лент. Образование канавок является результатом поверхностного натяжения, сдерживающего движение границ зерен.

Также показано, что после нагрева в колонне электронного микроскопа и последующего охлаждения слоистая микроструктура образца полностью исчезла. Эвтектоидные структуры состоят из α-фазы Ti (пр. гр. P63/mmc) и фазы Nb–50 мас. % Ti (рис. 4б) в соотношении ~ 50 : 50. Выделения α-фазы Ti по всему образцу также увеличились по сравнению с ex situ-термообработкой.

Отсутствие эвтектоидных структур в образцах после вакуумной термообработки связано с более длительным временем воздействия и более низкой температурой. С увеличением времени термообработки происходит укрупнение зерен α-фазы Ti и их дальнейшее разрастание. В результате сравнительно быстрого охлаждения после in situ-отжига в колонне микроскопа фактически происходит закалка образца. Это также способствует сохранению эвтектоидных структур. Отметим, что формирование подобных образований может негативно сказываться на сверхпроводящих свойствах лент.

В части образовавшихся после in situ-отжига частиц α-фазы Ti обнаружены включения фазы ГЦК-Ti. Образование кубической модификации Ti Fm$\bar {3}$m с параметром решетки 4.2 ± 0.1 Å в α-фазе Ti упоминается в [16, 17]. В [18] кубическая модификация обнаружена на тонких лентах после ex situ-отжига, подготовленных для ПЭМ. Отсутствие этой фазы в объемных образцах можно объяснить эффектами релаксации тонких лент и относительной стабильностью ГЦК-фазы по сравнению с ГПУ. Теоретическое обоснование возможности роста ГЦК-фазы в ГПУ при комнатной температуре дано в [16].

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Показано, что после ex situ-вакуумной термообработки увеличиваются концентрация и латеральные размеры выделений α-фазы Ti в матрице, при этом аспектное отношение преципитатов уменьшается – преципитаты приобретают более округлую форму. In situ-нагрев в колонне микроскопа позволил проследить динамику формирования эвтектоидных структур в образце и определить их состав. Сохранение эвтектоидных структур после их охлаждения в колонне электронного микроскопа предположительно связано с сильным влиянием поверхностей тонких электронно-микроскопических образцов и относительно быстрым охлаждением. При исследованиях кристаллической структуры лент после in situ-нагрева в выделениях α-Ti обнаружены прослойки ГЦК-Ti.

Работа выполнена при поддержке Министерства науки и высшего образования в рамках выполнения работ по Государственному заданию ФНИЦ “Кристаллография и фотоника” РАН, а также в рамках Тематического плана НИЦ “Курчатовский институт” (в части изготовления лент). Часть работы выполнена на оборудовании Ресурсного центра зондовой и электронной микроскопии (Курчатовский комплекс НБИКС-пт, НИЦ “Курчатовский институт”).

Список литературы

  1. Andrews D.E. // Adv. Cryog. Eng. A. Cryog. Eng. Conf. Publ. V. 33. Springer US, 1988. P. 1.

  2. Shevchenko O.A., Mulder G.B.J., Markovsky N.V. et al. // Cryogenics. 1992. V. 32. Suppl. 1. P. 447.

  3. Mulder G.B.J., Shevchenko O.A., Fedorovsky M.A. et al. // Cryogenics. 1992. V. 32. Suppl. 1. P. 451.

  4. Ogawa S., Tada E., Toda H. et al. // Proc. 11 Int. Cryog. Eng. Conf. Berlin, Germany, 22–25 Apr. 1986. P. 484.

  5. Ogawa S., Yoshitake M., Nishigaki K. et al. // Science and Technology of Thin Film Superconductors. Springer US, 1989. P. 509.

  6. Sato S., Ikeuchi M., Iwata A. et al. // Proc. 9 Int. Cryog. Eng. Conf. Kobe, Japan, 11–14 May 1982. P. 115.

  7. Lee P.J., Larbalestier D.C. // Acta Metall. 1987. V. 35. P. 2523.

  8. Meingast C., Larbalestier D.C. // J. Appl. Phys. 1989. V. 66. P. 5971.

  9. Campbell F.C. // Phase Diagrams: Understanding the Basics. ASM International, 2012. P. 106.

  10. Larbalestier D.C., West A.W. // Acta Metall. 1984. V. 32. P. 1871.

  11. Buckett M.I., Larbalestier D.C. // IEEE Trans. Magn. 1987. V. 23. P. 1638.

  12. Bailey J.E. // Philos. Mag. 1960. V. 5. P. 833.

  13. Roberts W., Lehtinen B. // Philos. Mag. A. 1974. V. 29. P. 1431.

  14. Lehtinen B., Roberts W. // J. Microsc. 1973. V. 97. P. 197.

  15. Mullins W.W. // Acta Metall. 1958. V. 6. P. 414.

  16. Wu H.C., Kumar A., Wang J. et al. // Sci. Rep. 2016. V. 6. P. 24370.

  17. Jing R., Liu C.Y., Ma M.Z. et al. // J. Alloys Compd. 2013. V. 552. P. 202.

  18. Sarkar R., Ghosal P., Prasad K.S. et al. // Philos. Mag. Lett. 2014. V. 94. P. 311.

Дополнительные материалы отсутствуют.