Микроэлектроника, 2022, T. 51, № 2, стр. 148-154
Зависимость магнитной индукции внутри тонкой цилиндрической проволоки из металла от механизма поверхностного рассеяния электронов
Э. В. Завитаев a, *, О. В. Русаков a, А. И. Уткин a, К. Е. Харитонов a
a Государственный гуманитарно-технологический университет
142611 Московская область, Орехово-Зуево, ул. Зеленая, 22, Россия
* E-mail: EduardZavitaev@yandex.ru
Поступила в редакцию 13.05.2021
После доработки 30.06.2021
Принята к публикации 02.07.2021
- EDN: CSZIHK
- DOI: 10.31857/S0544126922020090
Аннотация
Выполнен расчет магнитной индукции внутри прямой металлической проволоки круглого сечения. Рассмотрен общий случай, когда отношение длины свободного пробега электронов к радиусу проволоки может принимать произвольные значения. В качестве граничных условий задачи принято условие, учитывающее зависимость коэффициента зеркальности от дефектов поверхности и угла падения электронов на внутреннюю поверхность проволоки. Рассмотрен предельный случай и проведено обсуждение полученных результатов.
1. ВВЕДЕНИЕ
В настоящее время в микроэлектронике наблюдается растущий интерес к электромагнитным свойствам малых проводящих объектов, включающих в себя металлические проволоки малого радиуса [1–5]. Электромагнитные свойства данных малых проводящих объектов определяются такими свойствами проволок как электропроводность и индукция. Для металлических проволок, радиус которых существенно превышает длину свободного пробега электронов внутри объемного образца, эти характеристики могут быть найдены с использованием макроскопической электродинамики [6].
В то же время электрические и магнитные свойства металлических проволок, радиус которых сравним с длиной свободного пробега электронов $\Lambda $, существенно отличаются от свойств “массивных” проволок [7–9].
Вопросы, касающиеся расчета электрической проводимости тонких цилиндрических проволок из металла, обсуждались в работах [7, 8]. Магнитная индукция внутри такой проволоки при условии зеркально-диффузного отражения электронов от внутренней поверхности определялась в работе [9]. В упомянутых работах применяется подход, основанный на решении кинетического уравнения Больцмана для электронов в металле.
В настоящей работе применяется рассчитанная кинетическим методом функция распределения, которая описывает линейный отклик электронов в цилиндрической проволоке из металла на переменное электрическое поле, ориентированное вдоль ее оси симметрии. С помощью данной функции распределения удается рассчитать зависимость магнитной индукции внутри проволоки как функцию от дефектов поверхности и угла падения электронов на внутреннюю поверхность проволоки.
2. ПОСТАНОВКА ЗАДАЧИ
Рассматривается цилиндрическая проволока из немагнитного металла (относительная магнитная проницаемость $\mu $ = 1) радиуса $R$ и длины $L$ (считаем, что $L \gg R$), к концам которой приложено переменное электрическое напряжение частоты $\omega $. Принимается, что направление электрического поля совпадает с осью цилиндра. Скин-эффект не учитывается (предполагается, что $R < \gamma $ – глубины скин-слоя).
Однородное периодическое по времени электрическое поле, вектор напряженности которого
воздействует на электроны проводимости внутри проволоки и вызывает появление внутри нее высокочастотного тока с плотностью ${\mathbf{j}}$.Связь между$~{\mathbf{E}}$ и ${\mathbf{j}}~$ в случае, когда радиус проволоки $R$ сравним с длиной свободного пробега электронов в металле $\Lambda $ или меньше ее: $R < \Lambda $, оказывается существенно нелокальной. Для описания этой связи применим кинетическое уравнение (в приближении времени релаксации) к вырожденному ферми-газу электронов находящемуся внутри проволоки.
Для достаточно слабых внешних полей это уравнение можно линеаризовать по внешнему полю ${\mathbf{E}}$ и по малым отклонениям ${{f}_{1}}\left( {{\mathbf{r}},{\mathbf{v}}} \right)$ от равновесной фермиевской функции распределения ${{f}_{0}}\left( \varepsilon \right)$ [10–12]:
(2)
$ - i\omega {{f}_{1}} + {\mathbf{v}}\frac{{\partial {{f}_{1}}}}{{\partial {\mathbf{r}}}} + e\left( {{\mathbf{vE}}} \right)\frac{{\partial {{f}_{0}}}}{{\partial \varepsilon }} = - \frac{{{{f}_{1}}}}{\tau },$Далее рассматривается квадратичная зависимость энергии электронов $\varepsilon $ от скорости: $\varepsilon = {{m{{{\mathbf{v}}}^{2}}} \mathord{\left/ {\vphantom {{m{{{\mathbf{v}}}^{2}}} 2}} \right. \kern-0em} 2}$ ($m$– эффективная масса электрона) и используется ступенчатая аппроксимация для равновесной функции распределения электронов по энергиям [10]:
Функция распределения электронов
Отклонение ${{f}_{1}}\left( {{\mathbf{r}},{\mathbf{v}}} \right)$ функции распределения электронов $f\left( {{\mathbf{r}},{\mathbf{v}}} \right)$ от равновесного значения ${{f}_{0}}\left( \varepsilon \right)$, возникающее под действием электрического поля (1), позволяет рассчитать плотность высокочастотного тока внутри проволоки
(3)
${\mathbf{j}} = en\left\langle {\mathbf{v}} \right\rangle = en{{\left( {\int {{{f}_{0}}{{d}^{3}}} v} \right)}^{{ - 1}}}\int {{{f}_{1}}{\mathbf{v}}{{d}^{3}}v} .$Концентрация электронов $n$ в проволоке определяется по стандартной формуле, согласно которой
(4)
$n = 2\frac{{{{m}^{3}}}}{{{{h}^{3}}}}\int {} {{f}_{0}}{{d}^{3}}v = 2\frac{{{{m}^{3}}}}{{{{h}^{3}}}}\frac{{4\pi v_{{\text{F}}}^{3}}}{3},~$Применив формулу (4), выражение для плотности тока (3) можно записать в виде:
(5)
${\mathbf{j}} = \frac{3}{4}\frac{{ne}}{{\pi {\mathbf{v}}_{{\text{F}}}^{3}}}\int {{\mathbf{v}}{{f}_{1}}{{d}^{3}}v} .~~~$Взяв в уравнении (2) поле ${\mathbf{E}}$ в виде (1), найдем ${{f}_{1}}\left( {{\mathbf{r}},{\mathbf{v}}} \right)$ как решение этого уравнения. Затем, используя выражение (3), определим плотность тока и стандартным образом рассчитаем магнитную индукцию внутри проволоки.
Однозначное решение поставленной задачи возможно при выборе граничного условия для неизвестной функции ${{f}_{1}}\left( {{\mathbf{r}},{\mathbf{v}}} \right)$ на цилиндрической поверхности металлической проволоки. В качестве такового принимаем условие, которое учитывает зависимость коэффициента зеркальности $q$ от дефектов поверхности – параметра шероховатости поверхности $H$ и угла падения электронов $\theta $ на внутреннюю поверхность проволоки (модель Соффера): [8, 13]
(6)
$\begin{gathered} {{f}_{1}}\left( {{{{\mathbf{r}}}_{ \bot }},{{{\mathbf{v}}}_{ \bot }},{{{\mathbf{v}}}_{{\text{z}}}}} \right) = q\left( {H,\cos {\kern 1pt} \theta } \right){{f}_{1}}\left( {{{{\mathbf{r}}}_{ \bot }},{\mathbf{v}}_{ \bot }^{'},{{{\mathbf{v}}}_{{\text{z}}}}} \right)~\,\,\,\,{\text{при}}~\,\,\,\,\left\{ {\begin{array}{*{20}{c}} {\left| {{{{\mathbf{r}}}_{ \bot }}} \right| = R,~~~} \\ {{{{\mathbf{r}}}_{ \bot }}{{{\mathbf{v}}}_{ \bot }} < 0,~} \end{array}} \right.~ \\ q\left( {H,\cos {\kern 1pt} \theta } \right) = \exp \left( { - {{{\left( {4\pi H\cos {\kern 1pt} \theta } \right)}}^{2}}} \right),~\,\,\,\,H = \frac{{{{h}_{S}}}}{{{{\lambda }_{{\text{F}}}}}}, \\ \end{gathered} $3. РАСЧЕТ МАГНИТНОЙ ИНДУКЦИИ
Решение кинетического уравнения (2) и расчет плотности тока (5) проведены в работе [7].
При вычислении плотности тока (5) и расчете магнитной индукции удобно перейти к цилиндрическим координатам как в пространстве координат (${{r}_{ \bot }}$, $\varphi $, $z$; полярная ось – ось $Z$; вектор ${{E}_{0}}$ параллелен оси $Z$), так и в пространстве скоростей ${{v}_{ \bot }}$, $\alpha $, ${{v}_{z}}$; полярная ось – ось ${{v}_{z}}$). Ось симметрии проволоки совпадает с осью $Z$.
Поле (1) в цилиндрических координатах имеет лишь $z$-компоненту:
Соответственно, и плотность тока (5) обладает лишь $z$-компонентой (линии тока являются прямыми параллельными оси Z) и вычисляется по формуле [7] c учетом граничного условия (6):
где
Для расчета вектора магнитной индукции ${\mathbf{B}}$ внутри тонкой цилиндрической проволоки будем применять теорему о циркуляции с учетом того факта, что распределение тока по поперечному сечению является неоднородным (линии индукции являются замкнутыми окружностями, лежащими в плоскостях, перпендикулярных к оси симметрии проволоки, поэтому ${\mathbf{B}} = {{B}_{\varphi }}{{e}_{\varphi }}$):
где ${{\mu }_{0}}$ – магнитная постоянная вакуума.После применения теоремы к контуру в виде окружности, получаем:
(8)
${{B}_{\varphi }} = \frac{{{{\mu }_{0}}}}{{{{r}_{{ \bot ,B}}}}}\int\limits_0^{{{r}_{{ \bot ,B}}}} {{{j}_{z}}{{r}_{ \bot }}d{{r}_{ \bot }}} .$Для дальнейших вычислений и анализа результатов, введем новые переменные
Тогда магнитную индукцию (8) можно рассчитать по формуле
(9)
${{B}_{\varphi }} = \frac{{3{{\mu }_{0}}n{{e}^{2}}{{R}^{2}}{{E}_{z}}}}{{\pi {{v}_{{\text{F}}}}m}}\mathop \smallint \limits_0^\delta \mathop \smallint \limits_0^1 \mathop \smallint \limits_0^\pi \frac{{\rho \sqrt {1 - {{\rho }^{2}}} }}{{z\delta }}\left( {\frac{{\left( {\exp \left( { - {{{\left( {4\pi H\rho {\kern 1pt} \cos {\kern 1pt} \alpha } \right)}}^{2}}} \right) - 1} \right)\exp \left( {{{ - z\eta } \mathord{\left/ {\vphantom {{ - z\eta } \rho }} \right. \kern-0em} \rho }} \right)}}{{\left( {1 - \exp \left( { - {{{\left( {4\pi H\rho {\kern 1pt} \cos {\kern 1pt} \alpha } \right)}}^{2}}} \right)\exp \left( {{{ - z{{\eta }_{0}}} \mathord{\left/ {\vphantom {{ - z{{\eta }_{0}}} \rho }} \right. \kern-0em} \rho }} \right)} \right)}} + 1} \right)\xi d\xi d\rho d\alpha .~$Магнитную индукцию (9), которая является комплексной величиной, представим в виде
где
(11)
$\begin{gathered} {{B}_{0}} = \frac{{3{{\mu }_{0}}n{{e}^{2}}{{R}^{2}}{{E}_{z}}}}{{\pi {{v}_{{\text{F}}}}m}}, \\ N\left( {\delta ,x,y,H} \right) = \mathop \smallint \limits_0^\delta \mathop \smallint \limits_0^1 \mathop \smallint \limits_0^\pi \frac{{\rho \sqrt {1 - {{\rho }^{2}}} }}{{z\delta }}\left( {\frac{{\left( {\exp \left( { - {{{\left( {4\pi H\rho {\kern 1pt} \cos {\kern 1pt} \alpha } \right)}}^{2}}} \right) - 1} \right)\exp \left( {{{ - z\eta } \mathord{\left/ {\vphantom {{ - z\eta } \rho }} \right. \kern-0em} \rho }} \right)}}{{\left( {1 - \exp \left( { - {{{\left( {4\pi H\rho {\kern 1pt} \cos {\kern 1pt} \alpha } \right)}}^{2}}} \right)\exp \left( {{{ - z{{\eta }_{0}}} \mathord{\left/ {\vphantom {{ - z{{\eta }_{0}}} \rho }} \right. \kern-0em} \rho }} \right)} \right)}} + 1} \right)\xi d\xi d\rho d\alpha .~~ \\ \end{gathered} $Численный расчет модуля $M\left( {\delta ,x,y,H} \right)$ и аргумента $A\left( {\delta ,x,y,H} \right)$ (фазы) безразмерной магнитной индукции $N\left( {\delta ,x,y,H} \right)$ вытянутой цилиндрической проволоки представлен на рисунках ниже.
4. ОБСУЖДЕНИЕ РЕЗУЛЬТАТОВ
В пределе абсолютно гладкой поверхности тонкой металлической проволоки ($H = 0$) для расчета магнитной индукции получаем выражение:
Выражение (12) соответствует классическому макроскопическому результату для цилиндрической проволоки, когда при расчете магнитной индукции применяется локальный закон Ома, в котором удельная проводимость проволоки определяется по формуле Друде [7]. Это связано с тем, что при $H = 0$ граница проволоки не оказывает влияния на функцию распределения электронов $f\left( {{{r}_{ \bot }},{{v}_{ \bot }},{{v}_{z}}} \right)$. Высокочастотный ток внутри металлической проволоки с абсолютно гладкой поверхностью удовлетворяет локальному закону Ома при любом соотношении между радиусом проволоки $R$ и длиной свободного пробега электронов $\Lambda $. Таким образом, при наличии границы проволоки по свойствам близкой к идеальной, отсутствуют нелокальные (поверхностные) эффекты.
Независимо от характера отражения электронов на границе (при любых $H$) с ростом размера проволоки (при $x \gg 1$) (в этом случае в формуле (11) можно пренебречь членами с экспонентами в виду их быстрого затухания) также имеет место макроскопическая асимптотика (12).
На рис. 1 приведено сравнение результатов численного расчета магнитной индукции внутри тонкой цилиндрической проволоки, выполненного с применением кинетического (11) и макроскопического (12) подходов.
Отношение модуля магнитной индукции ${{B}_{\varphi }}\left( \delta \right)$, вычисленной с помощью кинетической модели, к модулю магнитной индукции ${{B}_{{{\text{мак}}}}}\left( \delta \right)$, вычисленной в рамках классической электродинамики, определялось при постоянных значениях безразмерной обратной длины свободного пробега электронов $x$, безразмерной частоты электрического поля $y$ и параметра шероховатости поверхности $H$. Из анализа хода кривой можно сделать вывод о том, что отличие модуля магнитной индукции, рассчитанной с использованием кинетической модели, и модуля магнитной индукции, рассчитанной в рамках классической электродинамики, при фиксированных значениях параметров расчета составляет от 13 до 26%.
Это обстоятельство подтверждает существенное влияние на абсолютную величину магнитной индукции вклада поверхностных механизмов рассеяния в случае, когда радиус проволоки будет одного порядка с длиной свободного пробега электронов.
На рис. 2 приведено сравнение результатов численного расчета магнитной индукции внутри тонкой цилиндрической проволоки, выполненного с применением кинетических подходов с различными граничными условиями: Соффера (см. [11]) и Фукса (см. [9]).
Отношение модуля магнитной индукции ${{B}_{\varphi }}\left( H \right)$, вычисленной с помощью кинетической модели с граничными условиями Соффера, к модулю магнитной индукции ${{B}_{\varphi }}\left( q \right)$, вычисленной с помощью кинетической модели с граничными условиями Фукса, также определялось при постоянных значениях безразмерной обратной длины свободного пробега электронов $x$ и безразмерной частоты электрического поля $y$. Из анализа хода кривой можно сделать вывод о том, что данное отношение имеет нетривиальный характер из-за наличия вырождения, когда результаты расчета магнитной индукции внутри проволоки совпадают при двух значениях параметра шероховатости $H$ поверхности (или двух значениях коэффициента зеркальности $q$).
На рис. 3 построены графики зависимости модуля $M\left( \delta \right)$ безразмерной магнитной индукции цилиндрической проволоки $N\left( {\delta ,x,y,H} \right)$ от “безразмерного радиуса индукции” δ для случая, когда все кривые построены при одинаковом значении безразмерной частоты электрического поля $y$ и параметра шероховатости поверхности $H$. Безразмерная обратная длина свободного пробега электронов $x$ варьируется для каждой кривой.
Из хода кривых на рисунке видно, что модуль безразмерной магнитной индукции в значительной степени зависит от текущего расстояния, отсчитываемого от оси симметрии проволоки(интересно, что на аргумент (фазу) безразмерной индукции этот параметр практически не влияет).
На рис. 4 построены графики зависимости модуля $~M\left( H \right)$ безразмерной магнитной индукции цилиндрической проволоки $N\left( {\delta ,x,y,H} \right)$ от параметра шероховатости поверхности $H$ для случая, когда все кривые построены при одинаковом значении безразмерной частоты электрического поля $y$ и безразмерной обратной длины свободного пробега электронов $x$, а “безразмерный радиус индукции” $\delta $ варьируется для каждой кривой.
Из хода кривых на рисунке видно, что модуль безразмерной магнитной индукции по мере увеличения параметра шероховатости поверхности $H$ монотонно убывает по всему поперечному сечению проволоки. Причем для каждой кривой, начиная с определенного значения $H$, имеет место выход индукции на постоянные значения.
На рис. 5 построены графики зависимости аргумента $~A\left( \delta \right)$ (фазы) безразмерной магнитной индукции цилиндрической проволоки $N\left( {\delta ,x,y,H} \right)$ от “безразмерного радиуса индукции” $\delta $ для случая, когда все кривые построены при одинаковом значении безразмерной частоты электрического поля $y$ и безразмерной обратной длины свободного пробега электронов $x$. Параметр шероховатости поверхности $H$ варьируется для каждой кривой.
Из хода кривых на рисунке видно, что аргумент (фаза) безразмерной магнитной индукции имеет локальный максимум, который зависит от параметра шероховатости и смещается в направлении к поверхности проволоки по мере его увеличения (пока не будут достигнуты значения соответствующие практически диффузному отражению электронов).
Список литературы
Op‘t Root W.P.E.M., Brussaard G.J.H., Smorenburg P.W., Luiten O.J. Single-cycle surface plasmonpolaritons on bare metal wire excited by relativistic electrons // Nat. Commun. 2016. 7:13769.
Yang J., Cao Q., Zhou C. Explicit formula for metal wire plasmon of terahertz wave // Opt. Express. 2009. V. 17. № 23. P. 20806–20815.
Maier S.A., Andrews S.R., Martin-Moreno L., Garcia-Vidal F.J. Terahertz Surface Plasmon-Polariton Propagation and Focusing on Periodically Corrugated Metal Wires // Phys. Rev. Lett. 2006. V. 97. P. 176805 (1–4).
Manjavacas A., Garcia de Abajo F.J. Coupling of gap plasmons in multi-wire waveguides // Opt. Express. 2009. V. 17. № 22. P. 19401–19413.
Neubrech F., Kolb T., Lovrincic R., Fahsold G., Pucci A., Aizpurua J., Cornelius T.W., Toimil-Molares M.E., Neumann R., Karim S. Resonances of individual metal nanowires in the infrared // Appl. Phys. Lett. 2006. V. 89. P. 253104 (1–3).
Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. Электродинамика сплошных сред. М.: Физмат-лит, 2016. 656 с.
Завитаев Э.В., Юшканов А.А. Высокочастотная проводимость тонкой цилиндрической проволоки из металла // Микроэлектроника. 2008. Т. 37. № 6. С. 429–438.
Кузнецова И.А., Чапкин А.В., Юшканов А.А. Влияние механизма поверхностного рассеяния электронов на высокочастотную проводимость тонкой металлической проволоки // Микроэлектроника. 2011. Т. 40. № 1. С. 45–51.
Завитаев Э.В., Русаков О.В., Харитонов К.Е. Расчет магнитной индукции внутри тонкой цилиндрической проволоки из металла // Вестник МГОУ. Серия Физика-Математика. 2016. № 2. С. 74–84.
Харрисон У. Теория твердого тела. М.: Мир, 1972. 616 с.
Займан Дж. Электроны и фононы. М.: ИЛ, 1962. 488 с.
Лифшиц И.М., Азбель М.Я., Каганов М.И. Электронная теория металлов. М.: Наука, 1971. 415 с.
Завитаев Э.В., Русаков О.В., Харитонов К.Е. К вопросу о расчете плотности тока внутри тонкой цилиндрической проволоки из металла в продольном магнитном поле // Вестник МГОУ. Серия Физика-Математика. 2016. № 3. С. 72–83.
Дополнительные материалы отсутствуют.
Инструменты
Микроэлектроника