Радиотехника и электроника, 2023, T. 68, № 4, стр. 338-345

Функциональные свойства сплавов системы Ni–Ti с эффектом памяти формы и эффективность их использования в качестве исполнительных элементов актуаторов для микроэлектромеханических систем

В. С. Калашников a*, В. В. Коледов a, В. Г. Шавров a, В. А. Андреев b, А. В. Несоленов b, Д. С. Кучин a, Р. Д. Карелин b

a Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН
125009 Москва, ул. Моховая, 11, стр. 7, Российская Федерация

b Институт металлургии и материаловедения имени А.А. Байкова РАН
119334 Москва, Ленинский просп., 49, Российская Федерация

* E-mail: Vladimir.kalashnikovS@gmail.com

Поступила в редакцию 03.10.2022
После доработки 03.10.2022
Принята к публикации 10.10.2022

Полный текст (PDF)

Аннотация

Представлены результаты исследования функциональных свойств сплавов системы Ni–Ti после различных деформационных обработок. Определено значение критических напряжений, при которых начинается деградация функциональных свойств: и установлено, что оно примерно в два раза ниже предела текучести. Рассчитаны коэффициенты полезного действия виртуальных термодинамических машин с рабочим телом из исследованных материалов и проведено его сравнение с коэффициентом полезного действия машины Карно на основе этого же материала – рассчитан коэффициент идеальности при условии срабатывания при напряжениях, не превышающих критических. Установлено, что в условиях однократного срабатывания наибольшим коэффициентом идеальности 9.7% обладает материал от прутков, полученных теплой ковкой при 350°С с диаметром от 20 до 5 мм. Для условий периодического действия при напряжениях в 1.2 раза ниже критических определено, что коэффициент идеальности составляет 7.4…7.7% для сплавов, прошедших горячую ковку и комбинацию равноканального углового прессования и теплой ковки.

ВВЕДЕНИЕ

Совершенствование методов выплавки и термомеханической обработки интерметаллических сплавов с термоупругим мартенситным переходом и эффектом памяти формы (ЭПФ) привело в последние годы к повышению качества сплавов, их надежности и функциональных свойств, а также расширению области применения в жизнедеятельности человека [1]. Наиболее известными и широко применяемыми являются сплавы системы Ni–Ti с ЭПФ, обладающие высокой прочностью, биосовместимостью, технологичностью [12]. Повышение функциональных характеристик и надежности этих сплавов позволяет изготавливать миниатюрные исполнительные элементы с малой массой, повышенным быстродействием и, таким образом, добиваться высоких значений удельной мощности, постепенно приближаясь к фундаментальным пределам эффективности, ограниченным теоремой Карно. Однако использование этих сплавов ограничено отсутствием точных данных об особенностях мартенситного фазового перехода и предельных значений напряжений для функционирования сплава в условиях производства максимальной механической работы. Функциональные свойства этих сплавов можно регулировать за счет проведения последеформационных отжигов, корректировки режимов деформационной обработки, подбором химического состава и совершенствования режимов выплавки. Представляется актуальным усовершенствовать методику оценки функциональных свойств сплавов семейства TiNi так как до сих пор в литературе приняты методики оценки сплавов с ЭПФ как конструкционных. Часто в литературе измерение функциональных и эксплуатационных свойств материалов с ЭПФ проводится в условиях отсутствия механической работы со стороны самого материала, то есть либо при деформациях без нагрузки или при фиксированных размерах. В то же время, будучи исполнительным элементом в каких-либо актуаторах, материал с ЭПФ преодолевает сопротивление внешней среды, совершая механическую работу [1, 2]. Необходимо отметить, что актуаторы из сплавов с ЭПФ являются тепловыми машины, вкладывая тепло в которые, мы получаем механическую работу за счет изменения формы рабочего тела – исполнительного элемента из сплава с ЭПФ, под внешней нагрузкой. В связи с этим необходимо иметь оценку эффективности использования таких исполнительных элементов, опираясь на данные, полученные в результате исследований в условиях производства актуатором механической работы.

Цель данной работы – определить коэффициент полезного действия виртуальной термодинамической машины на основе сплава c ЭПФ в зависимости от функциональных свойств материала в условиях однократного и многократного срабатывания.

1. МАТЕРИАЛЫ И МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ

Материалами для выполнения настоящей работы послужили ранее исследованные в [3] образцы системы Ni–Ti эквиатомного состава вырезанные из прутков с конечным диаметром от 5 до 20 мм, полученных методами теплой ковки (ТК) при температурах ниже 630°С, горячей ковки (ГК) при температурах от 630 до 800°С, равноканальным угловым прессованием (РКУП) при температуре 450°С и комбинацией РКУП и ТК.

Таблица 1.

Характеристики образцов

Образец Сплав Режим деформации Конечный диаметр, мм Примечания
1-1 ГК05 Ni50.5Ti49.5 ГК при 900…950°С 5 Исходный образец для сравнения в состоянии после закалки
1-2 ТК ТК при 350°С 5 Перед ковкой – закалка от 750°С, после ковки – отжиг при 450°С, 1 ч, охлаждение в воде
1-3 РКУП + ТК РКУП + ТК при 450°С 5 Без ТО
2-1 ГК20 Ni50.2Ti49.8 ГК
при 900…950°С
20 Исходный образец для сравнения в состоянии после закалки от 800°С в воде
2-2 РКУП РКУП при 450 °С, восемь проходов, с углом пересечения каналов 110° 20 Без ТО
3-1 ТК450 Ni50.5Ti49.5 ТК при 450°С 5 Отжиг при 450°С, 1 ч, охлаждение в воде
3-2 ТК500 5 Отжиг при 500°С, 0.5 ч, охлаждение в воде
4-1 П Ni50.1Ti49.9 ТК и теплое волочение 0.1 Без ТО

Примечание: ГК – горячая ковка, ТК – теплая ковка, РКУП – равноканальное угловое прессование, ТО – термическая обработка.

Авторы предлагают напряжения, при превышении которых снижается обратимая деформация в результате накопления в образце пластически деформированных участков материала, называть предельными напряжениями σпр. Для определения положения предельных напряжений σпр на шкале σm στ σВm критическое напряжение перехода из высокотемпературной фазы B2 в мартенсит B19' при постоянной температуре, στ предел текучести, σВ предел прочности) проведено исследование прутков диаметром 5 мм после теплой ковки в отожженном состоянии и микропроволоки, волоченной втеплую и вхолодную до диаметра 0.1 мм, а именно исследована зависимость обратимой деформации εr от температуры T и нагрузки σ и получены зависимости растяжения ε(σ) на экспериментальных установках, описанных в [4, 5], и на универсальной установке “Instron 5966” в части растяжения (скорости перемещения траверсы 4 мм/мин) при комнатной температуре образцов 3-1 ТК450 и 3-2 ТК500. Микропроволока диаметром 0.1 мм получена на промышленном оборудовании методом теплого и холодного волочения (450…300°С до 0.5 мм и при 20°С до 0.1 мм) из прутков диаметром 5 мм, подвергнутых теплой ковке (при температуре 450°С). Зависимость ε(σ) была определена для образца 4-1 П при температурах 100% объемной доли исходной фазы B2 и мартенситной фазы B19'. Детальное описание образцов, использованных в данной работе, приведено в табл. 1.

В интерметаллидных сплавах Ti–Ni в отожженном (или состаренном) состоянии в результате термоупругого мартенситного превращения исходная фаза (B2) с упорядоченной ОЦК решеткой превращается в ромбоэдрическую решетку R-фазы, а затем в моноклинную решетку B19'-мартенсита: B2 → R → B19' [2]. В случае если материал не был подвергнут термической обработке или был предварительно подвергнут так называемой операции “обнуления” (охлаждение в воде после отжига в однофазной области в интервале 630…1310°С), превращение происходит минуя R-фазу. При этом проявление двухстадийного фазового превращения через R-фазу и влияние напряжений на его проявление было показано ранее [3]. Так, выбор режимов термической обработки, температуры деформационной обработки и предварительной термической обработки был основан на ранее проведенных авторами работах, например [3]. Указанные режимы термической обработки для образцов 1-1 ГК05 – 2-2 РКУП обеспечивают наилучшее сочетание функциональных свойств. Образцы 3-1 ТК450 и 3-2 ТК500 испытывались в состоянии поставки, т.е. уже будучи термообработанными с целью получения нужной температуры Af обратного термоупругого мартенситного превращения после деформации образца на 2% при температуре –25°С (по методике, изложенной в стандарте ASTM F2082). Образец № 4-1 намеренно не подвергали термообработке, так как после теплых ковки и волочения при температуре 450°С он, предположительно, обладал достаточно большим объемом вторичных фаз, выделившихся в процессе деформации. Более того, с учетом размеров образца, а именно невозможностью его полировки, предполагали, что термическая обработка в воздушной атмосфере привела бы к окислению и науглероживанию поверхности самой проволоки (проволока покрыта тонким слоем графитовой смазки), а это неизбежно приведет к охрупчиванию. В свою очередь отжиг в вакууме не обеспечит высокой скорости охлаждения пространства печи и, как следствие, приведет к дополнительному выделению вторичных фаз, а также он сложно реализуем в условиях предприятия-изготовителя.

В данной работе произведено уточнение метода расчета величины изгибающих напряжений σ по сравнению с методом, приведенным в работе [4] в образцах и удельной механической работы а, а именно: максимальных напряжений в поперечном сечении при изгибе –

(1)
$\sigma = \frac{{3FL}}{{2b{{h}^{2}}}}\,\,\left[ {{\text{МПа}}} \right],$

удельной механической работы при изгибе на единицу объема материала –

(2)
$a = \frac{{\sigma {{\varepsilon }_{r}}}}{9}\,\,\left[ {{{{\text{МДж}}} \mathord{\left/ {\vphantom {{{\text{МДж}}} {{{{\text{м}}}^{{\text{3}}}}}}} \right. \kern-0em} {{{{\text{м}}}^{{\text{3}}}}}}} \right]{\text{ }},$

где F – изгибающая сила, Н; L – расстояние между опорами при изгибе, мм; b и h - ширина и толщина образца соответственно, мм; ${{\varepsilon }_{r}}$ – обратимая деформация, %; под действием напряжений $\sigma $, МПа.

Формулы (1) и (2) следует также распространять на другие работы, где использовалась установка из [4, 5]. То есть указанные напряжения в других работах отражают размах напряжений в условиях изгиба от стороны образца, где происходит растяжение, до стороны, где происходит сжатие, и их следует делить на 2 для получения значений напряжения на одной из сторон.

Для оценки эффективности виртуальной термодинамической машины рассчитан КПД элемента с ЭПФ из сплава системы Ni–Ti, т.е. отношение полученной механической работы при изгибе и затраченной на нагрев тепловой энергии, для условий изгиба и растяжения.

Удельная затраченная тепловая энергия q для совершения в материале обратного термоупругого мартенситного превращения и совершения работы a равна

(3)
$q = {{C}_{p}}\rho \Delta T + \,\,~\gamma \rho ,$

КПД условного элемента из сплава с ЭПФ равен

(4)
$K = ({a \mathord{\left/ {\vphantom {a q}} \right. \kern-0em} q}) \times 100\% ,$

КПД тепловой машины Карно на основе сплава с ЭПФ равен

(5)
$~{{К}_{{{\text{Карно}}}}} = {{\Delta T} \mathord{\left/ {\vphantom {{\Delta T} {{{A}_{f}}}}} \right. \kern-0em} {{{A}_{f}}}},$

Коэффициент идеальности равен

(6)
${{K}_{i}} = ({K \mathord{\left/ {\vphantom {K {{{K}_{{{\text{Карно}}}}}}}} \right. \kern-0em} {{{K}_{{{\text{Карно}}}}}}}) \times 100\% .$

Здесь ${{C}_{p}} = 490\,\,{{~{\text{Дж}}} \mathord{\left/ {\vphantom {{~{\text{Дж}}} {\left( {{\text{кг}}\,{\text{К}}} \right)}}} \right. \kern-0em} {\left( {{\text{кг}}\,{\text{К}}} \right)}}$ – среднее значение удельной теплоемкости по данным [6], $\rho = 6500~\,\,{{{\text{кг}}} \mathord{\left/ {\vphantom {{{\text{кг}}} {{{{\text{м}}}^{{\text{3}}}}}}} \right. \kern-0em} {{{{\text{м}}}^{{\text{3}}}}}}$ – плотность [7], $\gamma = 9~\,\,{{{\text{Дж}}} \mathord{\left/ {\vphantom {{{\text{Дж}}} {\text{г}}}} \right. \kern-0em} {\text{г}}}$ – среднее значение скрытой теплоты превращения из мартенсита в аустенит по данным работы [8], ΔT и Af   (в К) полная ширина интервала и температура конца обратного термоупругого мартенситного превращения, соответственно.

2. РЕЗУЛЬТАТЫ ЭКСПЕРИМЕНТОВ И ИХ ОБСУЖДЕНИЕ

Зависимости деформации при изгибе ε от температуры t под действием постоянной нагрузки σ для образцов из табл. 1 в уточненном виде приведены на рис. 1. По представленным зависимостям ε = f(t, σ) в результате дальнейшей обработки были определены предельные напряжения σпр, температуры конца обратного термоупругого мартенситного превращения Af при σпр, величина полного интервала превращения ΔT при σпр.

Рис. 1.

Зависимость деформации от температуры и нагрузки для исследуемых образцов (см. табл. 1): 1-1 ГК05 (а), 1‑2ТК (б), 1-3 РКУП + ТК (в), 2-1 ГК20 (г), 2-2 РКУП (д), 3-1 ТК450 (е), 3-2 ТК500 (ж), 4-1 П (з).

Для образца 4-1П были установлены температуры, при которых под действием постоянных растягивающих напряжений материал находится исключительно в B19' или B2, что необходимо при испытаниях на растяжение и определения предела текучести и прочности на растяжение, а также позволит с относительной определенностью указать на положение предельных напряжений σпр на шкале σm στ σВ.

При этом следует обратить внимание на ключевое отличие предельных напряжений σпр, определяемых в данной работе, и реактивных напряжений σR: при определении σпр образец из материала с ЭПФ совершает работу, т.е. генерирует силу, необходимую для поднятия груза, а при определении σR образец жестко закреплен и при формовозврате не совершает механическую работу.

Результаты определения указанных выше характеристик при максимальных значениях обратимой деформации приведены в табл. 2. При расчете КПД цикла Карно значения температур переводились в градусы Кельвина из градусов Цельсия. По результатам измерения зависимостей ε = f(t, σ) установлено, что наибольшим Кi в условиях однократного срабатывания обладают материалы, прошедшие теплую ковку (образец 1-2 ТК – 9.7%), горячую ковку (1-1 ГК05 – 9.4%) и комбинацию РКУП и теплой ковки (образец 1-3 РКУП + ТК). В табл. 2 также приведены значения обратимой деформации и развиваемых напряжений для условий многократного (периодического) срабатывания условного исполнительного элемента с учетом результатов, полученных ранее [9]. Именно в работе [9] было установлено, что для сплавов системы Ni–Ti интенсивное накопление пластической деформации при многократном формовозврате под нагрузкой, приводящее к резкому снижению обратимой деформации ${{\varepsilon }_{r}}$, начинается при напряжениях свыше 0.8 σпр.

Таблица 2.

Экстремальные функциональные свойства исследованных образцов и КПД виртуальных исполнительных элементов на их основе

Образец εr, % при σпр σпр, МПа Af, °С при σпр Δt, °С, при σпр a изгиба, МДж/м3 при σпр q, МДж/м3 при σпр КПД, % КПД цикла
Карно, %
Ki, %
При однократном формовозврате
1-1 ГК05 10.0 300 89 55 3.3 233.7 1.4 15.2 9.4
1-2 ТК 8.6 750 30 75 7.2 447.1 2.4 24.8 9.7
1-3 РКУП + ТК 8.8 650 78 79 6.4 310.1 2.0 22.5 9.1
2-1 ГК20 7.1 250 34 70 2.0 281.5 0.7 22.8 3.1
2-2 РКУП 10.6 500 30 74 5.9 287.8 2.0 23.8 8.6
3-1 ТК450 6.2 470 150 158 3.2 536.3 0.6 34.8 1.7
3-2 ТК500 5.1 445 152 153 2.5 542.6 0.5 35.7 1.3
4-1 П 7.0 370 143 130 25.9 472.6 5.5 31.3 17.5
При многократном формовозврате с учетом результатов из [10 ] σ0 ≤ 0.8 σпр
1-1 ГК05 8.5 240 84 50 2.3 217.8 1.0 14.0 7.4
1-2 ТК 5.7 600 20 59 3.8 246.4 1.4 23.5 5.8
1-3 РКУП + ТК 7.3 520 70 68 4.2 275.1 1.5 19.8 7.7
2-2 РКУП 8.5 400 24 72 3.8 294.2 1.3 24.2 5.4
4-1 П 5.5 315 109 100 17.3 377.0 4.6 26.2 17.6

Столь высокие показатели предельных напряжений σпр в образцах, прошедших теплую ковки (1-2 ТК) и равноканльное угловое прессование в комбинации с теплой ковкой (1-3 РКУП + ТК), объясняются высокой степенью проработки исходной микроструктуры, а именно при деформации ниже 630°С происходит интенсивная рекристаллизация с уменьшением размера зерна и выделением вторичных фаз типа Ti2Ni и Ti3Ni4. Однако, как было отмечено выше, наилучшими показателями в части функциональных свойств, а именно комбинацией обратимой деформации и предельных напряжений, обладает образец 1-2 ТК– режим предварительной термической обработки заготовок (“обнуление”) и последующая деформация при пониженной температуре обеспечили минимальное выделение вторичных фаз и высокую рекристаллизацию.

Для установления положения предельных напряжений σпр на шкале σm – στ – σВ отдельно были проведены испытания на растяжение для образцов 3-1 ТК450 и 3-2 ТК500 при комнатной температуре и для 4-1 П при –70 и 250°С – эти температуры были установлены по результатам измерения зависимости ε = f(t, σ), т.е. при этих температурах материал даже будучи под действием внешних напряжений находится в однофазной области. Кривые растяжения образцов и результаты испытаний на растяжение представлены на рис. 2 и в табл. 3.

Рис. 2.

Кривые растяжения образцов 3-1 ТК450 (а), 3-2 ТК500 (б) и 4-1 П (в, г) при разных температурах испытания: 20°С (а, б), –70°С (в) и 250°С (г).

Таблица 3.

Механические свойства образцов после испытаний на растяжение

Образец Tиспыт, °С δm, % σm,
МПа
σmps,
МПа
στ,
МПа
σпр, МПа Δσ,
МПа
σB,
МПа
δ,
%
3-1 ТК450 20 19 75 125 825 470 750 942 48
3-2 ТК500 20 15 75 105 825 445 750 916 36
4-1П –70 6 180 855 370 1090 42
250 0 820 370 965 32

По представленным кривым зависимостей были определены следующие механические свойства: деформация в псевдопластической области δm, %, напряжение превращения из B2 в B19' под нагрузкой σm, МПа; напряжение, σmps, МПа по достижении которого реализуется деформация 6% в B19'; предел текучести στ, МПа; разница между σm и στ, предел прочности σВ, МПа; и удлинение δ, %. Так, предельные напряжения σпр достаточно сильно отличаются от предела текучести и находятся между στ и σm и примерно в два раза ниже, чем στ.

Возвращаясь к результатам эффективности использования тех или иных видов полуфабрикатов при изготовлении актуаторов на основе сплавов с ЭПФ, следует обратить внимание на высокое КПД образца 4-П, который испытывали на растяжение. В формуле (2) множитель 1/9 появился в результате вывода формулы для случая изгиба, в случае растяжения этот множитель отсутствует, деформацию можно считать однородной по всему сечению и, как следствие, эффективность использования исполнительных элементов в условиях растяжения должна увеличиваться. В табл. 4 приведены характеристики виртуальной тепловой машины для условий напряженного состояния при растяжении.

Таблица 4.

Характеристики виртуальной тепловой машины для условий напряженного состояния при растяжении

Образец a изгиба, МДж/м3 при σпр q, МДж/м3
при σпр
КПД, % КПД цикла
Карно, %
Ki, %
При однократном формовозврате
1-1 ГК05 30.0 233.7 12.8 15.2 84.5
1-2 ТК 64.5 297.4 21.7 24.8 87.6
1-3 РКУП + ТК 57.2 310.1 18.4 22.5 82.0
2-1 ГК20 17.8 281.5 6.3 22.8 27.7
2-2 РКУП 53.0 294.2 18.0 24.3 74.0
3-1 ТК450 29.1 389.7 7.5 28.3 26.4
3-2 ТК500 22.7 294.2 7.7 21.6 35.7
4-1 П 25.9 472.6 5.5 31.3 17.5
При многократном формовозврате с учетом результатов из [10 ] σ–1 ≤ 0.8 σпр
1-1 ГК05 20.4 217.8 9.4 14.0 66.9
1-2 ТК 34.2 246.4 13.9 20.1 68.9
1-3 РКУП + ТК 38.0 275.1 13.8 19.8 69.6
2-2 РКУП 34.0 294.2 11.6 24.9 46.4
4-1 П 17.3 377.0 4.6 26.2 17.6

Так, при условии использования элементов из сплавов с ЭПФ в условиях растяжения, КПД условного исполнительного элемента возрастает в девять раз. Правомочность применения условия σ0 ≤ 0.8σпр для периодического формовозврата под одной и той же нагрузкой, описанного в работе [9], для условий растяжения, будет рассмотрена в дальнейших работах по исследованию функциональной усталости в микропроволоках в условиях растяжения на экспериментальной установке [5].

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Таким образом, установлено, что по достижении определенного значения изгибающих или растягивающих постоянных напряжений в образце из сплава с ЭПФ при термоциклировании происходит снижение обратимой деформации. Такие напряжения предлагается считать предельными. Экспериментально показано, что для изученных образцов они значительно ниже предела текучести σТ, примерно в два раза. Наибольшим коэффициентом идеальности 9.7% в условиях однократного срабатывания при изгибе из изученных материалов, обладает термодинамическая машина, рабочим телом которой является материал прутков, полученных методом теплой ковки при 350°С. Для условий периодического действия при напряжениях изгиба в 1.2 раза ниже предельных определено, что коэффициент идеальности составляет 7.7% для материалов, прошедших горячую ковку и комбинацию равноканального углового прессования и теплой ковки. На примере проволоки, полученной методом теплового волочения, показано, что использование сплавов с ЭПФ в условиях растяжения наиболее эффективно. Так, КПД и коэффициент идеальности составляют соответственно 5.5 и 17.5% при однократном формовозврате и 4.6 и 17.6% при периодическом формовозврате.

Список литературы

  1. Jani J.M., Leary M., Subic A., Gibson M.A. // Materials and Design. 2014. V. 56. P. 1078. https://doi.org/10.1016/j.matdes.2013.11.084

  2. Otsuka K., Ren X. // Prog. Mater. Sci. 2005. V. 50. P. 511. https://doi.org/10.1016/j.pmatsci.2004.10.001

  3. Калашников В.С., Андреев В.А., Коледов В.В. и др. // Металловедение и термическая обработка металлов. 2019. Т. 770. С. 45.

  4. Калашников В.С., Коледов В.В., Кучин Д.С. и др. // Приборы и техника эксперимента. 2018. № 2. С. 139. https://doi.org/10.7868/S0032816218020155

  5. Калашников В.С., Коледов В.В., Кучин Д.С. и др. // Приборы и техника эксперимента. 2022. Т. 65. № 1. С. 139. https://doi.org/10.31857/S0032816222010049

  6. Smith J.F., Lück R., Jiang Q. et al. // J. Phase Equilibria. 1993. V. 14. № 4. P. 494. https://doi.org/10.1007/BF02671969

  7. Stachiv I., Alarcon E., Lamac M. // Metals. 2021. V. 11. № 3. Article No. 415. https://doi.org/10.3390/met11030415

  8. Wang X., Verlinden B., Humbeeck J.V. // Intermetallics. 2015. V. 62. P. 43. https://doi.org/10.1016/j.intermet.2015.03.006

  9. Калашников В.С., Мусабиров И.И., Коледов В.В. и др. // ЖТФ. 2020. Т. 90. № 4. С. 603. https://doi.org/10.21883/JTF.2020.04.49084.110-19

Дополнительные материалы отсутствуют.